Монтажник на полупроводникови пластини Nitto Semiconductor DR8500III

Nitto DR8500III е напълно автоматизирано устройство за нанасяне на защитна лента от серията Nitto NEL SYSTEM™, специално проектирано за 200 мм (8-инчови) пластини. Казано по-просто, основната му функция е да нанесе слой защитна лента изцяло върху предната страна на пластината (страната с шаблоните на платките) преди критичния процес на изтъняване на задната страна (известен още като шлифоване на задната страна), предотвратявайки повреда по време на последващо високоскоростно шлифоване.

Сравнение на основните параметри на DR8500III и DR3000III

За да ви помогнем бързо да схванете позиционирането на DR8500III, го сравнихме рамо до рамо с DR3000III, който също поддържа 300 мм пластини, което прави разликите очевидни веднага.

Сравнителни елементи: DR8500III (Основно въведение) DR3000III

Основно позициониране: Напълно автоматичен апликатор за защитна лента за 200 мм пластини; Напълно автоматичен апликатор за защитна лента за 300 мм пластини

Приложими размери на пластините: 8/6/5/4 инча (200/150/125/100 мм); 300/200 мм (12 инча/8 инча)

Производителност: Стандартна: 77 пластини/час

RF версия: 68 пластини/час; 68 пластини/час

Съвместима дебелина на пластината: Пластини без шлифоване на задната страна; 400µm или по-дебели

Основни характеристики и технически характеристики:

Техническите характеристики на DR8500III изцяло отчитат съвместимостта, производителността на процеса и лекотата на работа.

Широка съвместимост с пластини: Стандартна поддръжка за 8/6/5-инчови пластини, с опционална поддръжка за 4-инчови пластини. Освен това, като опция могат да се добавят отопляеми патронници/ролки, за да се отговорят на различни технологични изисквания.

Технология за нанасяне на филм с ниско напрежение: RF версията използва технология за нанасяне с ниско напрежение, което значително намалява напрежението върху пластината по време на процеса на нанасяне на филма и намалява риска от изкривяване или счупване на пластината.

Високоефективна автоматизация по индустриален стандарт: Оборудването позволява на операторите бърз достъп до предварително зададени производствени параметри чрез сензорен панел и функционалност за рецепти, осигурявайки интуитивно управление. То също така отговаря на стандартите за безопасност CE и предлага опционални комуникационни протоколи SECS/GEM, позволяващи безпроблемна интеграция в съвременни системи за автоматизация на фабрики за полупроводници.

Области на приложение: Основният пазар на DR8500III е в производството на полупроводници с размер 200 мм (8-инчови) пластини, особено важни в следните ключови процеси:

Задно шлайфане: Това е основното му приложение. Преди процеса на задно шлайфане, то осигурява механична защита на предната страна на пластината, предотвратявайки надраскването на електрическите схеми от високоскоростни въртящи се шлифовъчни дискове; също така осигурява химическа защита, предотвратявайки замърсяване на повърхността на пластината с полираща течност и отломки.

Рязане/триониране на вафла: Преди нарязването на вафлата на отделни парченца, се поставя тиксо за нарязване, за да се фиксира вафлата, осигурявайки стабилност и прецизност по време на процеса на нарязване.

Съвместна работа и екосистема

В цялостна производствена линия за полупроводникови корпуси, DR8500III обикновено не работи самостоятелно, а по-скоро си сътрудничи с друго оборудване, за да образува затворен производствен процес от типа „нанасяне на филм - процес - отстраняване на филм“.

Сътрудничество с машини за отстраняване на фолио: След процеси като изтъняване на задната страна и лазерно отгряване, защитната лента трябва да бъде отстранена, което изисква машина за отстраняване на фолио. Например, напълно автоматичната машина за отстраняване на фолио HR8500III на Nitto е често срещан избор за комбиниране с DR8500III.

Сътрудничество с оборудване за смилане/нарязване: Процесът на нанасяне на филм на DR8500III е ключово звено в осигуряването на „предварителна обработка на материала“ за основно технологично оборудване, като например шлифовъчни машини и циркулярни триони.

Резюме

В обобщение, Nitto DR8500III е зряла, стабилна и ефикасна, напълно автоматична машина за нанасяне на филм върху пластини с размер 200 мм. Основната ѝ стойност се състои в осигуряването на надеждна защита на пластината преди критични процеси, като например изтъняване на задната страна, чрез прецизна технология за нанасяне на филм с ниско напрежение, което е от решаващо значение за осигуряване на добива и производителността на крайния чип.