Устройство для монтажа полупроводниковых пластин Nitto Semiconductor DR8500III

Nitto DR8500III — это полностью автоматизированное устройство для нанесения защитной ленты из серии Nitto NEL SYSTEM™, специально разработанное для 200-мм (8-дюймовых) кремниевых пластин. Проще говоря, его основная функция заключается в нанесении слоя защитной ленты на всю лицевую сторону пластины (сторону с рисунками печатной платы) перед критически важным процессом истончения обратной стороны (также известным как шлифовка обратной стороны), предотвращая повреждения во время последующей высокоскоростной шлифовки.

Сравнение основных параметров DR8500III и DR3000III

Чтобы помочь вам быстро оценить преимущества DR8500III, мы сравнили его с DR3000III, который также поддерживает 300-мм пластины, что сразу же выявило различия.

Сравнительные модели: DR8500III (Основное описание) DR3000III

Основное назначение: Полностью автоматический аппликатор защитной ленты для пластин диаметром 200 мм; Полностью автоматический аппликатор защитной ленты для пластин диаметром 300 мм.

Подходящие размеры пластин: 8/6/5/4 дюйма (200/150/125/100 мм); 300/200 мм (12 дюймов/8 дюймов).

Производительность: Стандартная: 77 пластин/час

Версия RF: 68 пластин/час; 68 пластин/час

Допустимая толщина пластин: пластины без шлифовки обратной стороны; 400 мкм и более.

Основные характеристики и технические особенности:

Технические характеристики DR8500III в полной мере учитывают совместимость, производительность процесса и простоту эксплуатации.

Широкая совместимость с пластинами: стандартная поддержка пластин диаметром 8/6/5 дюймов, опциональная поддержка пластин диаметром 4 дюйма. Кроме того, в качестве опции можно добавить нагреваемые зажимные устройства/ролики для удовлетворения различных технологических требований.

Технология нанесения пленки с низким натяжением: В ее радиочастотной версии используется технология нанесения пленки с низким натяжением, что значительно снижает нагрузку на пластину в процессе нанесения пленки и уменьшает риск деформации или поломки пластины.

Высокоэффективная автоматизация, соответствующая отраслевым стандартам: оборудование позволяет операторам быстро получать доступ к заданным параметрам производства через сенсорную панель и функции управления рецептами, обеспечивая интуитивно понятное управление. Оно также соответствует стандартам безопасности CE и предлагает опциональные протоколы связи SECS/GEM, что обеспечивает бесшовную интеграцию в современные системы автоматизации полупроводниковых заводов.

Области применения: Основной рынок сбыта DR8500III — это производство полупроводниковых пластин диаметром 200 мм (8 дюймов), что особенно важно для следующих ключевых процессов:

Обратная шлифовка: это её основное применение. Перед процессом обратной шлифовки она обеспечивает механическую защиту лицевой стороны пластины, предотвращая царапание схем высокоскоростными вращающимися шлифовальными кругами; она также обеспечивает химическую защиту, предотвращая загрязнение поверхности пластины полировальной жидкостью и мусором.

Нарезка/распиловка пластин: Перед нарезкой пластины на отдельные чипы на них наклеивается разделочная лента для фиксации, обеспечивающая стабильность и точность в процессе нарезки.

Совместная работа и экосистема

На полноценной линии по производству полупроводниковых корпусов DR8500III обычно работает не в одиночку, а в сотрудничестве с другим оборудованием, образуя замкнутый производственный цикл «нанесение пленки — обработка — удаление пленки».

Взаимодействие с машинами для удаления защитной пленки: После таких процессов, как истончение обратной стороны и лазерный отжиг, защитную ленту необходимо удалить, для чего требуется машина для удаления пленки. Например, полностью автоматическая машина для удаления ленты Nitto HR8500III часто используется в паре с DR8500III.

Взаимодействие с шлифовально-режущим оборудованием: Процесс нанесения пленки с помощью DR8500III является важнейшим звеном в обеспечении «предварительной обработки материала» для основного технологического оборудования, такого как шлифовальные станки и режущие пилы.

Краткое содержание

В заключение, Nitto DR8500III — это зрелая, стабильная и эффективная полностью автоматическая машина для нанесения защитной пленки на 200-мм пластины. Ее основная ценность заключается в обеспечении надежной защиты пластины перед критически важными процессами, такими как истончение обратной стороны, благодаря точной технологии нанесения пленки с низким уровнем напряжения, что имеет решающее значение для обеспечения выхода годной продукции и производительности конечного чипа.