Mfumo wa Mtihani wa Kiwango cha Kaki wa ASM Pacific SUNBIRD

SUNBIRD ni mfumo bora, wa usahihi wa juu, na otomatiki otomatiki wa kupima kiwango cha kaki ulioundwa kwa ajili ya tasnia ya utengenezaji wa semicondukta. Hutumika hasa kwa upimaji wa umeme wa kaki kabla ya kukata (kaki aina/mtihani wa CP). Faida zake kuu ni upitishaji wa hali ya juu, utulivu wa hali ya juu, na muundo wa kawaida. Inaweza kukabiliana na mahitaji mbalimbali ya majaribio kutoka kwa R&D hadi uzalishaji wa watu wengi, hasa yanafaa kwa hali ya majaribio ya kiwango kikubwa cha saketi zilizounganishwa zenye msongamano wa juu (kama vile chip za mantiki, kumbukumbu, vitambuzi, n.k.).

2. Vipengele vya msingi na ubunifu wa kiteknolojia

2.1 Muundo Unaotegemea Turret

Uwezo wa kupima sambamba: Kupitia muundo wa turret wa vituo vingi, upakiaji na upakuaji sambamba, usawazishaji, na majaribio ya kaki hupatikana, kuboresha kwa kiasi kikubwa ufanisi (kama vile turret ya vituo 8 inaweza kuchakata kaki nyingi kwa wakati mmoja).

Uendeshaji bila kusimama: Wakati turret inapozunguka kubadili vituo, vituo vingine vinaendelea kufanya kazi, hivyo basi kuondoa muda wa kusubiri wa wajaribu wa jadi.

2.2 Ujumuishaji wa kiotomatiki kikamilifu

Ushirikiano wa roboti: Unganisha mikono ya roboti yenye usahihi wa hali ya juu na mifumo ya uwekaji nafasi inayoonekana ili kukamilisha kiotomatiki upakiaji wa kaki, upangaji, mguso wa kuchunguza na kupanga.

Algorithm ya busara ya kuratibu: boresha mpangilio wa majaribio na njia, ongeza utumiaji wa kifaa (UPH inaweza kufikia vipande 200+ kwa saa, kulingana na utata wa jaribio).

2.3 Uwezo wa mtihani wa usahihi wa juu

Usahihi wa kuweka nafasi ya kiwango cha Nano: kiingilizi cha leza au kisimbaji cha azimio la juu kinatumika kuhakikisha usahihi wa upatanishi wa kadi ya uchunguzi na pedi ya kaki (ndani ya ± 1μm).

Jaribio la idhaa nyingi: inasaidia majaribio sambamba ya hadi maelfu ya chaneli, yanayolingana na vigezo vya DC/AC, RF, majaribio ya mawimbi mchanganyiko, n.k.

2.4 Kubadilika na kubadilika

Muundo wa kawaida: moduli ya kudhibiti halijoto (-55°C~150°C), ubao wa majaribio wa DUT nyingi, violesura tofauti vya kadi za uchunguzi (kama vile uchunguzi wa MEMS) vinaweza kuchaguliwa kulingana na mahitaji.

Kiolesura wazi cha programu: inasaidia kuunganishwa na zana za EDA za wahusika wengine (kama vile Cadence, Keysight) na mifumo ya MES ili kufikia uchanganuzi wa data wa wakati halisi (SPC, kizazi cha Bin Map).

2.5 Kuegemea na kudumisha

Mfumo wa kujitambua: ufuatiliaji wa wakati halisi wa uvaaji wa probe, kushuka kwa joto na vigezo vingine, na kusababisha urekebishaji wa kiotomatiki au kengele.

Mabadiliko ya haraka ya laini: Muundo wa muundo sanifu unaauni uingizwaji wa haraka wa kadi za uchunguzi/bao za majaribio (muda wa ubadilishaji chini ya dakika 10).

3. Matukio ya kawaida ya maombi

Jaribio la uzalishaji wa chip kwa mantiki/kumbukumbu: kama vile jaribio bora la CP la SoC, DRAM, na NAND Flash.

Jaribio la sensor ya usahihi wa juu: uthibitishaji wa vigezo vingi vya vifaa vya MEMS (gyroscopes, sensorer shinikizo).

Majaribio ya semiconductor ya kizazi cha tatu: kukabiliana na mahitaji ya majaribio ya voltage ya juu na joto la juu ya kaki za SiC/GaN.

4. Mfano wa parameta ya kiufundi (inayoweza kubadilishwa kulingana na usanidi halisi)

Kipengee Parameter

Ukubwa wa kaki 6"/8"/12" (inaweza kubinafsishwa)

Idadi ya vituo vya majaribio 4/6/8 kwa hiari

Usahihi wa kuweka ±0.5μm @ 3σ

Kiwango cha joto cha majaribio Joto la kawaida ~ 150°C (sio lazima moduli ya joto la chini)

Idadi ya juu zaidi ya chaneli za majaribio 2048 (zinazoweza kupanuka)

Kiolesura cha mawasiliano GPIB/Ethernet/SECS/GEM

5. Uchambuzi wa ushindani wa soko

Manufaa:

Ikilinganishwa na wapimaji wa kituo kimoja (kama vile Prober ya kitamaduni), ufanisi huboreshwa kwa 30%~50%.

Utangamano madhubuti, unaosaidia mpito usio na mshono kutoka kwa upitishaji wa chini katika R&D hadi upitishaji wa juu katika uzalishaji wa wingi.

Bidhaa za kulinganisha:

Hushindana na Tokyo Electron (TEL) Prober, Teradyne UltraFlex, n.k., lakini ina vipengele bainifu zaidi katika usanifu wa turret na ufaafu wa gharama.

6. Thamani ya Mteja

Kupunguza gharama za upimaji: Uzalishaji wa juu hupunguza idadi ya uwekezaji wa vifaa.

Mavuno yaliyoboreshwa: Majaribio ya usahihi wa juu na maoni ya data ya wakati halisi husaidia kuboresha mchakato.

Uwezo wa kubadilika wa siku zijazo: Huauni uboreshaji wa majaribio yanayoendeshwa na AI na mahitaji ya majaribio ya kifungashio (kama vile Chiplet).

7. Muhtasari

SUNBIRD hutoa suluhisho bora, la kutegemewa na linalonyumbulika la kupima kaki kwa tasnia ya semiconductor kupitia muundo bunifu wa turret, otomatiki kamili na uwezo wa upimaji wa usahihi wa hali ya juu, haswa kwa watengenezaji wa chipu wa hali ya juu wanaofuata ufanisi wa uzalishaji kwa wingi na ubora wa data. Usanifu wake wa kawaida pia huhifadhi nafasi ya kuboresha kwa mageuzi ya kiteknolojia ya baadaye.