Nitto Semiconductor -kiekkojen kiinnityslaite DR8500III

Nitto DR8500III on täysin automatisoitu Nitto NEL SYSTEM™ -sarjan suojateipin kiinnityslaite, joka on suunniteltu erityisesti 200 mm:n (8 tuuman) kiekoille. Yksinkertaisesti sanottuna sen ydintoiminto on kiinnittää suojateippikerros kokonaan kiekon etupuolelle (piirikuvioiden puolelle) ennen kriittistä takapuolen ohennusprosessia (tunnetaan myös nimellä takapuolen hionta), estäen vauriot myöhemmän suurnopeushionnan aikana.

DR8500III vs. DR3000III ydinparametrien vertailu

Jotta DR8500III:n sijoittelu olisi helpompaa, olemme verranneet sitä rinnakkain DR3000III:n kanssa, joka myös tukee 300 mm:n kiekkoja, joten erot ovat heti ilmeisiä.

Vertailukohteet: DR8500III (pääesittely) DR3000III

Pääasemointi: Täysautomaattinen suojateipin asetin 200 mm:n kiekoille; Täysautomaattinen suojateipin asetin 300 mm:n kiekoille

Soveltuvat kiekkokoot: 8/6/5/4 tuumaa (200/150/125/100 mm); 300/200 mm (12 tuumaa/8 tuumaa)

Suorituskyky: Vakio: 77 kiekkoa/tunti

RF-versio: 68 kiekkoa/tunti; 68 kiekkoa/tunti

Yhteensopiva kiekon paksuus: Kiekot ilman kääntöpuolen hiontaa; 400 µm tai paksumpi

Tärkeimmät ominaisuudet ja tekniset tiedot:

DR8500III:n tekniset ominaisuudet ottavat täysin huomioon yhteensopivuuden, prosessin suorituskyvyn ja helppokäyttöisyyden.

Laaja kiekkojen yhteensopivuus: Vakiotuki 8/6/5 tuuman kiekoille, valinnainen tuki 4 tuuman kiekoille. Lisäksi lämmitettyjä istukoita/teloja voidaan lisätä lisävarusteena erilaisten prosessivaatimusten täyttämiseksi.

Vähäjännitysinen kalvon kiinnitystekniikka: Sen RF-versio käyttää vähäjännitysistä kiinnitystekniikkaa, mikä vähentää merkittävästi kiekkoon kohdistuvaa rasitusta kalvon kiinnitysprosessin aikana ja pienentää kiekon vääntymisen tai rikkoutumisen riskiä.

Alan standardin mukainen tehokas automaatio: Laitteen käyttäjät voivat nopeasti käyttää esiasetettuja tuotantoparametreja kosketuspaneelin ja reseptitoimintojen kautta, mikä takaa intuitiivisen käytön. Se on myös CE-turvallisuusstandardien mukainen ja tarjoaa valinnaisia ​​SECS/GEM-tiedonsiirtoprotokollia, mikä mahdollistaa saumattoman integroinnin nykyaikaisiin puolijohdetehtaiden automaatiojärjestelmiin.

Sovellusalueet: DR8500III:n ensisijainen markkina-alue on 200 mm:n (8 tuuman) kiekkojen puolijohdevalmistus, jolla on erityisen suuri merkitys seuraavissa keskeisissä prosesseissa:

Hionta: Tämä on sen ydinsovellus. Ennen hiontaa se tarjoaa mekaanisen suojan kiekon etupuolelle estäen nopeasti pyöriviä hiomalaikkoja naarmuuntamasta piirilevyä; se tarjoaa myös kemiallisen suojan estäen kiekon pinnan kontaminoitumisen kiillotusnesteellä ja roskilla.

Kiekon kuutiointi/sahaus: Ennen kiekon kuutiointia yksittäisiksi siruiksi kiekko kiinnitetään kuutiointiteipillä, mikä varmistaa vakauden ja tarkkuuden kuutiointiprosessin aikana.

Yhteistyö ja ekosysteemi

Täydellisellä puolijohdepakkausten tuotantolinjalla DR8500III ei tyypillisesti toimi yksin, vaan toimii yhdessä muiden laitteiden kanssa muodostaen suljetun silmukan tuotantoprosessin, jossa "kalvon levitys - prosessi - kalvon poisto".

Yhteistyö kalvonpoistokoneiden kanssa: Prosessien, kuten taustapuolen ohennuksen ja laserhehkutuksen, jälkeen suojateippi on poistettava, mikä vaatii kalvonpoistokoneen. Esimerkiksi Nitton täysautomaattinen HR8500III-teipinpoistokone on yleinen valinta DR8500III:n pariksi.

Yhteistyö hioma-/kuutiointilaitteiden kanssa: DR8500III:n kalvonlevitysprosessi on ratkaiseva lenkki ydinprosessilaitteiden, kuten hiomakoneiden ja kuutiointisahojen, "materiaalin esikäsittelyssä".

Yhteenveto

Yhteenvetona voidaan todeta, että Nitto DR8500III on kypsä, vakaa ja tehokas täysautomaattinen 200 mm:n kiekkojen kalvonlevityskone. Sen ydin on kiekon luotettava suojaus ennen kriittisiä prosesseja, kuten takapuolen ohennusta, tarkan ja vähäjännitysisen kalvonlevitystekniikan avulla, mikä on ratkaisevan tärkeää lopullisen sirun saannon ja suorituskyvyn varmistamiseksi.