ACCRETECH FP2000 வேஃபர் புரோபர்

FP2000 என்பது ஜப்பானின் ACCRETECH நிறுவனத்தால் அறிமுகப்படுத்தப்பட்ட 200 மிமீ (8-அங்குல) முழுமையாக தானியங்கி வேஃபர்/ஃபிரேம் இரட்டைப் பயன்பாட்டு புரோபர்** ஆகும். இது முதன்மையாக, டைசிங் ஃபிரேம்களில் முன்-துண்டாக்கப்பட்ட சிப்களின் CP சோதனைக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, அதே நேரத்தில் நிலையான 5–8 அங்குல முழு வேஃபர்களுடனும் இணக்கமானது. இது CSP/WLCSP, MEMS, மற்றும் மிக மெல்லிய/வளைந்த வேஃபர்களைச் சோதிப்பதற்கான ஒரு முக்கிய மாடல் ஆகும்.

I. செயல்படும் கொள்கை

FP2000 என்பது அடிப்படையில் ஒரு உயர்-துல்லியமான மின்சார சோதனை மற்றும் வகைப்படுத்தும் கருவியாகும். அதன் மையக் கொள்கை மூன்று படிகளைக் கொண்டுள்ளது:

* **தானியங்கி ஏற்றுதல், இறக்குதல் மற்றும் நிலைநிறுத்துதல்:** முழு வேஃபர்கள் அல்லது டைசிங் ஃபிரேம்களில் இணைக்கப்பட்ட, முன்பே துண்டாக்கப்பட்ட வேஃபர்கள்/சிப்ஸ்களைத் தானாக ஏற்றுதல், சீரமைத்தல் மற்றும் நிலைநிறுத்துவதை இது ஆதரிக்கிறது.

* **படத்தை அடையாளம் காணுதல் மற்றும் துல்லியமான சீரமைப்பு:** உயர் தெளிவுத்திறன் கொண்ட கேமரா மற்றும் படச் செயலாக்க மென்பொருள் ஆகியவை சிப் பேடுகளைத் தானாகவே அடையாளம் கண்டு, XYθ தளத்தை மிகத் துல்லியமாக நகரச் செய்கின்றன. இதன் மூலம், ஆய்வு அட்டையின் முனை பேடுடன் துல்லியமாகச் சீரமைக்கப்படுவது உறுதி செய்யப்படுகிறது.

**படத்தை அடையாளம் காணுதல் மற்றும் துல்லியமான சீரமைப்பு:** உயர் தெளிவுத்திறன் கொண்ட கேமரா மற்றும் படச் செயலாக்க மென்பொருள் ஆகியவை சிப் பேட்களைத் தானாகவே அடையாளம் கண்டு, XYθ தளத்தை மிகத் துல்லியமாக நகரச் செய்கின்றன. இதன் மூலம், ஆய்வுக் கருவியின் முனை பேடுடன் துல்லியமாகச் சீரமைக்கப்படுவது உறுதி செய்யப்படுகிறது. மென்மையான தரையிறக்க மின் சோதனை: Z-அச்சு மென்மையான தரையிறக்கக் கட்டுப்பாடு; ஆய்வுக் கருவி பேடின் மீது லேசாக அழுத்தி ஒரு மின் இணைப்பை உருவாக்குகிறது; ATE சோதனைக் கருவி சிப்பின் செயல்பாடு/அளவுருக்களைச் சோதிக்க ஒரு சமிக்ஞையை வெளியிடுகிறது, நல்ல/கெட்ட முடிவுகளைப் பதிவுசெய்து அவற்றைக் குறிக்கிறது.

தரவு செயலாக்கம் மற்றும் வரிசைப்படுத்துதல்: சோதனை முடிவுகளின்படி தரவுகளைத் தானாகவே வகைப்படுத்தி சேமிக்கிறது, மேலும் பின்தள வரிசைப்படுத்தும்/பொதி செய்யும் உபகரணங்களுடன் இணைகிறது.

முக்கிய தொழில்நுட்ப சிறப்பம்சங்கள்: ஒரு தனித்துவமான சில்லு நிலை திருத்த அல்காரிதத்துடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது, இது துண்டாக்கப்பட்ட பிறகு சட்டகத்தில் உள்ள சில்லுவின் நீட்சி, விலகல் மற்றும் வளைவுப் பிழைகளை குறிப்பாக ஈடுசெய்து, துல்லியமான ஆய்வுக்கருவித் தொடர்பை உறுதி செய்கிறது.

II. முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் (2026 சமீபத்தியது)

அட்டவணை பொருள் அளவுரு பொருந்தக்கூடிய அளவு 5/6/8 அங்குலம் (120/150/200மிமீ) முழு வேஃபர்; 8-அங்குல டைசிங் ஃபிரேம் (6-அங்குல ஃபிரேமுடன் இணக்கமானது)

நிலைப்படுத்தல் துல்லியம் XY: ±1.0 μm; θ: ±0.001°

நகரும் வேகம் XY: அதிகபட்சம் 200 மிமீ/வி; Z: அதிகபட்சம் 20 மிமீ/வி

நிலையான வெப்பநிலை வரம்பு: அறை வெப்பநிலை; விருப்பத்தேர்வு: -40℃ ～ +150℃ உயர் மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை சோதனை

உயர் விறைப்புத்தன்மை கொண்ட பீங்கான் மேடை, வெற்றிடப் பிணைப்பு; மிக மெல்லிய (≤50μm), அதிக வளைவுத்தன்மை கொண்ட வேஃபர்கள்/ஃபிரேம்களைத் தாங்குகிறது.

சீரமைப்பு அமைப்பு: இரட்டை கேமரா (மேல்/கீழ்) தானியங்கி சீரமைப்பு; உருப்பெருக்கம் 200–1000×

அனைத்து நிலையான 200மிமீ புரோப் கார்டுகளுடனும் இணக்கமான புரோப் கார்டு; தானியங்கி இணைகோட்டு அளவுத்திருத்தம்

சராசரி கொள்ளளவு: ஒரு நாளைக்கு 200–300 வேஃபர்கள் (8 அங்குல 1800மிமீ டைசிங் ஃபிரேம்; மல்டி-டை விருப்பத்தேர்வு)

பரிமாணங்கள்/எடை: சுமார் 1800×1200×1800 மிமீ; சுமார் 1800 கிலோ

III. முக்கிய செயல்பாடுகள்

ஒரே கிளிக்கில் வேஃபர்/டைசிங் ஃபிரேமைத் திருப்புதல்

வன்பொருள் மாற்றங்கள் எதுவும் தேவையில்லை, முழு வேஃபர் மற்றும் டைசிங் ஃபிரேம் முறைகளுக்கு இடையில் ஒரே கிளிக்கில் மாறுவது, மாற்றீட்டு நேரத்தை கணிசமாகக் குறைக்கிறது.

முழுமையாக தானியங்கி சோதனை செயல்முறை

தானியங்கி ஏற்றுதல் → பிம்பச் சீரமைப்பு → ஆய்வுக் கருவித் தொடர்பு → மின்சாரச் சோதனை → முடிவுப் பதிவு → தானியங்கி இறக்குதல், முற்றிலும் கவனிக்கப்படாமல்.

உயர்-துல்லிய நிலை திருத்தம்

பிரத்யேக மென்பொருளானது, சிறு துண்டுகளாக வெட்டிய பிறகு ஏற்படும் சில்லு நீட்சி, இடப்பெயர்வு மற்றும் வளைவு ஆகியவற்றை ஈடுசெய்து, உற்பத்தி அளவை 3–5% வரை மேம்படுத்துகிறது.

பரந்த வெப்பநிலை மற்றும் சிறப்பு சோதனை

MEMS, மின் சாதனங்கள் மற்றும் வாகன மின்னணுவியல் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும், விருப்பத்திற்கேற்ப வழங்கப்படும் உயர் மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை, நுண் மின்னோட்டம், உயர் மின்னழுத்தம் மற்றும் RF சோதனைத் தொகுதிகள்.

ஊசித் தட கண்காணிப்பு

ஆய்வுக் கருவியின் தேய்மானம் மற்றும் வளைவை நிகழ்நேரத்தில் கண்காணிப்பதன் மூலம், பேட் சேதத்தைத் தடுத்து, பராமரிப்புச் செலவுகளைக் குறைக்கலாம்.

பல-அச்சு இணை சோதனை

ஒரே நேரத்தில் 4 சிப்புகள் வரை சோதிப்பதை ஆதரித்து, செயல் திறனை 2–3 மடங்கு அதிகரிக்கிறது. தரவுத் தடமறிதல் மற்றும் மேலாண்மை: பார்கோடு/க்யூஆர் குறியீடு அறிதல், ஐடி படித்தல் மற்றும் எழுதுதல், சோதனைத் தரவை நிகழ்நேரத்தில் பதிவேற்றுதல், மற்றும் உற்பத்திப் பகுப்பாய்வு மற்றும் தடமறிதலுக்கான ஆதரவு.

