מערכת בדיקת מפלס פרוסות צריח של ASM Pacific Technology SUNBIRD

SUNBIRD היא מערכת בדיקה יעילה, דיוק גבוה ואוטומטית לחלוטין ברמת פרוסות ופלים מבוססת צריח, המיועדת לתעשיית ייצור המוליכים למחצה. היא משמשת בעיקר לבדיקה חשמלית של פרוסות ופלים לפני חיתוך (מיון פרוסות ופלים/בדיקת CP). יתרונותיה העיקריים הם תפוקה גבוהה, יציבות גבוהה ועיצוב מודולרי. היא יכולה להסתגל למגוון דרישות בדיקה, החל ממחקר ופיתוח ועד לייצור המוני, ומתאימה במיוחד לתרחישי בדיקה בקנה מידה גדול של מעגלים משולבים בצפיפות גבוהה (כגון שבבי לוגיקה, זיכרון, חיישנים וכו').

2. תכונות ליבה וחידושים טכנולוגיים

2.1 תכנון מבוסס צריחים

יכולת בדיקה מקבילה: באמצעות תכנון צריח רב-תחנות, מושגות טעינה ופריקה מקבילות, יישור ובדיקה של פרוסות ופלים, מה שמשפר משמעותית את היעילות (כגון צריח בן 8 תחנות שיכול לעבד פרוסות ופלים מרובות בו זמנית).

פעולה ללא הפסקה: כאשר הצריח מסתובב כדי להחליף תחנות, תחנות אחרות ממשיכות לפעול, ובכך מבטלות את זמן ההמתנה של בודקים מסורתיים.

2.2 אינטגרציה אוטומטית לחלוטין

שיתוף פעולה בין רובוטים: שילוב זרועות רובוטיות מדויקות ומערכות מיקום חזותיות להשלמה אוטומטית של טעינת פרוסות, יישור, מגע עם גלאים ומיון.

אלגוריתם תזמון חכם: אופטימיזציה של רצף ונתיב הבדיקה, מקסום ניצול הציוד (UPH יכול להגיע ל-200+ יחידות/שעה, בהתאם למורכבות הבדיקה).

2.3 יכולת בדיקה בדיוק גבוה

דיוק מיקום ברמת ננו: אינטרפרומטר לייזר או מקודד ברזולוציה גבוהה משמשים כדי להבטיח את דיוק היישור של כרטיס הגשוש ומשטח הוופלים (בתוך ±1 מיקרומטר).

בדיקה רב-ערוצית: תומכת בבדיקה מקבילה של עד אלפי ערוצים, תואמת לפרמטרים של DC/AC, RF, בדיקת אותות מעורבים וכו'.

2.4 גמישות וגמישות

עיצוב מודולרי: מודול בקרת טמפרטורה (-55°C~150°C), לוח בדיקה רב-DUT, ניתן לבחור ממשקי כרטיס גלאים שונים (כגון גלאי MEMS) בהתאם לצרכים.

ממשק פתוח של תוכנה: תומך באינטגרציה עם כלי EDA של צד שלישי (כגון Cadence, Keysight) ומערכות MES להשגת ניתוח נתונים בזמן אמת (SPC, יצירת Bin Map).

2.5 אמינות ותחזוקה

מערכת אבחון עצמי: ניטור בזמן אמת של בלאי גלאים, סחיפת טמפרטורה ופרמטרים אחרים, הפעלת כיול או אזעקה אוטומטיים.

החלפת קו מהירה: עיצוב מתקן סטנדרטי תומך בהחלפה מהירה של כרטיסי בדיקה/לוחות בדיקה (זמן החלפה < 10 דקות).

3. תרחישי יישום אופייניים

בדיקת ייצור המוני של שבבי לוגיקה/זיכרון: כגון בדיקת CP יעילה של SoC, DRAM ו-NAND Flash.

בדיקת חיישנים בדיוק גבוה: אימות רב-פרמטרי של התקני MEMS (גירוסקופים, חיישני לחץ).

בדיקות מוליכים למחצה דור שלישי: התאמה לדרישות הבדיקה במתח גבוה ובטמפרטורה גבוהה של פרוסות SiC/GaN.

4. דוגמה לפרמטר טכני (ניתן להתאמה בהתאם לתצורה בפועל)

פרמטר פריט

גודל פרוסה 6"/8"/12" (ניתן להתאמה אישית)

מספר תחנות בדיקה 4/6/8 תחנות אופציונליות

דיוק מיקום ±0.5μm @ 3σ

טווח טמפרטורות בדיקה טמפרטורה רגילה ~ 150°C (מודול טמפרטורה נמוכה אופציונלי)

מספר מרבי של ערוצי בדיקה 2048 ערוצים (ניתן להרחבה)

ממשק תקשורת GPIB/Ethernet/SECS/GEM

5. ניתוח תחרותיות בשוק

יתרונות:

בהשוואה לבודקי תחנה אחת (כגון Prober המסורתי), היעילות משתפרת ב-30%~50%.

תאימות חזקה, התומכת במעבר חלק מתפוקה נמוכה במחקר ופיתוח לתפוקה גבוהה בייצור המוני.

מוצרי השוואה:

מתחרה ב-Tokyo Electron (TEL) Prober, Teradyne UltraFlex וכו', אך בעל מאפיינים ייחודיים יותר בארכיטקטורת צריח ובחסכוניות.

6. ערך ללקוח

עלויות בדיקה מופחתות: תפוקה גבוהה מפחיתה את מספר ההשקעות בציוד.

תפוקה משופרת: בדיקות מדויקות ומשוב נתונים בזמן אמת מסייעים לייעל את התהליך.

יכולת הסתגלות עתידית: תמיכה באופטימיזציה של בדיקות המונעת על ידי בינה מלאכותית ובדרישות בדיקות מתקדמות של אריזות (כגון Chiplet).

7. סיכום

SUNBIRD מספקת פתרון יעיל, אמין וגמיש לבדיקת פרוסות סיליקון (wafers) עבור תעשיית המוליכים למחצה באמצעות תכנון חדשני של צריחים, אוטומציה מלאה ויכולות בדיקה מדויקות במיוחד, במיוחד עבור יצרני שבבי תהליכים מתקדמים השואפים ליעילות ייצור המוני ואיכות נתונים. הארכיטקטורה המודולרית שלה גם שומרת מקום לשדרוג עבור התפתחות טכנולוגית עתידית.