ASM Pacific Technology Turret Wafer Level Test System SUNBIRD

SUNBIRD er skilvirkt, nákvæmt og sjálfvirkt prófunarkerfi á skífum, hannað fyrir hálfleiðaraiðnaðinn. Það er aðallega notað til rafmagnsprófana á skífum fyrir skurð (skífuflokkun/CP prófun). Helstu kostir þess eru mikil afköst, mikill stöðugleiki og mátbundin hönnun. Það getur aðlagað sig að fjölbreyttum prófunarkröfum, allt frá rannsóknum og þróun til fjöldaframleiðslu, sérstaklega hentugt fyrir stórfelldar prófunaraðstæður á samþættum hringrásum með mikilli þéttleika (eins og rökfræðiflögum, minni, skynjurum o.s.frv.).

2. Helstu eiginleikar og tækninýjungar

2.1 Hönnun byggð á turnum

Samsíða prófunargeta: Með fjölstöðva turnhönnun er hægt að ná samsíða hleðslu og affermingu, röðun og prófun á skífum, sem eykur skilvirkni verulega (eins og til dæmis getur átta stöðva turn unnið úr mörgum skífum samtímis).

Stöðug notkun: Þegar turninn snýst til að skipta um stöðvar halda aðrar stöðvar áfram að virka, sem útrýmir biðtíma hefðbundinna prófunartækja.

2.2 Fullkomlega sjálfvirk samþætting

Samstarf vélmenna: Samþætta nákvæma vélmennaarma og sjónræn staðsetningarkerfi til að ljúka sjálfkrafa hleðslu, röðun, snertingu við rannsakendur og flokkun á skífum.

Greindur áætlanagerðarreiknirit: fínstillir prófunarröð og -leið, hámarkar nýtingu búnaðar (UPH getur náð 200+ einingum/klst, allt eftir flækjustigi prófunarinnar).

2.3 Prófunargeta með mikilli nákvæmni

Staðsetningarnákvæmni á nanóstigi: leysigeislamælir eða hágæða kóðari er notaður til að tryggja nákvæmni samstillingar rannsakakorts og skífupúða (innan ± 1 μm).

Fjölrásaprófun: styður samsíða prófanir á allt að þúsundum rása, samhæft við DC/AC breytur, RF, blandaða merkjaprófanir o.s.frv.

2.4 Sveigjanleiki og stigstærð

Mátunarhönnun: hitastýringareining (-55°C~150°C), prófunarborð með mörgum DUT-einingum, mismunandi tengimöguleikar fyrir mælikort (eins og MEMS-mæli) er hægt að velja eftir þörfum.

Opið hugbúnaðarviðmót: styður samþættingu við EDA verkfæri þriðja aðila (eins og Cadence, Keysight) og MES kerfi til að ná fram rauntíma gagnagreiningu (SPC, Bin Map myndun).

2.5 Áreiðanleiki og viðhaldshæfni

Sjálfgreiningarkerfi: rauntímaeftirlit með sliti á mæli, hitastigsbreytingum og öðrum breytum, sem veldur sjálfvirkri kvörðun eða viðvörun.

Hraðvirk skipti á línu: Staðlað hönnun á festingum styður hraða skipti á prófunarkortum/prófunarborðum (skiptitími < 10 mínútur).

3. Dæmigert notkunarsvið

Massaframleiðslupróf á rökfræði-/minniskortum: eins og skilvirk CP-prófun á SoC, DRAM og NAND Flash.

Prófun á mjög nákvæmum skynjara: staðfesting á mörgum breytum MEMS-tækja (snúningsmælikvarða, þrýstiskynjara).

Prófun á þriðju kynslóð hálfleiðara: aðlagast kröfum um háspennu- og háhitaprófanir á SiC/GaN skífum.

4. Dæmi um tæknilega breytu (hægt að stilla eftir raunverulegri stillingu)

Hlutur breytu

Stærð á skífu 6"/8"/12" (hægt að aðlaga)

Fjöldi prófunarstöðva 4/6/8 stöðvar valfrjálst

Staðsetningarnákvæmni ±0,5μm @ 3σ

Prófunarhitastig Venjulegt hitastig ~ 150°C (valfrjáls lághitaeining)

Hámarksfjöldi prófunarrása 2048 rásir (hægt að stækka)

Samskiptaviðmót GPIB/Ethernet/SECS/GEM

5. Greining á samkeppnishæfni markaðarins

Kostir:

Í samanburði við prófara með einni stöð (eins og hefðbundna Prober) er skilvirknin 30%~50% betri.

Sterk samhæfni, sem styður við óaðfinnanlega umskipti frá litlum afköstum í rannsóknum og þróun yfir í mikla afköst í fjöldaframleiðslu.

Samanburðarvörur:

Keppir við Tokyo Electron (TEL) Prober, Teradyne UltraFlex o.fl., en hefur fleiri sérkenni í turnbyggingu og hagkvæmni.

6. Virði viðskiptavina

Lægri prófunarkostnaður: Mikil afköst draga úr fjárfestingum í búnaði.

Bætt afköst: Nákvæmar prófanir og rauntíma gagnaendurgjöf hjálpa til við að hámarka ferlið.

Aðlögunarhæfni til framtíðar: Styður prófanir sem byggjast á gervigreind og kröfur um háþróaða pökkun (eins og Chiplet).

7. Yfirlit

SUNBIRD býður upp á skilvirka, áreiðanlega og sveigjanlega lausn fyrir skífuprófanir fyrir hálfleiðaraiðnaðinn með nýstárlegri hönnun á turnplötum, fullri sjálfvirkni og mikilli nákvæmni í prófunum, sérstaklega fyrir háþróaða framleiðendur örgjörva sem sækjast eftir skilvirkni í fjöldaframleiðslu og gagnagæði. Mátbygging fyrirtækisins býður einnig upp á pláss fyrir uppfærslur fyrir framtíðar tækniþróun.