தரவு தடமறிதல் மற்றும் மேலாண்மை: பார்கோடு/க்யூஆர் குறியீடு அறிதல், ஐடி படித்தல் மற்றும் எழுதுதல், நிகழ்நேர சோதனைத் தரவு பதிவேற்றம், உற்பத்திப் பகுப்பாய்வு மற்றும் தடமறிதலுக்கு ஆதரவளித்தல்.

IV. முக்கிய செயல்பாடுகள்: சில்லு சோதனைக்கான பிரதான உபகரணம் (CP): சில்லுகளை சிறு துண்டுகளாக வெட்டிய பிறகு மற்றும் பொதி செய்வதற்கு முன்பு, வேஃபர் சட்டகத்திலேயே ஏற்கனவே வெட்டப்பட்ட சில்லுகளில் 100% மின்சார சோதனையை மேற்கொண்டு, நல்ல தயாரிப்புகளைத் தேர்ந்தெடுத்து, பொதி விரயத்தைத் தவிர்க்கிறது.

மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் தகவமைப்பு: CSP/WLCSP, ஃபேன்-அவுட் மற்றும் 2.5D/3D பேக்கேஜ்களுக்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்டு, மிக மெல்லிய/வளைவு/துண்டாக்குதல் தொடர்பான சோதனைச் சவால்களுக்குத் தீர்வு காண்கிறது.

MEMS/பவர் சாதனங்களுக்கென பிரத்யேகமானது: MEMS (அழுத்தமானி/முடுக்கமானி/கைரோஸ்கோப்), MOSFETகள், IGBTகள், மற்றும் டையோடுகள்/டிரான்சிஸ்டர்களின் உயர்-துல்லிய சோதனையை ஆதரிக்கிறது.

மேம்படுத்தப்பட்ட உற்பத்தி மற்றும் கொள்ளளவு: தானியங்கி அளவுத்திருத்தம் + அதிவேக சோதனை + இணைச் செயலாக்கம் ஆகியவை உற்பத்தியை மேம்படுத்துவதோடு, கொள்ளளவை இரட்டிப்பாக்கி, அலகு சோதனைச் செலவுகளையும் குறைக்கின்றன.

V. முக்கிய நன்மைகள் (ஒத்த தயாரிப்புகளுடன் ஒப்பீடு)

1. தனித்துவமான "வேஃபர்/ஃபிரேம் இரட்டைப் பயன்பாட்டு" உயர்-துல்லிய மாதிரி: போட்டியிடும் பெரும்பாலான தயாரிப்புகள் வேஃபர்கள் அல்லது ஃபிரேம்களுக்கு மட்டுமேயானவை; FP2000 ஆனது ஒன்றில் இரண்டு இயந்திரங்களுக்குச் சமமானது, இது மிக அதிக செலவுத் திறனை வழங்குகிறது.

2. தொழில்துறையில் முன்னணி வகிக்கும் உணவுக்கட்டுப்பாட்டிற்குப் பிந்தைய சோதனைத் துல்லியம்: 20 ஆண்டுகள் பழமையான ஒரு தனித்துவமான ஃபிரேம் சோதனை வழிமுறையைப் பயன்படுத்தி, இது சிறு துண்டுகளாக வெட்டுவதால் ஏற்படும் நீட்சி/வளைவை ஈடுசெய்து, ±1μm நிலைப்படுத்தல் துல்லியத்தை அடைகிறது; இது போட்டியாளர்களின் ±2–3μm துல்லியத்தை விடப் பன்மடங்கு அதிகமாகும்.

3. மிக மெல்லிய/வளைந்த வேஃபர்களைக் கையாளும் வலுவான திறன்: வெற்றிட உறிஞ்சுதல் மற்றும் நெகிழ்வான ஆதரவு ஆகியவை, 1%-க்கும் குறைவான உற்பத்தி இழப்புடன், ≤50μm மிக மெல்லிய மற்றும் >5mm வளைந்த வேஃபர்களை நிலையாகக் கையாளுவதை உறுதி செய்கின்றன.

4. முதிர்ந்த, நிலையான மற்றும் குறைந்த மொத்த உரிமையாளர் செலவு (TCO): உலகளவில் 1000-க்கும் மேற்பட்ட அலகுகள் நிறுவப்பட்டுள்ள UF2000 உயர்நிலைத் தளத்தை அடிப்படையாகக் கொண்டு, பழுதுகளுக்கு இடையிலான சராசரி நேரம் (MTBF) 5000 மணி நேரத்திற்கும் அதிகமாக இருப்பதால், பராமரிப்புச் செலவுகள் குறைவாக உள்ளன.

