Sistema ta' Test tal-Livell tal-Wafer tat-Turret tat-Teknoloġija tal-Paċifiku ASM SUNBIRD

SUNBIRD hija sistema ta' ttestjar fil-livell tal-wejfer ibbażata fuq turret effiċjenti, ta' preċiżjoni għolja, kompletament awtomatika, iddisinjata għall-industrija tal-manifattura tas-semikondutturi. Din tintuża prinċipalment għall-ittestjar elettriku tal-wejfers qabel it-tqattigħ (test tal-issortjar tal-wejfers/CP). Il-vantaġġi ewlenin tagħha huma throughput għoli, stabbiltà għolja, u disinn modulari. Tista' tadatta għal varjetà ta' rekwiżiti ta' ttestjar mir-Riċerka u l-Iżvilupp sal-produzzjoni tal-massa, speċjalment adattata għal xenarji ta' ttestjar fuq skala kbira ta' ċirkwiti integrati ta' densità għolja (bħal ċipep loġiċi, memorja, sensuri, eċċ.).

2. Karatteristiċi ewlenin u innovazzjonijiet teknoloġiċi

2.1 Disinn Ibbażat fuq it-Turret

Kapaċità ta' ttestjar parallel: Permezz tad-disinn tat-turret b'ħafna stazzjonijiet, jinkisbu tagħbija u ħatt parallel, allinjament, u ttestjar tal-wejfers, u b'hekk titjieb b'mod sinifikanti l-effiċjenza (bħal turret bi 8 stazzjonijiet li tista' tipproċessa diversi wejfers fl-istess ħin).

Tħaddim bla waqfien: Meta t-turret idur biex jaqleb l-istazzjonijiet, stazzjonijiet oħra jkomplu joperaw, u b'hekk jeliminaw il-ħin ta' stennija tat-testers tradizzjonali.

2.2 Integrazzjoni kompletament awtomatizzata

Kollaborazzjoni tar-robots: Integra dirgħajn robotiċi ta' preċiżjoni għolja u sistemi ta' pożizzjonament viżwali biex awtomatikament tlesti t-tagħbija, l-allinjament, il-kuntatt mal-probe u l-issortjar tal-wejfers.

Algoritmu ta' skedar intelliġenti: ottimizza s-sekwenza u l-mogħdija tat-test, immassimizza l-użu tat-tagħmir (l-UPH jista' jilħaq aktar minn 200 biċċa/siegħa, skont il-kumplessità tat-test).

2.3 Kapaċità ta' test ta' preċiżjoni għolja

Preċiżjoni tal-pożizzjonament fil-livell nano: interferometru tal-lejżer jew enkoder ta' riżoluzzjoni għolja jintuża biex jiżgura l-preċiżjoni tal-allinjament tal-kard tas-sonda u l-kuxxinett tal-wejfer (fi ħdan ±1μm).

Test b'ħafna kanali: jappoġġja ttestjar parallel sa eluf ta' kanali, kompatibbli mal-parametri DC/AC, RF, ittestjar ta' sinjali mħallta, eċċ.

2.4 Flessibbiltà u skalabbiltà

Disinn modulari: modulu tal-kontroll tat-temperatura (-55°C ~ 150°C), bord tat-test multi-DUT, interfaces differenti tal-kard tas-sonda (bħal sonda MEMS) jistgħu jintgħażlu skont il-bżonnijiet.

Interfaċċja miftuħa tas-softwer: tappoġġja l-integrazzjoni ma' għodod tal-EDA ta' partijiet terzi (bħal Cadence, Keysight) u sistemi MES biex tinkiseb analiżi tad-dejta f'ħin reali (SPC, ġenerazzjoni ta' Bin Map).

2.5 Affidabbiltà u manutenzibbiltà

Sistema ta' awtodijanjosi: monitoraġġ f'ħin reali tal-użu tas-sonda, id-drift tat-temperatura u parametri oħra, li jattiva kalibrazzjoni jew allarm awtomatiku.

Tibdil rapidu tal-linja: Id-disinn standardizzat tal-apparat jappoġġja s-sostituzzjoni rapida tal-kards tas-sonda/bordijiet tat-test (ħin ta' bidla < 10 minuti).

3. Xenarji ta' applikazzjoni tipiċi

Test tal-produzzjoni tal-massa taċ-ċippa tal-loġika/memorja: bħal test CP effiċjenti tas-SoC, DRAM, u NAND Flash.

Test tas-sensuri ta' preċiżjoni għolja: verifika b'ħafna parametri ta' apparati MEMS (ġiroskopji, sensuri tal-pressjoni).

Ittestjar tas-semikondutturi tat-tielet ġenerazzjoni: adattament għar-rekwiżiti tat-test ta' vultaġġ għoli u temperatura għolja tal-wejfers SiC/GaN.

4. Eżempju ta' parametru tekniku (aġġustabbli skont il-konfigurazzjoni attwali)

Parametru tal-Oġġett

Daqs tal-wejfer 6"/8"/12" (personalizzabbli)

Numru ta' stazzjonijiet tat-test 4/6/8 stazzjonijiet mhux obbligatorji

Preċiżjoni tal-pożizzjonament ±0.5μm @ 3σ

Firxa tat-temperatura tat-test Temperatura normali ~ 150°C (modulu ta' temperatura baxxa mhux obbligatorju)

Numru massimu ta' kanali tat-test 2048 kanal (espandibbli)

Interfaċċja ta' komunikazzjoni GPIB/Ethernet/SECS/GEM

5. Analiżi tal-kompetittività tas-suq

Vantaġġi:

Meta mqabbel ma' testers ta' stazzjon wieħed (bħal Prober tradizzjonali), l-effiċjenza titjieb bi 30% ~ 50%.

Kompatibilità qawwija, li tappoġġja tranżizzjoni bla xkiel minn produzzjoni baxxa fir-R&Ż għal produzzjoni għolja fil-produzzjoni tal-massa.

Prodotti ta' tqabbil:

Jikkompeti ma' Tokyo Electron (TEL) Prober, Teradyne UltraFlex, eċċ., iżda għandu karatteristiċi aktar distintivi fl-arkitettura tat-turret u l-kosteffettività.

6. Valur tal-Klijent

Spejjeż imnaqqsa tal-ittestjar: Produzzjoni għolja tnaqqas l-għadd ta' investimenti fit-tagħmir.

Rendiment imtejjeb: Ittestjar ta' preċiżjoni għolja u feedback tad-dejta f'ħin reali jgħinu biex jiġi ottimizzat il-proċess.

Adattabilità futura: Jappoġġja l-ottimizzazzjoni tat-testijiet immexxija mill-AI u r-rekwiżiti tal-ittestjar tal-ippakkjar avvanzat (bħal Chiplet).

7. Sommarju

SUNBIRD tipprovdi soluzzjoni effiċjenti, affidabbli u flessibbli għall-ittestjar tal-wejfers għall-industrija tas-semikondutturi permezz ta' disinn innovattiv tat-turrets, awtomazzjoni sħiħa u kapaċitajiet ta' ttestjar ta' preċiżjoni għolja, speċjalment għal manifatturi avvanzati ta' ċipep tal-proċess li jsegwu effiċjenza fil-produzzjoni tal-massa u kwalità tad-dejta. L-arkitettura modulari tagħha tirriżerva wkoll spazju għall-aġġornament għall-evoluzzjoni teknoloġika futura.