Nitto Semiconductor vahvlikinnitusseade DR8500III

Nitto DR8500III on täisautomaatne kaitselindi pealekandmise seade Nitto NEL SYSTEM™ seeriast, mis on spetsiaalselt loodud 200 mm (8-tollistele) vahvlitele. Lihtsamalt öeldes on selle põhifunktsioon kaitselindi kihi täielik katmine vahvli esiküljele (vooluahela mustritega küljele) enne kriitilist tagakülje õhendamist (tuntud ka kui tagakülje lihvimine), vältides kahjustusi järgneva kiire lihvimise ajal.

DR8500III ja DR3000III põhiparameetrite võrdlus

DR8500III positsiooni kiireks mõistmiseks oleme seda kõrvuti võrrelnud DR3000III-ga, mis samuti toetab 300 mm vahvleid, mistõttu on erinevused koheselt nähtavad.

Võrdlusüksused: DR8500III (põhisissejuhatus) DR3000III

Peamine positsioneerimine: Täisautomaatne kaitselindi aplikaator 200 mm vahvlitele; Täisautomaatne kaitselindi aplikaator 300 mm vahvlitele

Sobivad vahvli suurused: 8/6/5/4 tolli (200/150/125/100 mm); 300/200 mm (12 tolli/8 tolli)

Läbilaskevõime: Standard: 77 kiipi tunnis

RF-versioon: 68 kiipi tunnis; 68 kiipi tunnis

Ühilduv vahvli paksus: ilma tagakülje lihvimiseta vahvlid; 400 µm või paksemad

Peamised omadused ja tehnilised omadused:

DR8500III tehniliste omaduste väljatöötamisel on täielikult arvestatud ühilduvuse, protsesside jõudluse ja kasutusmugavusega.

Lai ühilduvus vahvlitega: Standardne tugi 8/6/5-tollistele vahvlitele, valikuline tugi 4-tollistele vahvlitele. Lisaks saab erinevate protsessinõuete täitmiseks lisada lisavarustusena soojendusega padruneid/rulle.

Madala pingega kile pealekandmise tehnoloogia: selle RF-versioon kasutab madala pingega pealekandmise tehnoloogiat, mis vähendab oluliselt kile pealekandmise ajal kile pealekandmisele avalduvat pinget ja vähendab kile deformeerumise või purunemise ohtu.

Tööstusstandardile vastav suure tõhususega automatiseerimine: seade võimaldab operaatoritel puutepaneeli ja retseptifunktsioonide kaudu kiiresti juurde pääseda eelseadistatud tootmisparameetritele, pakkudes intuitiivset kasutamist. See vastab ka CE ohutusstandarditele ja pakub valikulisi SECS/GEM sideprotokolle, mis võimaldavad sujuvat integreerimist kaasaegsetesse pooljuhtide tehase automatiseerimissüsteemidesse.

Kasutusalad: DR8500III peamine turg on 200 mm (8-tolliste) vahvlite pooljuhtide tootmine, mis on eriti oluline järgmistes võtmeprotsessides:

Tagasilihvimine: See on selle põhirakendus. Enne tagasilihvimist pakub see kiibi esiküljele mehaanilist kaitset, takistades kiirelt pöörlevatel lihvketastel vooluringi kriimustada; see pakub ka keemilist kaitset, hoides ära kiibi pinna saastumise poleerimisvedeliku ja prahiga.

Vahvli tükeldamine/saagimine: Enne vahvli tükeldamist üksikuteks kiipideks kinnitatakse vahvel tükeldusteibiga, mis tagab tükeldamise ajal stabiilsuse ja täpsuse.

Koostöö ja ökosüsteem

Täielikul pooljuhtide pakendite tootmisliinil ei tööta DR8500III tavaliselt üksi, vaid teeb koostööd teiste seadmetega, moodustades suletud ahelaga tootmisprotsessi "kile pealekandmine - töötlemine - kile eemaldamine".

Koostöö kileeemaldusmasinatega: Pärast selliseid protsesse nagu tagakülje õhendamine ja laserlõõmutamine tuleb kaitseteip eemaldada, mis nõuab kileeemaldusmasinat. Näiteks on Nitto täisautomaatne teibieemaldusmasin HR8500III tavaline valik DR8500III-ga koos kasutamiseks.

Koostöö lihvimis-/kuubikuteks lõikamise seadmetega: DR8500III kile pealekandmise protsess on oluline lüli põhiprotsessiseadmete, näiteks lihvimismasinate ja kuubikuteks lõikamise saagide "materjali eeltöötluse" tagamisel.

Kokkuvõte

Kokkuvõttes on Nitto DR8500III küps, stabiilne ja tõhus täisautomaatne 200 mm kile pealekandmise masin. Selle põhiväärtus seisneb kiibi usaldusväärses kaitses enne kriitilisi protsesse, näiteks tagakülje õhendamist, täpse ja madala pingega kile pealekandmise tehnoloogia abil, mis on lõpliku kiibi saagikuse ja jõudluse tagamiseks ülioluline.