ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಮತ್ತು ನಿಖರ ತಯಾರಿಕೆಗಾಗಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಕ್ಲೀನರ್ ಯಂತ್ರಗಳು

ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಕ್ಲೀನರ್ ಎನ್ನುವುದು ಮೇಲ್ಮೈ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಯಂತ್ರವಾಗಿದ್ದು, ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು, ಮೇಲ್ಮೈಗಳನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸಲು ಮತ್ತು ಬಂಧ, ಲೇಪನ, ಮುದ್ರಣ, ಬೆಸುಗೆ ಹಾಕುವಿಕೆ ಅಥವಾ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಮಾಡುವ ಮೊದಲು ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ.

ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್‌ಗಳು, PCB ಅಸೆಂಬ್ಲಿಗಳು, MEMS ಸಾಧನಗಳು, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳು, ವೈದ್ಯಕೀಯ ಭಾಗಗಳು, ಪ್ಲಾಸ್ಟಿಕ್‌ಗಳು, ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್, ಗಾಜು ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಘಟಕಗಳಿಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಕ್ಲೀನರ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಅನಿಲವನ್ನು ಅಯಾನೀಕರಿಸಲು RF ಅಥವಾ ಮೈಕ್ರೋವೇವ್ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ. ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿರುವ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳೊಂದಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಹೌದು. ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಚಿಕಿತ್ಸೆಯು ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುವ ಮೂಲಕ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವ ಮೂಲಕ ಬಂಧದ ಬಲವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಅಂಟುಗಳು, ಲೇಪನಗಳು ಮತ್ತು ಬಂಧದ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹವಾಗಿ ಜೋಡಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಸಾಮಾನ್ಯ ಅನಿಲಗಳಲ್ಲಿ ಆಮ್ಲಜನಕ, ಆರ್ಗಾನ್, ಸಾರಜನಕ, CF4 ಮತ್ತು ಮಿಶ್ರ ಅನಿಲಗಳು ಸೇರಿವೆ. ಉತ್ತಮ ಅನಿಲವು ವಸ್ತು, ಮಾಲಿನ್ಯದ ಪ್ರಕಾರ ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಗುರಿಯನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತದೆ.

ನಿರ್ವಾತ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಉತ್ತಮ ಏಕರೂಪತೆಯೊಂದಿಗೆ ನಿಯಂತ್ರಿತ ಬ್ಯಾಚ್ ಚಿಕಿತ್ಸೆಗಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ವಾಯುಮಂಡಲದ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯಿಲ್ಲದೆ ಇನ್‌ಲೈನ್ ಅಥವಾ ಸ್ಥಳೀಯ ಮೇಲ್ಮೈ ಚಿಕಿತ್ಸೆಗಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಹೌದು. ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಬಂಧ, ಲೇಪನ, ತಪಾಸಣೆ ಮತ್ತು ಜೋಡಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ಮೊದಲು.

ನೀವು ವಸ್ತುಗಳ ಪ್ರಕಾರ, ಚೇಂಬರ್ ಗಾತ್ರ, ಅನಿಲ ಪ್ರಕಾರ, ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟ, ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಉದ್ದೇಶ, ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಮಾಣ ಮತ್ತು ನಿಮಗೆ ಬ್ಯಾಚ್ ಅಥವಾ ಇನ್‌ಲೈನ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಅಗತ್ಯವಿದೆಯೇ ಎಂಬುದನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸಬೇಕು.

ವೆಚ್ಚವು ಯಂತ್ರದ ಪ್ರಕಾರ, ಚೇಂಬರ್ ಗಾತ್ರ, ಯಾಂತ್ರೀಕೃತಗೊಂಡ ಮಟ್ಟ, ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ, ಬ್ರ್ಯಾಂಡ್ ಮತ್ತು ಯಂತ್ರವು ಹೊಸದಾಗಿದೆಯೇ, ನವೀಕರಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆಯೇ ಅಥವಾ ಪೂರ್ವ ಸ್ವಾಮ್ಯದಲ್ಲಿದೆಯೇ ಎಂಬುದನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತದೆ.