Nitto Semiconductor montažer pločica DR8500III

Nitto DR8500III je potpuno automatizirani uređaj za nanošenje zaštitne trake u Nitto NEL SYSTEM™ seriji, posebno dizajniran za pločice od 200 mm (8 inča). Jednostavno rečeno, njegova glavna funkcija je potpuno nanošenje sloja zaštitne trake na prednju stranu pločice (stranu s uzorcima krugova) prije kritičnog procesa stanjivanja stražnje strane (također poznatog kao brušenje stražnje strane), sprječavajući oštećenja tijekom naknadnog brušenja velikom brzinom.

Usporedba osnovnih parametara DR8500III i DR3000III

Kako bismo vam pomogli da brzo shvatite pozicioniranje DR8500III, usporedili smo ga s DR3000III, koji također podržava 300 mm pločice, što razlike čini odmah očiglednim.

Stavke za usporedbu: DR8500III (Glavni uvod) DR3000III

Glavno pozicioniranje: Potpuno automatski aplikator zaštitne trake za pločice od 200 mm; Potpuno automatski aplikator zaštitne trake za pločice od 300 mm

Primjenjive veličine pločica: 8/6/5/4 inča (200/150/125/100 mm); 300/200 mm (12 inča/8 inča)

Propusnost: Standardno: 77 pločica/sat

RF verzija: 68 pločica/sat; 68 pločica/sat

Kompatibilna debljina pločice: Pločice bez brušenja stražnje strane; 400 µm ili deblje

Glavne značajke i tehničke karakteristike:

Tehničke značajke DR8500III u potpunosti uzimaju u obzir kompatibilnost, performanse procesa i jednostavnost rada.

Široka kompatibilnost s pločicama: Standardna podrška za pločice od 8/6/5 inča, s opcionalnom podrškom za pločice od 4 inča. Nadalje, grijane stezne glave/valjci mogu se dodati kao opcija kako bi se zadovoljili različiti procesni zahtjevi.

Tehnologija nanošenja filma s niskim naponom: Njegova RF verzija koristi tehnologiju nanošenja s niskim naponom, značajno smanjujući naprezanje na pločici tijekom procesa nanošenja filma i smanjujući rizik od savijanja ili loma pločice.

Visokoučinkovita automatizacija prema industrijskim standardima: Oprema omogućuje operaterima brz pristup unaprijed postavljenim proizvodnim parametrima putem dodirne ploče i funkcionalnosti receptura, pružajući intuitivan rad. Također je u skladu sa sigurnosnim standardima CE i nudi opcionalne komunikacijske protokole SECS/GEM, što omogućuje besprijekornu integraciju u moderne sustave automatizacije tvornica poluvodiča.

Područja primjene: Primarno tržište DR8500III je proizvodnja poluvodičkih pločica od 200 mm (8 inča), što je posebno važno u sljedećim ključnim procesima:

Brušenje s leđa: Ovo je njegova glavna primjena. Prije procesa brušenja s leđa, pruža mehaničku zaštitu prednje strane pločice, sprječavajući da brusni kotači velike brzine ogrebu strujni krug; također pruža kemijsku zaštitu, sprječavajući kontaminaciju površine pločice tekućinom za poliranje i ostacima.

Rezanje/piliranje pločice: Prije rezanja pločice na pojedinačne komadiće, nanosi se traka za rezanje kako bi se pločica fiksirala, osiguravajući stabilnost i preciznost tijekom procesa rezanja.

Suradnički rad i ekosustav

Na kompletnoj proizvodnoj liniji za pakiranje poluvodiča, DR8500III obično ne radi samostalno, već surađuje s drugom opremom kako bi formirao zatvoreni proizvodni proces "nanošenje filma - proces - uklanjanje filma".

Suradnja sa strojevima za uklanjanje folije: Nakon procesa poput stanjivanja stražnje strane i laserskog žarenja, zaštitnu traku potrebno je ukloniti, što zahtijeva stroj za uklanjanje folije. Na primjer, Nittoov potpuno automatski stroj za uklanjanje trake HR8500III uobičajen je izbor za uparivanje s DR8500III.

Suradnja s opremom za mljevenje/sjeckanje: Proces nanošenja filma na DR8500III ključna je karika u osiguravanju "predobrade materijala" za osnovnu procesnu opremu poput brusilica i pila za sjeckanje.

Sažetak

Ukratko, Nitto DR8500III je zreo, stabilan i učinkovit potpuno automatski stroj za nanošenje filma na pločice od 200 mm. Njegova ključna vrijednost leži u pružanju pouzdane zaštite pločice prije kritičnih procesa kao što je stanjivanje stražnje strane putem precizne tehnologije nanošenja filma s niskim naprezanjem, što je ključno za osiguranje prinosa i performansi konačnog čipa.