ASM ಪೆಸಿಫಿಕ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಟರೆಟ್ ವೇಫರ್ ಮಟ್ಟದ ಪರೀಕ್ಷಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆ SUNBIRD

SUNBIRD ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉದ್ಯಮಕ್ಕಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ದಕ್ಷ, ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರ, ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಗೋಪುರ-ಆಧಾರಿತ ವೇಫರ್-ಮಟ್ಟದ ಪರೀಕ್ಷಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಾಗಿದೆ. ಇದನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ಮೊದಲು ವೇಫರ್‌ಗಳ ವಿದ್ಯುತ್ ಪರೀಕ್ಷೆಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ (ವೇಫರ್ ವಿಂಗಡಣೆ/CP ಪರೀಕ್ಷೆ). ಇದರ ಪ್ರಮುಖ ಅನುಕೂಲಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಥ್ರೋಪುಟ್, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಮಾಡ್ಯುಲರ್ ವಿನ್ಯಾಸ. ಇದು R&D ಯಿಂದ ಸಾಮೂಹಿಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯವರೆಗೆ ವಿವಿಧ ಪರೀಕ್ಷಾ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳ (ಲಾಜಿಕ್ ಚಿಪ್ಸ್, ಮೆಮೊರಿ, ಸಂವೇದಕಗಳು, ಇತ್ಯಾದಿ) ದೊಡ್ಡ-ಪ್ರಮಾಣದ ಪರೀಕ್ಷಾ ಸನ್ನಿವೇಶಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

2. ಪ್ರಮುಖ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು ಮತ್ತು ತಾಂತ್ರಿಕ ನಾವೀನ್ಯತೆಗಳು

2.1 ಗೋಪುರ ಆಧಾರಿತ ವಿನ್ಯಾಸ

ಸಮಾನಾಂತರ ಪರೀಕ್ಷಾ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ: ಬಹು-ನಿಲ್ದಾಣ ತಿರುಗು ಗೋಪುರದ ವಿನ್ಯಾಸದ ಮೂಲಕ, ವೇಫರ್‌ಗಳ ಸಮಾನಾಂತರ ಲೋಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಇಳಿಸುವಿಕೆ, ಜೋಡಣೆ ಮತ್ತು ಪರೀಕ್ಷೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ (ಉದಾಹರಣೆಗೆ 8-ನಿಲ್ದಾಣ ತಿರುಗು ಗೋಪುರವು ಒಂದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಬಹು ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೊಳಿಸಬಹುದು).

ತಡೆರಹಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ: ಕೇಂದ್ರಗಳನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಲು ತಿರುಗು ಗೋಪುರವು ತಿರುಗಿದಾಗ, ಇತರ ಕೇಂದ್ರಗಳು ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವುದನ್ನು ಮುಂದುವರಿಸುತ್ತವೆ, ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಪರೀಕ್ಷಕರ ಕಾಯುವ ಸಮಯವನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತವೆ.

೨.೨ ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಏಕೀಕರಣ

ರೋಬೋಟ್ ಸಹಯೋಗ: ವೇಫರ್ ಲೋಡಿಂಗ್, ಜೋಡಣೆ, ತನಿಖೆ ಸಂಪರ್ಕ ಮತ್ತು ವಿಂಗಡಣೆಯನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ಪೂರ್ಣಗೊಳಿಸಲು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ರೋಬೋಟಿಕ್ ತೋಳುಗಳು ಮತ್ತು ದೃಶ್ಯ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸಿ.

ಬುದ್ಧಿವಂತ ವೇಳಾಪಟ್ಟಿ ಅಲ್ಗಾರಿದಮ್: ಪರೀಕ್ಷಾ ಅನುಕ್ರಮ ಮತ್ತು ಮಾರ್ಗವನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮಗೊಳಿಸಿ, ಸಲಕರಣೆಗಳ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಗರಿಷ್ಠಗೊಳಿಸಿ (ಪರೀಕ್ಷಾ ಸಂಕೀರ್ಣತೆಯನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿ UPH 200+ ತುಣುಕುಗಳು/ಗಂಟೆಗೆ ತಲುಪಬಹುದು).

2.3 ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಪರೀಕ್ಷಾ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ

ನ್ಯಾನೋ-ಮಟ್ಟದ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆ: ಪ್ರೋಬ್ ಕಾರ್ಡ್ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಪ್ಯಾಡ್‌ನ ಜೋಡಣೆಯ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಲೇಸರ್ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಎನ್‌ಕೋಡರ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ (±1μm ಒಳಗೆ).