5. கூறுநிலை விரிவாக்கம், நெகிழ்வான தகவமைப்பு: உயர் மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை, உயர் அழுத்தம், நுண் மின்னோட்டம், RF, பல சில்லு இணைச் செயலாக்கம், ஆய்வுக்கருவி சுத்தம் செய்தல் போன்றவற்றுக்கான விருப்பத் தொகுதிகள், தேவைக்கேற்ப மேம்படுத்தல்களை அனுமதிப்பதோடு முதலீட்டையும் பாதுகாக்கின்றன.

6. எளிய செயல்பாடு, சுலபமாகக் கற்றுக்கொள்ளலாம்: ஒருங்கிணைந்த வரைகலை பயனர் இடைமுகப்பு (GUI), ஒரே கிளிக்கில் பயன்முறைகளை மாற்றுதல், தானியங்கி சீரமைப்பு மற்றும் தானியங்கி சோதனை; ஆரம்பநிலையாளர்கள் கூட இதை ஒரே நாளில் பயன்படுத்தக் கற்றுக்கொள்ளலாம்.

VI. வழக்கமான பயன்பாட்டுச் சூழ்நிலைகள்

CSP/WLCSP உற்பத்தி வரிசை: 8-அங்குல துண்டாக்கம் மற்றும் சட்டகச் சோதனை, அதிக அளவு, அதிக விளைச்சல்

MEMS உற்பத்தி: அழுத்தம்/முடுக்கமானி/சுழற்சிமானி சில்லுகள், உயர் மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை + நுண்-மின்னோட்டச் சோதனை

ஆற்றல் சாதனங்கள்: MOSFET-கள், IGBT-கள், டையோடுகள், உயர் மின்னழுத்தம்/உயர் மின்னோட்டச் சோதனை

மிகவும் மெல்லிய வேஃபர்கள்: 50μm-க்கும் குறைவான லாஜிக்/அனலாக் சிப்புகள், பின்புற ஒட்டுதல் + வளைவு ஈடுசெய்தல்

வாகன மின்னணுவியல்: AEC-Q100 சான்றிதழ், பரந்த வெப்பநிலை வரம்பு (-40℃~150℃) + உயர் நம்பகத்தன்மை சோதனை

VII. போட்டியாளர்களுடனான ஒப்பீடு (விரைவான கண்ணோட்டம்)

அட்டவணை ஒப்பீட்டுப் பொருள் ACCRETECH FP2000 TEL விலை octo UF200R

வேஃபர்/ஃபிரேம் இரட்டைப் பயன்பாடு நேட்டிவ் சப்போர்ட் வேஃபர் மட்டும் வேஃபர் மட்டும்

துண்டாக்கும் துல்லியம் ±1μm (அளவீடு செய்யப்பட்டது) ±1.5μm (அளவீடு செய்யப்படாதது) ±1.5μm (அளவீடு செய்யப்படாதது)

மிகவும் மெல்லிய செயலாக்கம் ≤50μm ≥100μm ≥75μm

கொள்ளளவு (8-அங்குல சட்டகம்): ஒரு நாளைக்கு 200–300 வேஃபர்கள்

சட்டகம் ஆதரிக்கப்படவில்லை

விலை: நடுத்தரம்-உயர், நடுத்தரம், குறைவு

பொருந்தக்கூடிய சூழ்நிலைகள்: ஃபிரேம் + வேஃபர், மேம்பட்ட பேக்கேஜிங், தூய வேஃபர், பொதுவான பெருமளவு உற்பத்தி, தூய வேஃபர், செலவு குறைந்த பெருமளவு உற்பத்தி

சுருக்கமாக: FP2000 என்பது 8-அங்குல சந்தையில், 'முழு வேஃபர்' மற்றும் 'துண்டாக்கப்பட்ட ஃபிரேம்' ஆகிய இரண்டு வகையான உயர்-துல்லிய சோதனைகளையும் கையாளக்கூடிய ஒரே முழுமையான புரோப் ஸ்டேஷன் ஆகும். இது குறிப்பாக CSP/WLCSP, MEMS மற்றும் மிக மெல்லிய வேஃபர்கள் போன்ற மேம்பட்ட பயன்பாடுகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது. மேலும், 2020 முதல் 2026 வரை உலகளவில் ஃபிரேம் சோதனைக்கான முழுமையான முதன்மை மாடலாகவும் இது திகழ்கிறது.