เครื่องติดตั้งเวเฟอร์ Nitto Semiconductor รุ่น DR8500III

เครื่อง Nitto DR8500III เป็นอุปกรณ์ติดเทปป้องกันแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบในซีรีส์ Nitto NEL SYSTEM™ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับเวเฟอร์ขนาด 200 มม. (8 นิ้ว) กล่าวโดยง่าย หน้าที่หลักของมันคือการติดเทปป้องกันให้ครอบคลุมด้านหน้าของเวเฟอร์ (ด้านที่มีวงจร) ก่อนกระบวนการเจียรด้านหลัง (หรือที่เรียกว่าการเจียรด้านหลัง) ที่สำคัญ เพื่อป้องกันความเสียหายระหว่างการเจียรด้วยความเร็วสูงในขั้นตอนต่อไป

การเปรียบเทียบพารามิเตอร์หลักของ DR8500III กับ DR3000III

เพื่อช่วยให้คุณเข้าใจตำแหน่งของ DR8500III ได้เร็วขึ้น เราจึงนำมาเปรียบเทียบกับ DR3000III ซึ่งรองรับเวเฟอร์ขนาด 300 มม. เช่นกัน ทำให้เห็นความแตกต่างได้อย่างชัดเจน

รายการเปรียบเทียบ: DR8500III (บทนำหลัก) DR3000III

ตำแหน่งทางการตลาดหลัก: เครื่องติดเทปกาวป้องกันอัตโนมัติสำหรับเวเฟอร์ขนาด 200 มม.; เครื่องติดเทปกาวป้องกันอัตโนมัติสำหรับเวเฟอร์ขนาด 300 มม.

ขนาดเวเฟอร์ที่ใช้งานได้: 8/6/5/4 นิ้ว (200/150/125/100 มม.); 300/200 มม. (12 นิ้ว/8 นิ้ว)

อัตราการผลิต: มาตรฐาน: 77 แผ่นเวเฟอร์/ชั่วโมง

รุ่น RF: 68 แผ่นเวเฟอร์/ชั่วโมง; 68 แผ่นเวเฟอร์/ชั่วโมง

ความหนาของเวเฟอร์ที่ใช้งานร่วมกันได้: เวเฟอร์ที่ไม่มีการเจียรด้านหลัง; 400 ไมโครเมตรขึ้นไป

คุณสมบัติหลักและลักษณะทางเทคนิค:

คุณสมบัติทางเทคนิคของ DR8500III คำนึงถึงความเข้ากันได้ ประสิทธิภาพการทำงาน และความง่ายในการใช้งานอย่างครบถ้วน

ความเข้ากันได้กับเวเฟอร์หลากหลายขนาด: รองรับเวเฟอร์ขนาด 8/6/5 นิ้วเป็นมาตรฐาน และรองรับเวเฟอร์ขนาด 4 นิ้วได้ (เป็นตัวเลือกเพิ่มเติม) นอกจากนี้ ยังสามารถเพิ่มหัวจับ/ลูกกลิ้งแบบให้ความร้อนได้ (เป็นตัวเลือกเสริม) เพื่อให้ตรงกับความต้องการของกระบวนการผลิตที่แตกต่างกัน

เทคโนโลยีการเคลือบฟิล์มด้วยแรงกดต่ำ: รุ่น RF นี้ใช้เทคโนโลยีการเคลือบด้วยแรงกดต่ำ ซึ่งช่วยลดแรงกดบนแผ่นเวเฟอร์ระหว่างกระบวนการเคลือบฟิล์มได้อย่างมาก และลดความเสี่ยงต่อการบิดเบี้ยวหรือแตกหักของแผ่นเวเฟอร์

