நிட்டோ செமிகண்டக்டர் வேஃபர் மவுண்டர் DR8500III

நிட்டோ DR8500III என்பது நிட்டோ NEL SYSTEM™ தொடரில் உள்ள ஒரு முழுமையான தானியங்கி பாதுகாப்பு நாடா ஒட்டும் கருவியாகும், இது குறிப்பாக 200 மிமீ (8-அங்குல) வேஃபர்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. எளிமையாகச் சொன்னால், இதன் முக்கிய செயல்பாடு, முக்கியமான பின்பக்க மெலிதாக்கும் (பின்பக்க அரைத்தல் என்றும் அழைக்கப்படும்) செயல்முறைக்கு முன்பு, வேஃபரின் முன்பக்கத்தில் (சுற்று வடிவங்கள் உள்ள பக்கம்) முழுவதுமாக ஒரு பாதுகாப்பு நாடா அடுக்கை ஒட்டுவதாகும். இது, அதைத் தொடர்ந்து நடைபெறும் அதிவேக அரைத்தலின் போது சேதம் ஏற்படுவதைத் தடுக்கிறது.

DR8500III மற்றும் DR3000III மைய அளவுருக்களின் ஒப்பீடு

DR8500III-இன் நிலைப்பாட்டை நீங்கள் விரைவாகப் புரிந்துகொள்ள உதவும் வகையில், 300mm வேஃபர்களையும் ஆதரிக்கும் DR3000III உடன் அதை நாங்கள் ஒப்பிட்டுள்ளோம், இது வேறுபாடுகளை உடனடியாகத் தெளிவுபடுத்துகிறது.

ஒப்பீட்டுப் பொருட்கள்: DR8500III (முக்கிய அறிமுகம்) DR3000III

முக்கிய நிலைப்படுத்தல்: 200 மிமீ வேஃபர்களுக்கான முழு தானியங்கி பாதுகாப்பு நாடா ஒட்டும் கருவி; 300 மிமீ வேஃபர்களுக்கான முழு தானியங்கி பாதுகாப்பு நாடா ஒட்டும் கருவி

பொருந்தக்கூடிய வேஃபர் அளவுகள்: 8/6/5/4 அங்குலம் (200/150/125/100மிமீ); 300/200மிமீ (12 அங்குலம்/8 அங்குலம்)

செயல்திறன்: தரநிலை: ஒரு மணி நேரத்திற்கு 77 வேஃபர்கள்

RF பதிப்பு: மணிக்கு 68 வேஃபர்கள்; மணிக்கு 68 வேஃபர்கள்

பொருந்தக்கூடிய வேஃபர் தடிமன்: பின்புறம் அரைக்கப்படாத வேஃபர்கள்; 400µm அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட தடிமன் கொண்டவை

முக்கிய அம்சங்கள் மற்றும் தொழில்நுட்ப சிறப்பியல்புகள்:

DR8500III-இன் தொழில்நுட்ப அம்சங்கள், இணக்கத்தன்மை, செயல்முறை செயல்திறன் மற்றும் இயக்க எளிமை ஆகியவற்றை முழுமையாகக் கருத்தில் கொள்கின்றன.

விரிவான வேஃபர் இணக்கத்தன்மை: 8/6/5-அங்குல வேஃபர்களுக்கான நிலையான ஆதரவும், 4-அங்குல வேஃபர்களுக்கான விருப்ப ஆதரவும் உண்டு. மேலும், வெவ்வேறு செயல்முறைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய, வெப்பமூட்டப்பட்ட சக்குகள்/ரோலர்களை ஒரு விருப்பமாகச் சேர்க்கலாம்.

குறைந்த அழுத்தப் படலப் பயன்பாட்டுத் தொழில்நுட்பம்: இதன் RF பதிப்பானது குறைந்த இழுவிசைப் பயன்பாட்டுத் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது. இது படலப் பயன்பாட்டுச் செயல்முறையின்போது வேஃபரின் மீதான அழுத்தத்தை கணிசமாகக் குறைத்து, வேஃபர் வளைவதற்கோ அல்லது உடைவதற்கோ ஆன அபாயத்தையும் குறைக்கிறது.

