Montador de obleas Nitto Semiconductor DR8500III

O Nitto DR8500III é un dispositivo de aplicación de cinta protectora totalmente automatizado da serie Nitto NEL SYSTEM™, deseñado especificamente para obleas de 200 mm (8 polgadas). En poucas palabras, a súa función principal é aplicar unha capa de cinta protectora completamente na parte frontal da oblea (a parte cos patróns de circuítos) antes do proceso crítico de adelgazamento da parte traseira (tamén coñecido como moenda da parte traseira), evitando danos durante a moenda posterior a alta velocidade.

Comparación dos parámetros principais do DR8500III fronte ao DR3000III

Para axudarche a comprender rapidamente o posicionamento do DR8500III, comparámolo xunto co DR3000III, que tamén admite obleas de 300 mm, o que fai que as diferenzas sexan inmediatamente evidentes.

Elementos de comparación: DR8500III (introdución principal) DR3000III

Posicionamento principal: Aplicador de cinta protectora totalmente automático para obleas de 200 mm; Aplicador de cinta protectora totalmente automático para obleas de 300 mm

Tamaños de oblea aplicables: 8/6/5/4 polgadas (200/150/125/100 mm); 300/200 mm (12 polgadas/8 polgadas)

Rendemento: Estándar: 77 obleas/hora

Versión RF: 68 obleas/hora; 68 obleas/hora

Grosor de oblea compatible: obleas sen moenda traseira; 400 µm ou máis grosas

Principais características e características técnicas:

As características técnicas do DR8500III teñen en conta plenamente a compatibilidade, o rendemento do proceso e a facilidade de funcionamento.

Ampla compatibilidade de obleas: Compatibilidade estándar con obleas de 8/6/5 polgadas, con compatibilidade opcional con obleas de 4 polgadas. Ademais, pódense engadir mandriles/rolos calefactados como opción para satisfacer diferentes requisitos do proceso.

Tecnoloxía de aplicación de película de baixa tensión: a súa versión RF emprega tecnoloxía de aplicación de baixa tensión, o que reduce significativamente a tensión na oblea durante o proceso de aplicación da película e reduce o risco de deformación ou rotura da oblea.

Automatización de alta eficiencia estándar da industria: o equipo permite aos operadores acceder rapidamente aos parámetros de produción predefinidos a través dun panel táctil e unha funcionalidade de receitas, o que proporciona un funcionamento intuitivo. Tamén cumpre coas normas de seguridade CE e ofrece protocolos de comunicación SECS/GEM opcionais, o que permite unha integración sen fisuras nos sistemas modernos de automatización de fábricas de semicondutores.

Áreas de aplicación: O mercado principal do DR8500III é a fabricación de obleas de semicondutores de 200 mm (8 polgadas), o que resulta especialmente crucial nos seguintes procesos clave:

Rectificado posterior: esta é a súa aplicación principal. Antes do proceso de rectificado posterior, proporciona protección mecánica á parte frontal da oblea, evitando que as rodas de amolado que xiran a alta velocidade raien os circuítos; tamén proporciona protección química, evitando a contaminación da superficie da oblea ao pulir o fluído e os residuos.

Corte/serrado de obleas: Antes de cortar a oblea en chips individuais, aplícase cinta de corte para fixala, garantindo a estabilidade e a precisión durante o proceso de corte.

Traballo colaborativo e ecosistema

Nunha liña de produción completa de envases de semicondutores, o DR8500III non adoita traballar só, senón que colabora con outros equipos para formar un proceso de produción en bucle pechado de "aplicación de película - proceso - eliminación de película".

Colaboración con máquinas de eliminación de película: Despois de procesos como o adelgazamento da parte traseira e o recocido láser, é necesario retirar a cinta protectora, o que require unha máquina de eliminación de película. Por exemplo, a máquina de eliminación de cinta totalmente automática HR8500III de Nitto é unha opción común para combinar coa DR8500III.

Colaboración con equipos de moenda/corte en dados: o proceso de aplicación de película da DR8500III é un elo crucial para proporcionar "pretratamento de material" para equipos de proceso básicos, como moendas e serras de corte en dados.

Resumo

En resumo, a Nitto DR8500III é unha máquina de aplicación de película de obleas de 200 mm totalmente automática, madura, estable e eficiente. O seu valor fundamental reside en proporcionar unha protección fiable para a oblea antes de procesos críticos como o adelgazamento da parte traseira mediante unha tecnoloxía de aplicación de película precisa e de baixa tensión, que é crucial para garantir o rendemento e o rendemento do chip final.