ระบบอัตโนมัติประสิทธิภาพสูงตามมาตรฐานอุตสาหกรรม: อุปกรณ์นี้ช่วยให้ผู้ปฏิบัติงานสามารถเข้าถึงพารามิเตอร์การผลิตที่ตั้งไว้ล่วงหน้าได้อย่างรวดเร็วผ่านแผงสัมผัสและฟังก์ชันการกำหนดสูตร ทำให้การใช้งานเป็นไปอย่างง่ายดาย นอกจากนี้ยังเป็นไปตามมาตรฐานความปลอดภัย CE และมีโปรโตคอลการสื่อสาร SECS/GEM ให้เลือกใช้งาน ทำให้สามารถผสานรวมเข้ากับระบบอัตโนมัติของโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ทันสมัยได้อย่างราบรื่น

พื้นที่การใช้งาน: ตลาดหลักของ DR8500III คือการผลิตเซมิคอนดักเตอร์โดยใช้เวเฟอร์ขนาด 200 มม. (8 นิ้ว) ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งในกระบวนการผลิตหลักดังต่อไปนี้:

การเจียรด้านหลัง: นี่คือการใช้งานหลักของกระบวนการนี้ ก่อนกระบวนการเจียรด้านหลัง มันจะช่วยปกป้องด้านหน้าของแผ่นเวเฟอร์จากความเสียหายทางกล ป้องกันไม่ให้ล้อเจียรที่หมุนด้วยความเร็วสูงไปขูดขีดวงจร และยังช่วยป้องกันความเสียหายทางเคมี ป้องกันการปนเปื้อนของพื้นผิวเวเฟอร์จากน้ำยาขัดเงาและเศษวัสดุต่างๆ

การตัด/เลื่อยเวเฟอร์: ก่อนที่จะตัดเวเฟอร์ออกเป็นชิ้นๆ จะมีการติดเทปกาวสำหรับตัดเพื่อยึดเวเฟอร์ให้แน่น เพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรและความแม่นยำในระหว่างกระบวนการตัด

การทำงานร่วมกันและระบบนิเวศ

ในสายการผลิตบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์แบบครบวงจร โดยทั่วไปแล้ว DR8500III จะไม่ได้ทำงานเพียงลำพัง แต่จะทำงานร่วมกับอุปกรณ์อื่นๆ เพื่อสร้างกระบวนการผลิตแบบวงปิดที่ประกอบด้วย "การติดฟิล์ม - การประมวลผล - การลอกฟิล์มออก"

การทำงานร่วมกับเครื่องลอกฟิล์ม: หลังจากกระบวนการต่างๆ เช่น การทำให้ด้านหลังบางลงและการอบด้วยเลเซอร์ เทปป้องกันจะต้องถูกลอกออก ซึ่งต้องใช้เครื่องลอกฟิล์ม ตัวอย่างเช่น เครื่องลอกเทปอัตโนมัติเต็มรูปแบบ HR8500III ของ Nitto เป็นตัวเลือกที่นิยมใช้ร่วมกับ DR8500III

การทำงานร่วมกับอุปกรณ์บด/หั่น: กระบวนการเคลือบฟิล์มของ DR8500III เป็นส่วนสำคัญในการ "เตรียมวัสดุเบื้องต้น" สำหรับอุปกรณ์หลักในกระบวนการผลิต เช่น เครื่องบดและเครื่องเลื่อยหั่น

สรุป

โดยสรุปแล้ว Nitto DR8500III เป็นเครื่องเคลือบฟิล์มเวเฟอร์อัตโนมัติขนาด 200 มม. ที่มีความเสถียรและมีประสิทธิภาพสูง คุณค่าหลักของเครื่องนี้อยู่ที่การปกป้องเวเฟอร์อย่างน่าเชื่อถือก่อนกระบวนการสำคัญต่างๆ เช่น การลดความบางของด้านหลังเวเฟอร์ ด้วยเทคโนโลยีการเคลือบฟิล์มที่แม่นยำและลดแรงกด ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งในการรับประกันผลผลิตและประสิทธิภาพของชิปขั้นสุดท้าย