निट्टो सेमीकन्डक्टर वेफर माउन्टर DR8500III

Nitto DR8500III Nitto NEL SYSTEM™ शृङ्खलाको पूर्ण स्वचालित सुरक्षात्मक टेप अनुप्रयोग उपकरण हो, जुन विशेष गरी २०० मिमी (८-इन्च) वेफरहरूको लागि डिजाइन गरिएको हो। सरल भाषामा भन्नुपर्दा, यसको मुख्य कार्य भनेको महत्वपूर्ण ब्याक-साइड थिइनिङ (ब्याक-साइड ग्राइन्डिङ पनि भनिन्छ) प्रक्रिया अघि वेफरको अगाडिको छेउमा (सर्किट ढाँचाहरू भएको छेउमा) पूर्ण रूपमा सुरक्षात्मक टेपको तह लगाउनु हो, जसले गर्दा पछिको उच्च-गति ग्राइन्डिङको समयमा क्षति हुनबाट जोगाउँछ।

DR8500III बनाम DR3000III कोर प्यारामिटर तुलना

DR8500III को स्थिति द्रुत रूपमा बुझ्न मद्दतको लागि, हामीले यसलाई DR3000III सँग तुलना गरेका छौं, जसले 300mm वेफरहरूलाई पनि समर्थन गर्दछ, जसले गर्दा भिन्नताहरू तुरुन्तै स्पष्ट हुन्छन्।

तुलनात्मक वस्तुहरू: DR8500III (मुख्य परिचय) DR3000III

मुख्य स्थिति: २०० मिमी वेफरहरूको लागि पूर्ण स्वचालित सुरक्षात्मक टेप एप्लिकेटर; ३०० मिमी वेफरहरूको लागि पूर्ण स्वचालित सुरक्षात्मक टेप एप्लिकेटर

लागू हुने वेफर आकारहरू: ८/६/५/४ इन्च (२००/१५०/१२५/१०० मिमी); ३००/२०० मिमी (१२ इन्च/८ इन्च)

थ्रुपुट: मानक: ७७ वेफर्स/घण्टा

आरएफ संस्करण: ६८ वेफर्स/घण्टा; ६८ वेफर्स/घण्टा

मिल्दो वेफर मोटाई: पछाडिको भागमा पिसाइ बिना वेफरहरू; ४००µm वा बाक्लो

मुख्य विशेषताहरू र प्राविधिक विशेषताहरू:

DR8500III को प्राविधिक सुविधाहरूले अनुकूलता, प्रक्रिया प्रदर्शन, र सञ्चालनको सहजतालाई पूर्ण रूपमा विचार गर्दछ।

व्यापक वेफर अनुकूलता: ८/६/५-इन्च वेफरहरूको लागि मानक समर्थन, ४-इन्च वेफरहरूको लागि वैकल्पिक समर्थन सहित। यसबाहेक, विभिन्न प्रक्रिया आवश्यकताहरू पूरा गर्न विकल्पको रूपमा तातो चक/रोलरहरू थप्न सकिन्छ।

कम तनाव भएको फिल्म अनुप्रयोग प्रविधि: यसको आरएफ संस्करणले कम तनाव भएको फिल्म अनुप्रयोग प्रविधि प्रयोग गर्दछ, जसले फिल्म अनुप्रयोग प्रक्रियाको क्रममा वेफरमा तनावलाई उल्लेखनीय रूपमा कम गर्दछ र वेफर वारपेज वा फुट्ने जोखिम कम गर्दछ।

उद्योग-मानक उच्च-दक्षता स्वचालन: उपकरणले अपरेटरहरूलाई टच प्यानल र रेसिपी कार्यक्षमता मार्फत प्रिसेट उत्पादन प्यारामिटरहरू द्रुत रूपमा पहुँच गर्न अनुमति दिन्छ, सहज सञ्चालन प्रदान गर्दछ। यसले CE सुरक्षा मापदण्डहरूको पनि पालना गर्दछ र वैकल्पिक SECS/GEM सञ्चार प्रोटोकलहरू प्रदान गर्दछ, जसले आधुनिक अर्धचालक कारखाना स्वचालन प्रणालीहरूमा निर्बाध एकीकरणलाई सक्षम बनाउँछ।

आवेदन क्षेत्रहरू: DR8500III को प्राथमिक बजार २०० मिमी (८-इन्च) वेफरहरूको अर्धचालक निर्माणमा छ, विशेष गरी निम्न प्रमुख प्रक्रियाहरूमा महत्त्वपूर्ण:

ब्याकग्राइन्डिङ: यो यसको मुख्य प्रयोग हो। ब्याकग्राइन्डिङ प्रक्रिया अघि, यसले वेफरको अगाडिको भागलाई यान्त्रिक सुरक्षा प्रदान गर्दछ, उच्च-गति घुम्ने ग्राइन्डिङ पाङ्ग्राहरूलाई सर्किटरी स्क्र्याच गर्नबाट रोक्छ; यसले रासायनिक सुरक्षा पनि प्रदान गर्दछ, तरल पदार्थ र मलबेलाई पालिस गरेर वेफरको सतहको दूषिततालाई रोक्छ।

वेफर डाइसिङ/काट्ने: वेफरलाई व्यक्तिगत चिप्समा काट्नु अघि, डाइसिङ प्रक्रियाको क्रममा स्थिरता र शुद्धता सुनिश्चित गर्दै वेफरलाई फिक्स गर्न डाइसिङ टेप लगाइन्छ।

सहयोगी कार्य र पारिस्थितिक प्रणाली

पूर्ण अर्धचालक प्याकेजिङ उत्पादन लाइनमा, DR8500III सामान्यतया एक्लै काम गर्दैन, बरु "फिल्म अनुप्रयोग - प्रक्रिया - फिल्म हटाउने" को बन्द-लूप उत्पादन प्रक्रिया बनाउन अन्य उपकरणहरूसँग सहकार्य गर्दछ।

फिल्म हटाउने मेसिनहरूसँग सहकार्य: ब्याक-साइड थिइनिङ र लेजर एनिलिङ जस्ता प्रक्रियाहरू पछि, सुरक्षात्मक टेप हटाउन आवश्यक छ, जसको लागि फिल्म हटाउने मेसिन आवश्यक पर्दछ। उदाहरणका लागि, निट्टोको HR8500III पूर्ण रूपमा स्वचालित टेप हटाउने मेसिन DR8500III सँग जोड्नको लागि एक सामान्य विकल्प हो।

ग्राइन्डिङ/डाइसिङ उपकरणसँगको सहकार्य: DR8500III को फिल्म आवेदन प्रक्रिया ग्राइन्डर र डाइसिङ आरा जस्ता कोर प्रक्रिया उपकरणहरूको लागि "सामग्री पूर्व-उपचार" प्रदान गर्न एक महत्त्वपूर्ण लिङ्क हो।

निष्कर्षमा

संक्षेपमा, Nitto DR8500III एक परिपक्व, स्थिर, र कुशल पूर्ण स्वचालित २०० मिमी वेफर फिल्म एप्लिकेसन मेसिन हो। यसको मुख्य मूल्य सटीक, कम-तनाव फिल्म एप्लिकेसन टेक्नोलोजी मार्फत ब्याक-साइड पातलो गर्ने जस्ता महत्वपूर्ण प्रक्रियाहरू अघि वेफरको लागि भरपर्दो सुरक्षा प्रदान गर्नु हो, जुन अन्तिम चिपको उपज र प्रदर्शन सुनिश्चित गर्न महत्त्वपूर्ण छ।