ASM பசிபிக் டெக்னாலஜி டரட் வேஃபர் லெவல் டெஸ்ட் சிஸ்டம் SUNBIRD

SUNBIRD என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு திறமையான, உயர்-துல்லியமான, முழு தானியங்கி கோபுரம் சார்ந்த வேஃபர்-நிலை சோதனை அமைப்பாகும். இது முக்கியமாக வெட்டுவதற்கு முன் வேஃபர்களின் மின் சோதனைக்கு (வேஃபர் வரிசைப்படுத்தல்/CP சோதனை) பயன்படுத்தப்படுகிறது. இதன் முக்கிய நன்மைகள் உயர் செயல்திறன், உயர் நிலைத்தன்மை மற்றும் மட்டு வடிவமைப்பு ஆகும். இது R&D முதல் வெகுஜன உற்பத்தி வரை பல்வேறு சோதனைத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப மாற்றியமைக்க முடியும், குறிப்பாக உயர் அடர்த்தி ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் (லாஜிக் சிப்கள், நினைவகம், சென்சார்கள் போன்றவை) பெரிய அளவிலான சோதனைக் காட்சிகளுக்கு ஏற்றது.

2. முக்கிய அம்சங்கள் மற்றும் தொழில்நுட்ப கண்டுபிடிப்புகள்

2.1 சிறு கோபுரம் சார்ந்த வடிவமைப்பு

இணை சோதனை திறன்: பல-நிலைய கோபுர வடிவமைப்பு மூலம், இணையான ஏற்றுதல் மற்றும் இறக்குதல், சீரமைப்பு மற்றும் வேஃபர்களை சோதித்தல் ஆகியவை அடையப்படுகின்றன, இதனால் செயல்திறன் கணிசமாக மேம்படுகிறது (எ.கா. 8-நிலைய கோபுரங்கள் ஒரே நேரத்தில் பல வேஃபர்களை செயலாக்க முடியும்).

இடைவிடாத செயல்பாடு: நிலையங்களை மாற்ற கோபுரம் சுழலும் போது, ​​மற்ற நிலையங்கள் தொடர்ந்து இயங்குகின்றன, இது பாரம்பரிய சோதனையாளர்களின் காத்திருப்பு நேரத்தை நீக்குகிறது.

2.2 முழுமையாக தானியங்கி ஒருங்கிணைப்பு

ரோபோ ஒத்துழைப்பு: வேஃபர் ஏற்றுதல், சீரமைப்பு, ஆய்வு தொடர்பு மற்றும் வரிசைப்படுத்தலை தானாக முடிக்க உயர்-துல்லிய ரோபோ ஆயுதங்கள் மற்றும் காட்சி நிலைப்படுத்தல் அமைப்புகளை ஒருங்கிணைக்கவும்.

நுண்ணறிவு திட்டமிடல் வழிமுறை: சோதனை வரிசை மற்றும் பாதையை மேம்படுத்துதல், உபகரண பயன்பாட்டை அதிகப்படுத்துதல் (சோதனை சிக்கலைப் பொறுத்து UPH 200+ துண்டுகள்/மணிநேரத்தை அடையலாம்).

2.3 உயர் துல்லிய சோதனை திறன்

நானோ-நிலை நிலைப்படுத்தல் துல்லியம்: லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டர் அல்லது உயர்-தெளிவுத்திறன் குறியாக்கி, ஆய்வு அட்டை மற்றும் வேஃபர் பேடின் சீரமைப்பு துல்லியத்தை (±1μm க்குள்) உறுதி செய்யப் பயன்படுகிறது.

பல-சேனல் சோதனை: DC/AC அளவுருக்கள், RF, கலப்பு சமிக்ஞை சோதனை போன்றவற்றுடன் இணக்கமான ஆயிரக்கணக்கான சேனல்களின் இணையான சோதனையை ஆதரிக்கிறது.

2.4 நெகிழ்வுத்தன்மை மற்றும் அளவிடுதல்

மட்டு வடிவமைப்பு: வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு தொகுதி (-55°C~150°C), பல-DUT சோதனை பலகை, வெவ்வேறு ஆய்வு அட்டை இடைமுகங்கள் (MEMS ஆய்வு போன்றவை) தேவைகளுக்கு ஏற்ப தேர்ந்தெடுக்கப்படலாம்.

மென்பொருள் திறந்த இடைமுகம்: நிகழ்நேர தரவு பகுப்பாய்வை (SPC, பின் வரைபட உருவாக்கம்) அடைய மூன்றாம் தரப்பு EDA கருவிகள் (Cadence, Keysight போன்றவை) மற்றும் MES அமைப்புகளுடன் ஒருங்கிணைப்பை ஆதரிக்கிறது.

