en
id
sk
srp
swe
it
pt
ben
may
bel
nl
fra
th
vie
ru
jp
kor
de
arm
aze
bos
bul
bur
cs
dan
div
el
est
fil
fin
gle
glg
grn
heb
hi
hkm
hrv
hu
ice
kan
kin
lao
lav
lit
ltz
lug
mao
mlt
nep
nor
nya
ori
orm
per
pl
rom
san
som
spa
swa
tam
tr
ukr
urd
wel
xho
Ko te SUNBIRD he punaha whakamatautau taumata-wafer pai, tino-tika, tino aunoa i hangaia mo te umanga whakangao semiconductor. Ka whakamahia te nuinga mo te whakamatautau hiko o nga wafers i mua i te tapahi (wafer sort/CP test). Ko ona painga matua ko te whakaputanga teitei, te pumau, me te hoahoa modular. Ka taea e ia te urutau ki nga momo whakaritenga whakamatautau mai i te R&D ki te hanga papatipu, ina koa mo nga ahuatanga whakamatautau nui-nui o nga waahanga whakahiato-nui (penei i nga maramara arorau, te mahara, nga puoro, me etahi atu).
2. Nga ahuatanga matua me nga mahi hangarau
2.1 Hoahoa i runga i te Turret
Te kaha o te whakamatautau whakarara: Na roto i te hoahoa tauera teihana maha, ka tutuki te uta whakarara me te wetewete, te whakatikatika me te whakamatautau i nga wafers, ka tino pai ake te pai (penei i te tauera 8-teihana ka taea te tukatuka i nga wafers maha i te wa kotahi).
Te mahi kore-mutu: Ka huri te turret ki te huri i nga teihana, kei te mahi tonu etahi atu teihana, ka whakakore i te wa tatari o nga kaiwhakaatu tuku iho.
2.2 Ko te whakaurunga tino aunoa
Mahi tahi karetao: Whakauruhia nga ringa karetao tino tika me nga punaha tuunga tirohanga kia oti aunoa i te uta angiangi, te tirohanga, te whakapiri tirotiro me te tohatoha.
Maamaa te whakarite algorithm: arotau i te raupapa whakamatautau me te huarahi, whakanui i te whakamahi taputapu (Ka taea e te UPH te 200+ nga waahanga/haora, i runga i te uaua o te whakamatautau).
2.3 Te kaha o te whakamatautau tino tika
Te tika o te tuunga taumata Nano: ka whakamahia te interferometer taiaho, te encoder taumira teitei ranei hei whakarite i te tika o te tirohanga o te kaari tirotiro me te papa angiangi (i roto i te ± 1μm).
Te whakamatautau maha-whakamatau: e tautoko ana i nga whakamatautau whakarara tae atu ki nga mano o nga hongere, hototahi ki nga tawhā DC/AC, RF, whakamatautau tohu whakauru, aha atu.
2.4 Te ngawari me te tauineine
hoahoa modular: kōwae mana pāmahana (-55 ° C ~ 150 ° C), maha-DUT poari whakamātautau, rerekē atanga kāri rangahau (pērā i MEMS probe) ka taea te whiriwhiri i runga i nga hiahia.
Atanga tuwhera rorohiko: e tautoko ana i te whakaurunga me nga taputapu EDA tuatoru (penei i te Cadence, Keysight) me nga punaha MES ki te whakatutuki i te tātaritanga raraunga tuuturu (SPC, Bin Map generation).
2.5 Te pono me te pupuri
Pūnaha tātari-whaiaro: te aro turuki i nga kakahu tirotiro, te paheketanga o te pāmahana me etahi atu tawhā, ka puta te whakatikatika aunoa, whakaohooho ranei.
Te huringa tere o te raina: Ka tautokohia e te hoahoa taapiri paerewa te whakakapi tere o nga kaari tirotiro/papa whakamatautau (te wa huringa <10 meneti).
3. Nga tauari tono angamaheni
Te whakamatautau hanga papatipu maramara arorau/ mahara: penei i te whakamatautau CP pai o SoC, DRAM, me te NAND Flash.
Te whakamātautau pūoko teitei: te manatoko maha-tawhā o nga taputapu MEMS (gyroscopes, pūoko pehanga).
Te whakamatautau semiconductor tuatoru-whakatupuranga: urutau ki nga ngaohiko teitei me nga whakaritenga whakamatautau teitei o nga wafers SiC / GaN.
4. Tauira tawhā Hangarau (ka taea te whakarite kia rite ki te whirihoranga tuturu)
Tawhā Tūemi
Rahi angiangi 6"/8"/12" (ka taea te whakarite)
Te maha o nga teihana whakamatautau 4/6/8 nga teihana hei whiriwhiri
Te tika o te tuunga ±0.5μm @ 3σ
Awhe pāmahana whakamātautau Te pāmahana pūnoa ~ 150°C (he kōwae pāmahana iti te kōwhiri)
Te maha o nga hongere whakamatautau 2048 nga hongere (whakaroha)
Atanga whakawhitiwhiti GPIB/Ethernet/SECS/GEM
5. Te tātari whakataetae whakataetae maakete
Painga:
Ka whakatauritea ki nga kaiwhakaatu teihana kotahi (penei i te Prober tuku iho), ka pai ake te pai o te 30%~50%.
He kaha te hototahi, e tautoko ana i te whakawhiti mai i te iti o te urunga i roto i te R&D ki te whakaputanga teitei i roto i te hanga papatipu.
Hua whakataurite:
Ka whakataetae ki a Tokyo Electron (TEL) Prober, Teradyne UltraFlex, me etahi atu, engari he maha ake nga ahuatanga motuhake i roto i te hoahoanga turret me te whai hua-utu.
6. Uara Kiritaki
Whakaitihia nga utu whakamatautau: Ko te waahanga nui ka whakaiti i te maha o nga haumi taputapu.
Hua pai ake: Ko nga whakamatautau tino tika me nga urupare raraunga tuuturu ka awhina i te arotau i te mahi.
Te urutau a meake nei: Ka tautoko i te arotautanga whakamatautau a AI me te kohinga teitei (penei i te Chiplet) nga whakaritenga whakamatautau.
7. Whakarāpopototanga
Ka whakaratohia e SUNBIRD he otinga whakamatautau wafer pai, pono me te ngawari mo te ahumahi semiconductor na roto i te hoahoa turret auaha, te aunoatanga me te kaha o te whakamatautau tino tika, ina koa mo nga kaihanga maramara tukanga matatau e whai ana i te pai o te whakaputa papatipu me te kounga raraunga. Ka rahuitia e tana hoahoanga hangahanga he waahi whakamohoatanga mo te whanaketanga hangarau a meake nei.
