குறைக்கடத்தி மற்றும் துல்லிய உற்பத்திக்கு பிளாஸ்மா சுத்திகரிப்பு இயந்திரங்கள்

பிளாஸ்மா கிளீனர் என்பது, ஒட்டுதல், பூசுதல், அச்சிடுதல், பற்றவைத்தல் அல்லது பொதியிடுதல் போன்ற பணிகளுக்கு முன்பு, பிளாஸ்மா ஆற்றலைப் பயன்படுத்தி அசுத்தங்களை அகற்றவும், மேற்பரப்புகளைச் செயல்படுத்தவும், ஒட்டுதலை மேம்படுத்தவும் செய்யும் ஒரு மேற்பரப்புச் சுத்திகரிப்பு இயந்திரமாகும்.

குறைக்கடத்தித் தகடுகள், அச்சிடப்பட்ட சுற்றுப் பலகைத் தொகுப்புகள், MEMS சாதனங்கள், ஒளியியல் கூறுகள், மருத்துவப் பாகங்கள், நெகிழிகள், பீங்கான்கள், கண்ணாடி மற்றும் துல்லியமான மின்னணுக் கூறுகள் ஆகியவற்றிற்கு பிளாஸ்மா சுத்திகரிப்பு பயன்படுத்தப்படுகிறது.

ஒரு பிளாஸ்மா சுத்திகரிப்பான், செயல்முறை வாயுவை அயனியாக்கம் செய்ய ரேடியோ அலை (RF) அல்லது நுண்ணலை ஆற்றலைப் பயன்படுத்துகிறது. இவ்வாறு உருவாகும் பிளாஸ்மா, மேற்பரப்பில் உள்ள மாசுகளுடன் வினைபுரிந்து, மேற்பரப்பு ஆற்றலை மேம்படுத்த உதவுகிறது.

ஆம். பிளாஸ்மா சிகிச்சையானது, அசுத்தங்களை அகற்றி மேற்பரப்பு ஆற்றலை அதிகரிப்பதன் மூலம் பிணைப்பு வலிமையை மேம்படுத்தும். இது பசைகள், பூச்சுகள் மற்றும் பிணைப்புப் பொருட்கள் மிகவும் நம்பகத்தன்மையுடன் ஒட்டிக்கொள்ள உதவுகிறது.

பொதுவான வாயுக்களில் ஆக்ஸிஜன், ஆர்கான், நைட்ரஜன், CF4 மற்றும் கலப்பு வாயுக்கள் அடங்கும். சிறந்த வாயுவானது, கையாளப்படும் பொருள், மாசுபாட்டின் வகை மற்றும் சுத்திகரிப்பின் நோக்கம் ஆகியவற்றைப் பொறுத்து அமைகிறது.

வெற்றிட பிளாஸ்மா பொதுவாக நல்ல சீரான தன்மையுடன் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட தொகுதி சிகிச்சைக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. வளிமண்டல பிளாஸ்மா பெரும்பாலும் வெற்றிட அறை இல்லாமல், நேரடி அல்லது குறிப்பிட்ட இடத்திற்கான மேற்பரப்பு சிகிச்சைக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

ஆம். குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் மற்றும் வேஃபர் செயலாக்கத்தில், குறிப்பாக பிணைப்பு, பூச்சு, ஆய்வு மற்றும் ஒருங்கிணைப்பு செயல்முறைகளுக்கு முன்பு, பிளாஸ்மா சுத்திகரிப்பு பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

மூலப்பொருளின் வகை, கலனின் அளவு, வாயுவின் வகை, வெற்றிட நிலை, சுத்திகரிப்பு நோக்கம், உற்பத்தி அளவு, மற்றும் உங்களுக்குத் தொகுதி முறையிலான செயலாக்கம் தேவையா அல்லது தொடர்முறையிலான செயலாக்கம் தேவையா என்பனவற்றைக் கருத்தில் கொள்ள வேண்டும்.

இயந்திரத்தின் வகை, அறையின் அளவு, தானியக்க நிலை, வெற்றிட அமைப்பு, செயலாக்கத் திறன், பிராண்ட் மற்றும் இயந்திரம் புதியதா, புதுப்பிக்கப்பட்டதா அல்லது முன்பே பயன்படுத்தப்பட்டதா என்பதைப் பொறுத்து செலவு அமைகிறது.