தொழில்துறை தரத்திலான உயர் செயல்திறன் தானியக்கம்: இந்த உபகரணம், இயக்குபவர்கள் தொடுதிரை மற்றும் செய்முறைச் செயல்பாடு வழியாக, முன்னரே அமைக்கப்பட்ட உற்பத்தி அளவுருக்களை விரைவாக அணுக அனுமதித்து, உள்ளுணர்வுடன் கூடிய செயல்பாட்டை வழங்குகிறது. மேலும் இது CE பாதுகாப்புத் தரநிலைகளுக்கு இணங்குவதோடு, விருப்பத்தேர்வாக SECS/GEM தகவல் தொடர்பு நெறிமுறைகளையும் வழங்குகிறது. இதன்மூலம், நவீன குறைக்கடத்தி தொழிற்சாலை தானியக்க அமைப்புகளில் தடையற்ற ஒருங்கிணைப்பைச் சாத்தியமாக்குகிறது.

பயன்பாட்டுத் துறைகள்: DR8500III-இன் முதன்மைச் சந்தையானது, 200மிமீ (8-அங்குல) வேஃபர்களின் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாகும். இது பின்வரும் முக்கிய செயல்முறைகளில் குறிப்பாக முக்கியத்துவம் பெறுகிறது:

பின் அரைத்தல்: இதுவே இதன் முக்கியப் பயன்பாடாகும். பின் அரைத்தல் செயல்முறைக்கு முன்பு, இது வேஃபரின் முன்பக்கத்திற்கு இயந்திரவியல் பாதுகாப்பை வழங்கி, அதிவேகமாகச் சுழலும் அரைக்கும் சக்கரங்கள் மின்சுற்றுகளைக் கீறுவதைத் தடுக்கிறது; மேலும் இது, மெருகூட்டும் திரவம் மற்றும் குப்பைகளால் வேஃபர் மேற்பரப்பு மாசுபடுவதைத் தடுத்து, வேதியியல் பாதுகாப்பையும் வழங்குகிறது.

வேஃபரைத் தனித்தனி சில்லுகளாக வெட்டுவதற்கு முன், வெட்டும் செயல்முறையின் போது நிலைத்தன்மையையும் துல்லியத்தையும் உறுதி செய்வதற்காக, வேஃபரை நிலைநிறுத்த வெட்டும் நாடா பயன்படுத்தப்படுகிறது.

கூட்டுப் பணி மற்றும் சூழல் அமைப்பு

ஒரு முழுமையான குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் உற்பத்தி வரிசையில், DR8500III பொதுவாகத் தனியாகச் செயல்படுவதில்லை, மாறாக மற்ற உபகரணங்களுடன் இணைந்து "ஃபிலிம் பொருத்துதல் - பதப்படுத்துதல் - ஃபிலிம் அகற்றுதல்" என்ற ஒரு மூடிய-சுற்று உற்பத்தி செயல்முறையை உருவாக்குகிறது.

படலம் அகற்றும் இயந்திரங்களுடனான ஒத்துழைப்பு: பின்புற மெலிதாக்குதல் மற்றும் லேசர் பதப்படுத்துதல் போன்ற செயல்முறைகளுக்குப் பிறகு, பாதுகாப்பு நாடாவை அகற்ற வேண்டியுள்ளது, இதற்கு ஒரு படலம் அகற்றும் இயந்திரம் தேவைப்படுகிறது. உதாரணமாக, நிட்டோவின் HR8500III முழு தானியங்கி நாடா அகற்றும் இயந்திரம், DR8500III உடன் இணைப்பதற்கு ஒரு பொதுவான தேர்வாகும்.

அரைக்கும்/துண்டாக்கும் உபகரணங்களுடனான ஒத்துழைப்பு: அரைப்பான்கள் மற்றும் துண்டாக்கும் ரம்பங்கள் போன்ற முக்கிய செயல்முறை உபகரணங்களுக்கு "பொருள் முன்சிகிச்சை" வழங்குவதில், DR8500III-இன் படலப் பயன்பாட்டுச் செயல்முறை ஒரு முக்கிய இணைப்பாகும்.

சுருக்கம்

சுருக்கமாக, நிட்டோ DR8500III என்பது ஒரு முதிர்ந்த, நிலையான மற்றும் திறமையான முழு தானியங்கி 200மிமீ வேஃபர் ஃபிலிம் பூசும் இயந்திரம் ஆகும். துல்லியமான, குறைந்த அழுத்த ஃபிலிம் பூசும் தொழில்நுட்பத்தின் மூலம், பின்பக்க மெலிதாக்குதல் போன்ற முக்கியமான செயல்முறைகளுக்கு முன்பு வேஃபருக்கு நம்பகமான பாதுகாப்பை வழங்குவதே இதன் முக்கிய மதிப்பாகும்; இது இறுதி சிப்பின் உற்பத்தி மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்வதற்கு இன்றியமையாததாகும்.