سیستم تست سطح ویفر برجک ASM Pacific Technology SUNBIRD

SUNBIRD یک سیستم تست ویفر مبتنی بر برجک، کارآمد، با دقت بالا و کاملاً خودکار است که برای صنعت تولید نیمه‌هادی طراحی شده است. این سیستم عمدتاً برای تست الکتریکی ویفرها قبل از برش (تست مرتب‌سازی ویفر/CP) استفاده می‌شود. مزایای اصلی آن توان عملیاتی بالا، پایداری بالا و طراحی ماژولار است. این سیستم می‌تواند با انواع الزامات تست از تحقیق و توسعه گرفته تا تولید انبوه سازگار شود، به ویژه برای سناریوهای تست در مقیاس بزرگ مدارهای مجتمع با چگالی بالا (مانند تراشه‌های منطقی، حافظه، حسگرها و غیره) مناسب است.

۲. ویژگی‌های اصلی و نوآوری‌های تکنولوژیکی

۲.۱ طراحی مبتنی بر برجک

قابلیت تست موازی: از طریق طراحی برجک چند ایستگاهی، بارگیری و تخلیه موازی، ترازبندی و تست ویفرها حاصل می‌شود که به طور قابل توجهی کارایی را بهبود می‌بخشد (مانند یک برجک ۸ ایستگاهی که می‌تواند چندین ویفر را همزمان پردازش کند).

عملکرد بدون توقف: هنگامی که برجک برای تعویض ایستگاه‌ها می‌چرخد، سایر ایستگاه‌ها به کار خود ادامه می‌دهند و زمان انتظار آزمایش‌کنندگان سنتی را از بین می‌برند.

۲.۲ ادغام کاملاً خودکار

همکاری ربات‌ها: بازوهای رباتیک با دقت بالا و سیستم‌های موقعیت‌یابی بصری را برای تکمیل خودکار بارگذاری ویفر، ترازبندی، تماس پروب و مرتب‌سازی، ادغام کنید.

الگوریتم زمان‌بندی هوشمند: بهینه‌سازی توالی و مسیر آزمایش، به حداکثر رساندن استفاده از تجهیزات (UPH می‌تواند به بیش از ۲۰۰ قطعه در ساعت برسد، بسته به پیچیدگی آزمایش).

۲.۳ قابلیت آزمایش با دقت بالا

دقت موقعیت‌یابی در سطح نانو: از تداخل‌سنج لیزری یا انکودر با وضوح بالا برای اطمینان از دقت تراز کارت پروب و پد ویفر (در محدوده ±1μm) استفاده می‌شود.

تست چند کاناله: از تست موازی تا هزاران کانال پشتیبانی می‌کند، سازگار با پارامترهای DC/AC، RF، تست سیگنال مختلط و غیره.

۲.۴ انعطاف‌پذیری و مقیاس‌پذیری

طراحی ماژولار: ماژول کنترل دما (-55°C~150°C)، برد تست چند DUT، رابط‌های کارت پروب مختلف (مانند پروب MEMS) را می‌توان با توجه به نیاز انتخاب کرد.

رابط کاربری باز نرم‌افزار: از ادغام با ابزارهای EDA شخص ثالث (مانند Cadence، Keysight) و سیستم‌های MES برای دستیابی به تجزیه و تحلیل داده‌های بلادرنگ (SPC، تولید Bin Map) پشتیبانی می‌کند.

۲.۵ قابلیت اطمینان و قابلیت نگهداری

سیستم خودآزمایی: نظارت بر سایش پروب، رانش دما و سایر پارامترها در زمان واقعی، راه‌اندازی کالیبراسیون خودکار یا زنگ هشدار.

تعویض سریع خط: طراحی استاندارد فیکسچر، تعویض سریع کارت‌های پروب/بردهای تست را پشتیبانی می‌کند (زمان تعویض کمتر از 10 دقیقه).

3. سناریوهای کاربردی معمولی

تست تولید انبوه تراشه‌های منطقی/حافظه: مانند تست CP کارآمد SoC، DRAM و NAND Flash.

تست حسگر با دقت بالا: تأیید چند پارامتری دستگاه‌های MEMS (ژیروسکوپ‌ها، حسگرهای فشار).

آزمایش نیمه‌هادی نسل سوم: با الزامات آزمایش ولتاژ بالا و دمای بالای ویفرهای SiC/GaN سازگار است.

۴. مثال پارامتر فنی (قابل تنظیم با توجه به پیکربندی واقعی)

پارامتر مورد

اندازه ویفر ۶"/۸"/۱۲" (قابل تنظیم)

تعداد ایستگاه‌های آزمایش: ۴/۶/۸ ایستگاه (اختیاری)

دقت موقعیت‌یابی ±0.5μm @ 3σ

محدوده دمای آزمایش: دمای معمولی ~ ۱۵۰ درجه سانتیگراد (ماژول دمای پایین اختیاری)

حداکثر تعداد کانال‌های تست ۲۰۴۸ کانال (قابل ارتقا)

رابط ارتباطی GPIB/Ethernet/SECS/GEM

۵. تحلیل رقابت‌پذیری بازار

مزایا:

در مقایسه با تسترهای تک ایستگاهی (مانند Prober سنتی)، راندمان 30 تا 50 درصد بهبود یافته است.

سازگاری قوی، پشتیبانی از گذار یکپارچه از توان عملیاتی پایین در تحقیق و توسعه به توان عملیاتی بالا در تولید انبوه.

محصولات مقایسه‌ای:

با Tokyo Electron (TEL) Prober، Teradyne UltraFlex و غیره رقابت می‌کند، اما از نظر معماری برجک و مقرون به صرفه بودن، ویژگی‌های متمایزتری دارد.

۶. ارزش مشتری

کاهش هزینه‌های آزمایش: توان عملیاتی بالا، تعداد سرمایه‌گذاری‌های تجهیزات را کاهش می‌دهد.

بهبود بازده: آزمایش با دقت بالا و بازخورد داده‌های بلادرنگ به بهینه‌سازی فرآیند کمک می‌کند.

سازگاری با آینده: از بهینه‌سازی تست مبتنی بر هوش مصنوعی و الزامات تست بسته‌بندی پیشرفته (مانند چیپلت) پشتیبانی می‌کند.

۷. خلاصه

SUNBIRD از طریق طراحی نوآورانه برجک، اتوماسیون کامل و قابلیت‌های تست با دقت بالا، یک راهکار تست ویفر کارآمد، قابل اعتماد و انعطاف‌پذیر برای صنعت نیمه‌هادی ارائه می‌دهد، به خصوص برای تولیدکنندگان تراشه‌های پیشرفته که به دنبال بهره‌وری تولید انبوه و کیفیت داده‌ها هستند. معماری ماژولار آن همچنین فضای ارتقاء را برای تکامل فناوری در آینده حفظ می‌کند.