מתקן הרכבה של פרוסות Nitto Semiconductor DR8500III

ה-Nitto DR8500III הוא מכשיר אוטומטי לחלוטין להדבקת סרט מגן בסדרת Nitto NEL SYSTEM™, שתוכנן במיוחד עבור פרוסות 200 מ"מ (8 אינץ'). במילים פשוטות, תפקידו העיקרי הוא למרוח שכבת סרט מגן לחלוטין על הצד הקדמי של הפרוסה (הצד עם דפוסי המעגל) לפני תהליך דילול הצד האחורי הקריטי (המכונה גם טחינה אחורית), ובכך למנוע נזק במהלך טחינה במהירות גבוהה לאחר מכן.

השוואה בין פרמטרים מרכזיים של DR8500III ל-DR3000III

כדי לעזור לכם להבין במהירות את מיקום ה-DR8500III, השווינו אותו זה לצד זה עם ה-DR3000III, התומך גם בוופלים של 300 מ"מ, מה שהופך את ההבדלים לבולטים מיד.

פריטי השוואה: DR8500III (מבוא ראשי) DR3000III

מיקום עיקרי: מפעיל סרט מגן אוטומטי לחלוטין עבור ופלים 200 מ"מ; מפעיל סרט מגן אוטומטי לחלוטין עבור ופלים 300 מ"מ

גדלי פרוסות רלוונטיים: 8/6/5/4 אינץ' (200/150/125/100 מ"מ); 300/200 מ"מ (12 אינץ'/8 אינץ')

תפוקה: סטנדרטי: 77 פרוסות ופלים לשעה

גרסת RF: 68 פרוסות ופלים לשעה; 68 פרוסות ופלים לשעה

עובי פרוסה תואם: פרוסות ללא טחינה אחורית; 400 מיקרומטר או עבה יותר

מאפיינים עיקריים ומאפיינים טכניים:

התכונות הטכניות של ה-DR8500III מתחשבות במלואן בתאימות, ביצועי התהליך וקלות התפעול.

תאימות נרחבת לפלים: תמיכה סטנדרטית לפלים בגודל 8/6/5 אינץ', עם תמיכה אופציונלית לפלים בגודל 4 אינץ'. בנוסף, ניתן להוסיף צ'אקים/גלילים מחוממים כאופציה כדי לעמוד בדרישות תהליך שונות.

טכנולוגיית יישום סרט מתח נמוך: גרסת ה-RF שלה משתמשת בטכנולוגיית יישום מתח נמוך, מה שמפחית משמעותית את הלחץ על הוופל במהלך תהליך יישום הסרט ומוריד את הסיכון לעיוות או שבירה של הוופל.

אוטומציה יעילה גבוהה בסטנדרט התעשייה: הציוד מאפשר למפעילים גישה מהירה לפרמטרי ייצור מוגדרים מראש באמצעות לוח מגע ופונקציונליות מתכון, ומספק תפעול אינטואיטיבי. הוא גם עומד בתקני הבטיחות CE ומציע פרוטוקולי תקשורת SECS/GEM אופציונליים, המאפשרים שילוב חלק במערכות אוטומציה מודרניות של מפעלי מוליכים למחצה.

תחומי יישום: השוק העיקרי של ה-DR8500III הוא ייצור מוליכים למחצה של פרוסות 200 מ"מ (8 אינץ'), דבר חיוני במיוחד בתהליכים המרכזיים הבאים:

ליטוש אחורי: זהו היישום העיקרי שלו. לפני תהליך הליטוש האחורי, הוא מספק הגנה מכנית לצד הקדמי של הוופל, ומונע מגלגלי השחזה המסתובבים במהירות גבוהה לשרוט את המעגלים; הוא גם מספק הגנה כימית, ומונע זיהום של פני השטח של הוופל על ידי נוזל ליטוש ופסולת.

חיתוך/ניסור פרוסות: לפני חיתוך הוופל לשבבים בודדים, מודבק סרט חיתוך כדי לקבע את הוופל, ובכך להבטיח יציבות ודיוק במהלך תהליך החיתוך.

עבודה שיתופית ומערכת אקולוגית

בקו ייצור שלם של אריזות מוליכים למחצה, ה-DR8500III בדרך כלל אינו פועל לבד, אלא משתף פעולה עם ציוד אחר ליצירת תהליך ייצור בלולאה סגורה של "יישום סרט - תהליך - הסרת סרט".

שיתוף פעולה עם מכונות להסרת סרטים: לאחר תהליכים כגון דילול צד אחורי וחישול בלייזר, יש צורך להסיר את סרט המגן, מה שמצריך מכונת להסרת סרטים. לדוגמה, מכונת הסרת הסרט האוטומטית לחלוטין HR8500III של Nitto היא בחירה נפוצה לשילוב עם ה-DR8500III.

שיתוף פעולה עם ציוד טחינה/חיתוך: תהליך יישום הפילם של ה-DR8500III הוא חוליה מכרעת במתן "טיפול מקדים לחומר" עבור ציוד תהליכים מרכזי כגון מטחנות ומסורי חיתוך.

תַקצִיר

לסיכום, ה-Nitto DR8500III היא מכונת יישום אוטומטית לחלוטין של פרוסות ופלים בגודל 200 מ"מ, יציבה ויעילה. הערך המרכזי שלה טמון במתן הגנה אמינה לפלסטיק לפני תהליכים קריטיים כמו דילול הצד האחורי באמצעות טכנולוגיית יישום מדויקת ובעלת מאמץ נמוך, שהיא קריטית להבטחת התפוקה והביצועים של השבב הסופי.