ಬಹು-ಚಾನೆಲ್ ಪರೀಕ್ಷೆ: ಸಾವಿರಾರು ಚಾನಲ್‌ಗಳ ಸಮಾನಾಂತರ ಪರೀಕ್ಷೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ, DC/AC ನಿಯತಾಂಕಗಳು, RF, ಮಿಶ್ರ ಸಿಗ್ನಲ್ ಪರೀಕ್ಷೆ ಇತ್ಯಾದಿಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.

೨.೪ ನಮ್ಯತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಕೇಲೆಬಿಲಿಟಿ

ಮಾಡ್ಯುಲರ್ ವಿನ್ಯಾಸ: ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ (-55°C~150°C), ಬಹು-DUT ಪರೀಕ್ಷಾ ಬೋರ್ಡ್, ವಿಭಿನ್ನ ಪ್ರೋಬ್ ಕಾರ್ಡ್ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್‌ಗಳು (MEMS ಪ್ರೋಬ್‌ನಂತಹವು) ಅಗತ್ಯಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಬಹುದು.

ಸಾಫ್ಟ್‌ವೇರ್ ಮುಕ್ತ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್: ನೈಜ-ಸಮಯದ ಡೇಟಾ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಯನ್ನು (SPC, ಬಿನ್ ಮ್ಯಾಪ್ ಉತ್ಪಾದನೆ) ಸಾಧಿಸಲು ಮೂರನೇ ವ್ಯಕ್ತಿಯ EDA ಪರಿಕರಗಳು (ಕ್ಯಾಡೆನ್ಸ್, ಕೀಸೈಟ್ ನಂತಹ) ಮತ್ತು MES ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಏಕೀಕರಣವನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ.

೨.೫ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆ

ಸ್ವಯಂ-ರೋಗನಿರ್ಣಯ ವ್ಯವಸ್ಥೆ: ಪ್ರೋಬ್ ಉಡುಗೆ, ತಾಪಮಾನದ ದಿಕ್ಚ್ಯುತಿ ಮತ್ತು ಇತರ ನಿಯತಾಂಕಗಳ ನೈಜ-ಸಮಯದ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ, ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ ಅಥವಾ ಎಚ್ಚರಿಕೆಯನ್ನು ಪ್ರಚೋದಿಸುತ್ತದೆ.

ತ್ವರಿತ ಲೈನ್ ಬದಲಾವಣೆ: ಪ್ರಮಾಣೀಕೃತ ಫಿಕ್ಸ್ಚರ್ ವಿನ್ಯಾಸವು ಪ್ರೋಬ್ ಕಾರ್ಡ್‌ಗಳು/ಪರೀಕ್ಷಾ ಬೋರ್ಡ್‌ಗಳ ವೇಗದ ಬದಲಿಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ (ಬದಲಾವಣೆಯ ಸಮಯ < 10 ನಿಮಿಷಗಳು).

3. ವಿಶಿಷ್ಟ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಸನ್ನಿವೇಶಗಳು

ಲಾಜಿಕ್/ಮೆಮೊರಿ ಚಿಪ್ ಮಾಸ್ ಪ್ರೊಡಕ್ಷನ್ ಪರೀಕ್ಷೆ: ಉದಾಹರಣೆಗೆ SoC, DRAM ಮತ್ತು NAND ಫ್ಲ್ಯಾಶ್‌ನ ದಕ್ಷ CP ಪರೀಕ್ಷೆ.

ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಸಂವೇದಕ ಪರೀಕ್ಷೆ: MEMS ಸಾಧನಗಳ ಬಹು-ಪ್ಯಾರಾಮೀಟರ್ ಪರಿಶೀಲನೆ (ಗೈರೊಸ್ಕೋಪ್‌ಗಳು, ಒತ್ತಡ ಸಂವೇದಕಗಳು).

ಮೂರನೇ ತಲೆಮಾರಿನ ಅರೆವಾಹಕ ಪರೀಕ್ಷೆ: SiC/GaN ವೇಫರ್‌ಗಳ ಹೆಚ್ಚಿನ-ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪರೀಕ್ಷಾ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವುದು.

4. ತಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯತಾಂಕ ಉದಾಹರಣೆ (ನಿಜವಾದ ಸಂರಚನೆಯ ಪ್ರಕಾರ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ)

ಐಟಂ ಪ್ಯಾರಾಮೀಟರ್

ವೇಫರ್ ಗಾತ್ರ 6"/8"/12" (ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದಾದ)

ಪರೀಕ್ಷಾ ಕೇಂದ್ರಗಳ ಸಂಖ್ಯೆ 4/6/8 ಕೇಂದ್ರಗಳು ಐಚ್ಛಿಕ

ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆ ± 0.5μm @ 3σ

ಪರೀಕ್ಷಾ ತಾಪಮಾನ ಶ್ರೇಣಿ ಸಾಮಾನ್ಯ ತಾಪಮಾನ ~ 150°C (ಐಚ್ಛಿಕ ಕಡಿಮೆ ತಾಪಮಾನ ಮಾಡ್ಯೂಲ್)

ಪರೀಕ್ಷಾ ಚಾನಲ್‌ಗಳ ಗರಿಷ್ಠ ಸಂಖ್ಯೆ 2048 ಚಾನಲ್‌ಗಳು (ವಿಸ್ತರಿಸಬಹುದಾದ)

ಸಂವಹನ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ GPIB/ಈಥರ್ನೆಟ್/SECS/GEM

5. ಮಾರುಕಟ್ಟೆ ಸ್ಪರ್ಧಾತ್ಮಕತೆಯ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ

ಪ್ರಯೋಜನಗಳು:

ಸಿಂಗಲ್-ಸ್ಟೇಷನ್ ಪರೀಕ್ಷಕಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ (ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಪ್ರೋಬರ್ ನಂತಹ), ದಕ್ಷತೆಯು 30%~50% ರಷ್ಟು ಸುಧಾರಿಸಿದೆ.

ಬಲವಾದ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ, ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯಲ್ಲಿ ಕಡಿಮೆ ಥ್ರೋಪುಟ್‌ನಿಂದ ಸಾಮೂಹಿಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಥ್ರೋಪುಟ್‌ಗೆ ಸರಾಗ ಪರಿವರ್ತನೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ.

ಹೋಲಿಕೆ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು:

ಟೋಕಿಯೋ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ (TEL) ಪ್ರೋಬರ್, ಟೆರಾಡಿನ್ ಅಲ್ಟ್ರಾಫ್ಲೆಕ್ಸ್, ಇತ್ಯಾದಿಗಳೊಂದಿಗೆ ಸ್ಪರ್ಧಿಸುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಗೋಪುರದ ವಾಸ್ತುಶಿಲ್ಪ ಮತ್ತು ವೆಚ್ಚ-ಪರಿಣಾಮಕಾರಿತ್ವದಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚು ವಿಶಿಷ್ಟ ಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.

6. ಗ್ರಾಹಕ ಮೌಲ್ಯ

ಕಡಿಮೆಯಾದ ಪರೀಕ್ಷಾ ವೆಚ್ಚಗಳು: ಹೆಚ್ಚಿನ ಥ್ರೋಪುಟ್ ಉಪಕರಣ ಹೂಡಿಕೆಗಳ ಸಂಖ್ಯೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಸುಧಾರಿತ ಇಳುವರಿ: ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಪರೀಕ್ಷೆ ಮತ್ತು ನೈಜ-ಸಮಯದ ದತ್ತಾಂಶ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಭವಿಷ್ಯದ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ: AI-ಚಾಲಿತ ಪರೀಕ್ಷಾ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್ ಮತ್ತು ಸುಧಾರಿತ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ (ಚಿಪ್ಲೆಟ್ ನಂತಹ) ಪರೀಕ್ಷಾ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ.

7. ಸಾರಾಂಶ

SUNBIRD ನವೀನ ತಿರುಗು ಗೋಪುರದ ವಿನ್ಯಾಸ, ಪೂರ್ಣ ಯಾಂತ್ರೀಕೃತಗೊಂಡ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಪರೀಕ್ಷಾ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳ ಮೂಲಕ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮಕ್ಕೆ ದಕ್ಷ, ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಮತ್ತು ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ವೇಫರ್ ಪರೀಕ್ಷಾ ಪರಿಹಾರವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸಾಮೂಹಿಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಡೇಟಾ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಅನುಸರಿಸುವ ಮುಂದುವರಿದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಚಿಪ್ ತಯಾರಕರಿಗೆ. ಇದರ ಮಾಡ್ಯುಲರ್ ಆರ್ಕಿಟೆಕ್ಚರ್ ಭವಿಷ್ಯದ ತಾಂತ್ರಿಕ ವಿಕಸನಕ್ಕಾಗಿ ಅಪ್‌ಗ್ರೇಡ್ ಸ್ಥಳವನ್ನು ಸಹ ಕಾಯ್ದಿರಿಸುತ್ತದೆ.