„Nitto Semiconductor“ plokštelių tvirtinimo įrenginys DR8500III

„Nitto DR8500III“ yra visiškai automatizuotas apsauginės juostos klijavimo įrenginys iš „Nitto NEL SYSTEM™“ serijos, specialiai sukurtas 200 mm (8 colių) plokštelėms. Paprastai tariant, pagrindinė jo funkcija – visiškai uždėti apsauginės juostos sluoksnį ant plokštelės priekinės pusės (tos, kurioje yra grandinės raštai) prieš svarbų galinės pusės ploninimo (dar vadinamo galinės pusės šlifavimu) procesą, taip apsaugant ją nuo pažeidimų vėlesnio greitojo šlifavimo metu.

DR8500III ir DR3000III pagrindinių parametrų palyginimas

Kad galėtumėte greitai suprasti DR8500III padėtį, palyginome jį greta su DR3000III, kuris taip pat palaiko 300 mm plokšteles, todėl skirtumai iš karto tampa akivaizdūs.

Palyginimo elementai: DR8500III (pagrindinis pristatymas) DR3000III

Pagrindinis pozicionavimas: Pilnai automatinis apsauginės juostos aplikatorius 200 mm plokštelėms; Pilnai automatinis apsauginės juostos aplikatorius 300 mm plokštelėms

Taikomi plokštelių dydžiai: 8/6/5/4 coliai (200/150/125/100 mm); 300/200 mm (12 colių/8 colių)

Pralaidumas: Standartinis: 77 plokštelės/val.

RF versija: 68 plokštelės/val.; 68 plokštelės/val.

Suderinamas plokštelių storis: plokštelės be šlifavimo iš galinės pusės; 400 µm arba storesnės

Pagrindinės savybės ir techninės charakteristikos:

DR8500III techninės savybės visapusiškai atsižvelgia į suderinamumą, procesų našumą ir paprastą naudojimą.

Platus plokštelių suderinamumas: standartinis palaikymas 8/6/5 colių plokštelėms, su pasirenkamu palaikymu 4 colių plokštelėms. Be to, norint patenkinti skirtingus proceso reikalavimus, galima pridėti šildomus griebtuvus / volelius.

Mažo įtempimo plėvelės dengimo technologija: RF versijoje naudojama mažo įtempimo dengimo technologija, kuri žymiai sumažina plokštelės įtempimą plėvelės dengimo proceso metu ir plokštelės deformacijos ar lūžio riziką.

Pramonės standartą atitinkantis didelio efektyvumo automatizavimas: įranga leidžia operatoriams greitai pasiekti iš anksto nustatytus gamybos parametrus per jutiklinį skydelį ir receptų funkciją, užtikrinant intuityvų valdymą. Ji taip pat atitinka CE saugos standartus ir siūlo pasirenkamus SECS/GEM ryšio protokolus, kurie leidžia sklandžiai integruotis į šiuolaikines puslaidininkių gamyklų automatizavimo sistemas.

Taikymo sritys: Pagrindinė DR8500III rinka yra 200 mm (8 colių) puslaidininkių plokštelių gamyba, kuri yra ypač svarbi šiuose pagrindiniuose procesuose:

Atgalinis šlifavimas: Tai yra pagrindinis jo pritaikymas. Prieš atgalinio šlifavimo procesą jis suteikia mechaninę apsaugą plokštelės priekinei pusei, neleisdamas dideliu greičiu besisukantiems šlifavimo diskams subraižyti grandinės; jis taip pat suteikia cheminę apsaugą, neleisdamas plokštelės paviršiui užteršti poliravimo skysčiu ir šiukšlėmis.

Plokštelės pjaustymas kubeliais / pjovimas: prieš pjaustant plokštelę į atskirus lustus, ji pritvirtinama pjaustymo juosta, užtikrinančia stabilumą ir tikslumą pjaustymo metu.

Bendradarbiavimas ir ekosistema

Pilnoje puslaidininkių pakuočių gamybos linijoje DR8500III paprastai neveikia vienas, o bendradarbiauja su kita įranga ir sudaro uždaro ciklo gamybos procesą: „plėvelės uždėjimas – procesas – plėvelės pašalinimas“.

Bendradarbiavimas su plėvelės nuėmimo mašinomis: po tokių procesų kaip galinės pusės retinimas ir lazerinis atkaitinimas, reikia nuimti apsauginę juostą, o tam reikalinga plėvelės nuėmimo mašina. Pavyzdžiui, „Nitto“ visiškai automatinis juostos nuėmimo įrenginys HR8500III yra dažnas pasirinkimas derinti su DR8500III.

Bendradarbiavimas su šlifavimo / pjaustymo įranga: DR8500III plėvelės dengimo procesas yra labai svarbi grandis, užtikrinanti „medžiagos išankstinį apdorojimą“ pagrindinei proceso įrangai, pvz., šlifuokliams ir pjaustymo pjūklams.

Santrauka

Apibendrinant, „Nitto DR8500III“ yra brandi, stabili ir efektyvi visiškai automatinė 200 mm plokštelių plėvelės klijavimo mašina. Jos pagrindinė vertė yra patikima plokštelės apsauga prieš svarbius procesus, tokius kaip galinės pusės retinimas, naudojant tikslią, mažo įtempimo plėvelės klijavimo technologiją, kuri yra labai svarbi siekiant užtikrinti galutinio lusto našumą ir našumą.