சிசிஆர்இடெக் யுஎஃப்200ஆர் குறைக்கடத்தி ஆய்வு நிலையம்

ACCRETECH UF200R என்பது ஜப்பானின் ACCRETECH நிறுவனத்தால் 120–200 மிமீ (5–8 அங்குலம்) வேஃபர்களுக்காக உருவாக்கப்பட்ட ஒரு முழுமையான தானியங்கி, செலவு குறைந்த குறைக்கடத்தி ஆய்வுக்கருவி ஆகும். இது சில்லுகளைத் துண்டாக்குவதற்கு முன்பு, வேஃபர் மட்ட சில்லுகளின் மின்சாரப் பரிசோதனைக்கு (CP பரிசோதனை) பயன்படுத்தப்படுகிறது.

அது என்ன செய்கிறது?

சுருக்கமாகச் சொன்னால்: வேஃபர் தனித்தனி சில்லுகளாக வெட்டப்படுவதற்கு முன்பு, ஆய்வுக் கருவிகள் சில்லுப் பட்டைகளைத் தொட்டு மின்சார/செயல்பாட்டுச் சோதனைகளைச் செய்து, நல்ல மற்றும் குறைபாடுள்ள சில்லுகளைப் பிரிக்கின்றன. நிலை: வேஃபர் சோதனை (CP)

இலக்கு: முதன்மையாக 200 மிமீ (8-அங்குலம்), 5/6-அங்குல வேஃபர்களுக்கும் பொருத்தமானது.

பொதுவான சில்லுகள்: லாஜிக், அனலாக், பவர் டிவைஸ்கள், டிஸ்க்ரீட் டிவைஸ்கள், MEMS

II. முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் (ஒரு பார்வையில்)

வேஃபர் அளவு: 120/150/200மிமீ (5–8 அங்குலம்)

நிலைப்படுத்தல் துல்லியம்: ±1.5μm (XY)

நகரும் வேகம்:

XY: 300 மிமீ/வி வரை

Z: 30 மிமீ/வி வரை

வெப்பநிலை வரம்பு: -40℃ ～ +150℃ (விருப்பத்திற்கேற்ப வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு)

நிலை: உயர் விறைப்புத்தன்மை கொண்ட Z/θ தளம், மிகவும் மெல்லிய/வளைந்த வேஃபர்களுடன் இணக்கமானது.

செயல்பாடு: முழுமையாகத் தானியங்கி ஏற்றுதல் மற்றும் இறக்குதல், தானியங்கி சீரமைப்பு, ஆய்வுக்கருவி மூலம் பரிசோதித்தல்

III. முக்கிய செயல்பாடுகள்

முழுமையாக தானியங்கி சோதனை செயல்முறை

தானியங்கி வேஃபர் ஏற்றுதல் → பிம்பச் சீரமைப்பு → ஆய்வுக்கருவித் தொடர்பு → மின்சாரச் சோதனை → பிரித்தல் மற்றும் பதிவு செய்தல் → தானியங்கி இறக்குதல்

பல வகை இணக்கத்தன்மை

ஸ்டாண்டர்ட் லாஜிக், அனலாக், பவர், MOSFET, டையோடு, டிரான்சிஸ்டர், MEMS ஆகிய அனைத்தையும் அளவிட முடியும். பரந்த வெப்பநிலை வரம்பு மற்றும் சிறப்புச் சோதனைகள். குறைந்த/அதிக வெப்பநிலை, நுண்-மின்னோட்டம், உயர்-மின்னழுத்தச் சோதனை போன்றவற்றுக்கான முழுமையான தேர்வுகள். மிக மெல்லிய/வளைந்த வேஃபர் செயலாக்கம். பின்புற ஒட்டுதல் + சிறப்பு கையாளும் பொறிமுறை, மிக மெல்லிய (≤50μm) மற்றும் அதிக வளைந்த வேஃபர்களை ஆதரிக்கிறது.

IV. நன்மைகள் (ஒத்த தயாரிப்புகளுடன் ஒப்பிடும்போது)

உயர்ந்த விலை-செயல்திறன் விகிதம்: உயர்தர UF2000-இன் (MMI போன்ற) துல்லியம் மற்றும் தளத்திற்கு நெருக்கமானது, ஆனால் மிகவும் மலிவு விலையில் கிடைக்கிறது.

அதிக உற்பத்தித் திறன்: XY அதிவேகம் மற்றும் விரைவான பின் மாற்றும் அட்டை, அதிக அளவிலான 8-அங்குல உற்பத்தித் தொடர்களுக்கு ஏற்றது.

நிலையான மற்றும் நம்பகமான: முதிர்ந்த ACCRETECH தளம், குறைந்த பராமரிப்பு, நீண்ட ஆயுட்காலம்.

நெகிழ்வான விரிவாக்கம்: மட்டு வடிவமைப்பு, பின்னர் வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு, உயர் மின்னழுத்தம், நுண் மின்னோட்டம், இரட்டைத் தொட்டி போன்றவற்றைச் சேர்க்கலாம்.

V. பொதுவான ஒப்பீடுகள் (சரியான பொருளை விரைவாகக் கண்டறிய உங்களுக்கு உதவுகிறது)

UF200R: பொதுவான 8-அங்குல பெருமளவு உற்பத்தி, லாஜிக்/பவர்/தனித்த, செலவுத் திறனுக்கு முன்னுரிமை.

UF190R: அதிக கச்சிதமானது, தொடக்க நிலை, தனித்தனி சாதனங்கள்/சிறு தொகுதிகளுக்கு ஏற்றது.

UF2000: உயர்தர 8-அங்குலம், அதிக துல்லியம், விரிவான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு, MEMS/ மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம்

சுருக்கமாக: UF200R என்பது 8-அங்குல நடுத்தர-சோதனை சந்தையில் "முக்கியமான செலவு குறைந்த சோதனை நிலையம்" ஆகும் — இது போதுமான துல்லியம், அதிவேகம், நிலைத்தன்மை, நீடித்துழைக்கும் தன்மை மற்றும் விரிவாக்கக்கூடிய தன்மையை வழங்குவதால், அதிக எண்ணிக்கையிலான, பலவகைப்பட்ட 8-அங்குல உற்பத்தித் தொடர்களுக்கு இது பொருத்தமானதாக அமைகிறது.