System Prawf Lefel Wafer Tyred Technoleg ASM Pacific SUNBIRD

Mae SUNBIRD yn system brofi lefel waffer effeithlon, manwl gywir, cwbl awtomatig, wedi'i seilio ar dyred, wedi'i chynllunio ar gyfer y diwydiant gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion. Fe'i defnyddir yn bennaf ar gyfer profi trydanol wafferi cyn eu torri (didoli wafer/prawf CP). Ei fanteision craidd yw trwybwn uchel, sefydlogrwydd uchel, a dyluniad modiwlaidd. Gall addasu i amrywiaeth o ofynion profi o Ymchwil a Datblygu i gynhyrchu màs, yn arbennig o addas ar gyfer senarios profi ar raddfa fawr o gylchedau integredig dwysedd uchel (megis sglodion rhesymeg, cof, synwyryddion, ac ati).

2. Nodweddion craidd ac arloesiadau technolegol

2.1 Dyluniad Seiliedig ar Dyredau

Gallu profi cyfochrog: Trwy'r dyluniad tyred aml-orsaf, cyflawnir llwytho a dadlwytho, alinio a phrofi wafferi cyfochrog, gan wella effeithlonrwydd yn sylweddol (megis gall tyred 8 gorsaf brosesu wafferi lluosog ar yr un pryd).

Gweithrediad di-stop: Pan fydd y twr yn cylchdroi i newid gorsafoedd, mae gorsafoedd eraill yn parhau i weithredu, gan ddileu amser aros profwyr traddodiadol.

2.2 Integreiddio cwbl awtomataidd

Cydweithio robotiaid: Integreiddio breichiau robotig manwl gywir a systemau lleoli gweledol i gwblhau llwytho wafferi, alinio, cyswllt chwiliedydd a didoli yn awtomatig.

Algorithm amserlennu deallus: optimeiddio dilyniant a llwybr y prawf, gwneud y defnydd mwyaf o offer (gall UPH gyrraedd 200+ darn/awr, yn dibynnu ar gymhlethdod y prawf).

2.3 Gallu profi manwl gywirdeb uchel

Cywirdeb lleoli nano-lefel: defnyddir interferomedr laser neu amgodwr cydraniad uchel i sicrhau cywirdeb aliniad y cerdyn stiliwr a'r pad waffer (o fewn ±1μm).

Prawf aml-sianel: yn cefnogi profion cyfochrog hyd at filoedd o sianeli, yn gydnaws â pharamedrau DC/AC, RF, profion signal cymysg, ac ati.

2.4 Hyblygrwydd a graddadwyedd

Dyluniad modiwlaidd: modiwl rheoli tymheredd (-55°C~150°C), bwrdd prawf aml-DUT, gellir dewis gwahanol ryngwynebau cerdyn stiliwr (megis stiliwr MEMS) yn ôl yr anghenion.

Rhyngwyneb agored meddalwedd: yn cefnogi integreiddio ag offer EDA trydydd parti (megis Cadence, Keysight) a systemau MES i gyflawni dadansoddiad data amser real (SPC, cynhyrchu Map Bin).

2.5 Dibynadwyedd a chynaliadwyedd

System hunan-ddiagnosis: monitro amser real o wisgo'r chwiliedydd, drifft tymheredd a pharamedrau eraill, gan sbarduno calibradu neu larwm awtomatig.

Newid llinell cyflym: Mae dyluniad gosodiad safonol yn cefnogi amnewid cardiau stiliwr/byrddau prawf yn gyflym (amser newid < 10 munud).

3. Senarios cais nodweddiadol

Prawf cynhyrchu màs sglodion rhesymeg/cof: megis prawf CP effeithlon SoC, DRAM, a Fflach NAND.

Prawf synhwyrydd manwl gywir: gwirio aml-baramedr dyfeisiau MEMS (gyrosgopau, synwyryddion pwysau).

Profi lled-ddargludyddion trydydd cenhedlaeth: addasu i ofynion prawf foltedd uchel a thymheredd uchel wafferi SiC/GaN.

4. Enghraifft o baramedr technegol (addasadwy yn ôl y cyfluniad gwirioneddol)

Paramedr Eitem

Maint y wafer 6"/8"/12" (addasadwy)

Nifer o orsafoedd prawf 4/6/8 gorsaf yn ddewisol

Cywirdeb lleoli ±0.5μm @ 3σ

Ystod tymheredd prawf Tymheredd arferol ~ 150°C (modiwl tymheredd isel dewisol)

Uchafswm nifer y sianeli prawf 2048 sianel (ehangadwy)

Rhyngwyneb cyfathrebu GPIB/Ethernet/SECS/GEM

5. Dadansoddiad cystadleurwydd y farchnad

Manteision:

O'i gymharu â phrofwyr un orsaf (fel y Prober traddodiadol), mae effeithlonrwydd wedi gwella 30% ~ 50%.

Cydnawsedd cryf, gan gefnogi trosglwyddiad di-dor o allbwn isel mewn Ymchwil a Datblygu i allbwn uchel mewn cynhyrchu màs.

Cynhyrchion cymharu:

Yn cystadlu â Tokyo Electron (TEL) Prober, Teradyne UltraFlex, ac ati, ond mae ganddo nodweddion mwy nodedig o ran pensaernïaeth tyred a chost-effeithiolrwydd.

6. Gwerth Cwsmeriaid

Costau profi is: Mae trwybwn uchel yn lleihau nifer y buddsoddiadau mewn offer.

Cynnyrch gwell: Mae profion manwl gywir ac adborth data amser real yn helpu i optimeiddio'r broses.

Addasrwydd yn y dyfodol: Yn cefnogi optimeiddio profion sy'n cael eu gyrru gan AI a gofynion profi pecynnu uwch (megis Chiplet).

7. Crynodeb

Mae SUNBIRD yn darparu datrysiad profi wafferi effeithlon, dibynadwy a hyblyg ar gyfer y diwydiant lled-ddargludyddion trwy ddyluniad tyred arloesol, awtomeiddio llawn a galluoedd profi manwl gywirdeb uchel, yn enwedig ar gyfer gweithgynhyrchwyr sglodion proses uwch sy'n anelu at effeithlonrwydd cynhyrchu màs ac ansawdd data. Mae ei bensaernïaeth fodiwlaidd hefyd yn cadw lle i uwchraddio ar gyfer esblygiad technolegol yn y dyfodol.