Nitto Semiconductor skífufestingarbúnaður DR8500III

Nitto DR8500III er fullkomlega sjálfvirkt tæki til að setja á verndarteip í Nitto NEL SYSTEM™ seríunni, sérstaklega hannað fyrir 200 mm (8 tommu) skífur. Einfaldlega sagt er kjarnahlutverk þess að setja lag af verndarteipi alveg á framhlið skífunnar (hliðina með rafrásarmynstrunum) áður en mikilvæg þynning á bakhliðinni (einnig þekkt sem bakhliðarslípun) fer fram, til að koma í veg fyrir skemmdir við síðari háhraðaslípun.

Samanburður á kjarnabreytum DR8500III og DR3000III

Til að hjálpa þér að átta þig fljótt á staðsetningu DR8500III höfum við borið það saman við DR3000III, sem einnig styður 300 mm skífur, sem gerir muninn strax augljósan.

Samanburðaratriði: DR8500III (Aðalkynning) DR3000III

Aðalstaðsetning: Sjálfvirkur verndarteipapítari fyrir 200 mm skífur; Sjálfvirkur verndarteipapítari fyrir 300 mm skífur

Viðeigandi stærðir á skífum: 8/6/5/4 tommur (200/150/125/100 mm); 300/200 mm (12 tommur/8 tommur)

Afköst: Staðlað: 77 skífur/klst.

RF útgáfa: 68 skífur/klst.; 68 skífur/klst.

Samhæfð þykkt skífu: Skífur án slípunar á bakhlið; 400µm eða þykkari

Helstu eiginleikar og tæknilegir eiginleikar:

Tæknilegir eiginleikar DR8500III taka fullt tillit til eindrægni, afkasta ferla og auðveldrar notkunar.

Víðtæk samhæfni við skífur: Staðlaður stuðningur fyrir 8/6/5 tommu skífur, með valfrjálsum stuðningi fyrir 4 tommu skífur. Ennfremur er hægt að bæta við upphituðum klemmum/rúllum sem valkost til að uppfylla mismunandi kröfur um ferli.

Tækni við lágspennuásetningu filmu: RF útgáfan notar lágspennuásetningartækni, sem dregur verulega úr álagi á skífuna meðan á filmuásetningu stendur og minnkar hættuna á að skífan skekkist eða brotni.

Sjálfvirkni í samræmi við iðnaðarstaðla: Búnaðurinn gerir rekstraraðilum kleift að fá fljótt aðgang að forstilltum framleiðslubreytum í gegnum snertiskjá og uppskriftarvirkni, sem veitir innsæi í notkun. Hann uppfyllir einnig CE öryggisstaðla og býður upp á valfrjálsar SECS/GEM samskiptareglur, sem gerir kleift að samþætta hann óaðfinnanlega við nútíma sjálfvirknikerfi hálfleiðaraverksmiðja.

Notkunarsvið: Aðalmarkaður DR8500III er í framleiðslu á 200 mm (8 tommu) hálfleiðurum, sérstaklega mikilvægt í eftirfarandi lykilferlum:

Bakslípun: Þetta er kjarna notkunarsviðið. Áður en bakslípun hefst veitir það vélræna vörn á framhlið skífunnar, sem kemur í veg fyrir að hraðsnúandi slípihjól rispi rafrásina; það veitir einnig efnavörn, sem kemur í veg fyrir mengun á yfirborði skífunnar af völdum slípiefnis og rusls.

Skerið/sagið skífu: Áður en skífan er skorin í einstakar flísar er skurðarteip sett á til að festa skífuna, sem tryggir stöðugleika og nákvæmni meðan á teningaferlinu stendur.

Samstarf og vistkerfi

Í heildarframleiðslulínu fyrir hálfleiðaraumbúðir vinnur DR8500III venjulega ekki ein og sér, heldur vinnur það með öðrum búnaði til að mynda lokað framleiðsluferli þar sem filman er sett á - ferli - fjarlægt.

Samstarf við filmueyðingarvélar: Eftir ferli eins og þynningu á bakhlið og leysigeislameðferð þarf að fjarlægja hlífðarteipið, sem krefst filmueyðingarvélar. Til dæmis er HR8500III, sjálfvirk teipueyðingarvél frá Nitto, algengt val til að para við DR8500III.

Samstarf við kvörnunar-/teningsskurðarbúnað: Filmuásetningarferlið í DR8500III er mikilvægur hlekkur í að veita „formeðhöndlun efnis“ fyrir kjarnavinnslubúnað eins og kvörnvélar og teningssagir.

Samantekt

Í stuttu máli er Nitto DR8500III þróuð, stöðug og skilvirk, sjálfvirk 200 mm filmuásetningarvél. Meginmarkmið hennar er að veita áreiðanlega vörn fyrir skífuna áður en mikilvæg ferli eins og þynning á bakhliðinni eru framkvæmd með nákvæmri, lágspennu filmuásetningartækni, sem er lykilatriði til að tryggja afköst og afköst lokaflögunnar.