2.5 நம்பகத்தன்மை மற்றும் பராமரிப்பு

சுய-நோயறிதல் அமைப்பு: ஆய்வு தேய்மானம், வெப்பநிலை சறுக்கல் மற்றும் பிற அளவுருக்களின் நிகழ்நேர கண்காணிப்பு, தானியங்கி அளவுத்திருத்தம் அல்லது அலாரத்தைத் தூண்டுதல்.

விரைவான வரி மாற்றம்: தரப்படுத்தப்பட்ட பொருத்துதல் வடிவமைப்பு, ஆய்வு அட்டைகள்/சோதனை பலகைகளை விரைவாக மாற்றுவதை ஆதரிக்கிறது (மாற்ற நேரம் < 10 நிமிடங்கள்).

3. வழக்கமான பயன்பாட்டு காட்சிகள்

லாஜிக்/மெமரி சிப் வெகுஜன உற்பத்தி சோதனை: SoC, DRAM மற்றும் NAND ஃபிளாஷ் ஆகியவற்றின் திறமையான CP சோதனை போன்றவை.

உயர் துல்லிய சென்சார் சோதனை: MEMS சாதனங்களின் பல-அளவுரு சரிபார்ப்பு (கைரோஸ்கோப்புகள், அழுத்த உணரிகள்).

மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி சோதனை: SiC/GaN வேஃபர்களின் உயர் மின்னழுத்தம் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை சோதனைத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப.

4. தொழில்நுட்ப அளவுரு உதாரணம் (உண்மையான உள்ளமைவுக்கு ஏற்ப சரிசெய்யக்கூடியது)

பொருள் அளவுரு

வேஃபர் அளவு 6"/8"/12" (தனிப்பயனாக்கக்கூடியது)

தேர்வு நிலையங்களின் எண்ணிக்கை 4/6/8 நிலையங்கள் விருப்பத்தேர்வு

நிலைப்படுத்தல் துல்லியம் ±0.5μm @ 3σ

சோதனை வெப்பநிலை வரம்பு சாதாரண வெப்பநிலை ~ 150°C (விருப்பத்தேர்வு குறைந்த வெப்பநிலை தொகுதி)

அதிகபட்ச சோதனை சேனல்களின் எண்ணிக்கை 2048 சேனல்கள் (விரிவாக்கக்கூடியது)

தொடர்பு இடைமுகம் GPIB/ஈதர்நெட்/SECS/GEM

5. சந்தை போட்டித்தன்மை பகுப்பாய்வு

நன்மைகள்:

ஒற்றை-நிலைய சோதனையாளர்களுடன் (பாரம்பரிய புரோபர் போன்றவை) ஒப்பிடும்போது, ​​செயல்திறன் 30%~50% அதிகரித்துள்ளது.

வலுவான இணக்கத்தன்மை, ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டில் குறைந்த செயல்திறனில் இருந்து வெகுஜன உற்பத்தியில் அதிக செயல்திறனுக்கு தடையற்ற மாற்றத்தை ஆதரிக்கிறது.

ஒப்பீட்டு பொருட்கள்:

டோக்கியோ எலக்ட்ரான் (TEL) புரோபர், டெராடைன் அல்ட்ராஃப்ளெக்ஸ் போன்றவற்றுடன் போட்டியிடுகிறது, ஆனால் கோபுர கட்டிடக்கலை மற்றும் செலவு-செயல்திறனில் மிகவும் தனித்துவமான அம்சங்களைக் கொண்டுள்ளது.

6. வாடிக்கையாளர் மதிப்பு

குறைக்கப்பட்ட சோதனை செலவுகள்: அதிக செயல்திறன் உபகரண முதலீடுகளின் எண்ணிக்கையைக் குறைக்கிறது.

மேம்படுத்தப்பட்ட மகசூல்: உயர் துல்லிய சோதனை மற்றும் நிகழ்நேர தரவு பின்னூட்டம் செயல்முறையை மேம்படுத்த உதவுகின்றன.

எதிர்கால தகவமைப்பு: AI- இயக்கப்படும் சோதனை உகப்பாக்கம் மற்றும் மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் (சிப்லெட் போன்றவை) சோதனைத் தேவைகளை ஆதரிக்கிறது.

7. சுருக்கம்

SUNBIRD, புதுமையான கோபுர வடிவமைப்பு, முழு ஆட்டோமேஷன் மற்றும் உயர்-துல்லிய சோதனை திறன்கள் மூலம் குறைக்கடத்தித் தொழிலுக்கு திறமையான, நம்பகமான மற்றும் நெகிழ்வான வேஃபர் சோதனை தீர்வை வழங்குகிறது, குறிப்பாக வெகுஜன உற்பத்தி திறன் மற்றும் தரவு தரத்தைத் தொடரும் மேம்பட்ட செயல்முறை சிப் உற்பத்தியாளர்களுக்கு. அதன் மட்டு கட்டமைப்பு எதிர்கால தொழில்நுட்ப பரிணாமத்திற்கான மேம்படுத்தல் இடத்தையும் ஒதுக்குகிறது.