Nidaamka Imtixaanka Heerka Wafer ee ASM Tignoolajiyada Baasifigga SUNBIRD

SUNBIRD waa nidaam wax ku ool ah, sax ah oo sarreeya, oo si buuxda otomaatig ah u ah nidaamka tijaabada heerka wafer-ku-saleysan ee loogu talagalay warshadaha wax soo saarka semiconductor. Waxaa inta badan loo isticmaalaa baaritaanka korantada ee waferrada ka hor inta aan la jarin (nooca wafer/baaritaanka CP). Faa'iidooyinkeeda asaasiga ah waa wax-soo-saarka sare, xasilloonida sare, iyo naqshadeynta modulka. Waxay la qabsan kartaa noocyo kala duwan oo shuruudaha imtixaannada laga bilaabo R&D ilaa wax soo saarka ballaaran, gaar ahaan ku habboon xaaladaha tijaabada baaxadda weyn ee wareegyada isku dhafan ee cufnaanta sare (sida chips-ka macquulka ah, xusuusta, dareemayaasha, iwm.).

2. Astaamaha muhiimka ah iyo hal-abuurka tignoolajiyada

2.1 Naqshad ku salaysan Turret

Awoodda tijaabinta isbarbardhigga: Iyada oo loo marayo naqshadaynta turret-ka-saldhigyada, isbarbardhigga iyo dejinta, isku toosinta, iyo tijaabinta waferrada ayaa lagu gaaraa, si weyn u wanaajinaya waxtarka (sida 8-station turret ayaa farsamayn kara wafers badan isku mar).

Hawlgalka aan joogsiga lahayn: Marka turretku uu wareego si uu u beddelo saldhigyada, saldhigyada kale ayaa sii wada shaqadoodii, iyaga oo meesha ka saaraya wakhtiga sugitaanka ee tijaabiyeyaasha dhaqanka.

2.2 Is dhexgalka si toos ah oo toos ah

Wadashaqeynta Robot: Isku-dubarid qalab roboti ah oo sax ah oo sarreeya iyo nidaamyada meelaynta muuqaalka si toos ah loo dhammaystiro rarista wafer, toosinta, xidhiidhka baadhitaanka iyo kala-soocidda.

Jadwalka caqliga leh algorithm: wanaaji isku xigxiga imtixaanka iyo dariiqa, sare u qaad ka faa'iidaysiga qalabka (UPH waxay gaari kartaa 200+ xabbo/saac, iyadoo ku xidhan kakanaanta tijaabada).

2.3 Awoodda tijaabada saxda ah ee saxda ah

Saxnaanta meelaynta heerka Nano: interferometer laser ama codeeyaha xallinta sare ayaa loo isticmaalaa si loo hubiyo saxnaanta toosinta kaadhka baadhitaanka iyo suufka waferka ( gudahood ± 1μm).

Tijaabada kanaalka badan: waxay taageertaa tijaabinta isbarbar dhigga ilaa kumanaan kanaal, oo la jaan qaadaya cabirrada DC/AC, RF, tijaabinta calaamadaha isku dhafan, iwm.

2.4 Dabacsanaanta iyo miisaanka

Naqshadaynta qaab-dhismeedka: moduleka xakamaynta heerkulka (-55 ° C ~ 150 ° C), guddiga tijaabada-DUT-ka badan, kaararka kala duwan ee kaararka baaritaanka (sida baaritaanka MEMS) ayaa loo dooran karaa iyadoo loo eegayo baahiyaha.

Interface-ka furan ee software: wuxuu taageeraa isdhexgalka qalabka EDA dhinac saddexaad (sida Cadence, Keysight) iyo nidaamyada MES si loo gaaro falanqaynta xogta waqtiga-dhabta ah (SPC, Bin Map generation).

2.5 Isku halaynta iyo joogteynta

Nidaamka is-aqoonsiga: la socodka wakhtiga dhabta ah ee xidhashada baadhista, qulqulka heerkulka iyo cabbiraadaha kale, kicinta toosinta ama digniinta.

Beddelka xariiqda degdega ah: Naqshadaynta habaysan waxay taageertaa beddelka degdegga ah ee kaadhadhka baaritaanka/looxyada imtixaanka (waqtiga beddelka <10 daqiiqo).

3. Xaaladaha codsiga caadiga ah

Tijaabada wax-soo-saarka baaxadda ee macquulka/chip xusuusta: sida tijaabada CP ee hufan ee SoC, DRAM, iyo NAND Flash.

Tijaabada dareemaha saxda ah ee saxda ah: Xaqiijinta halbeegyada badan ee aaladaha MEMS (gyroscopes, dareemayaasha cadaadiska).

Tijaabada semiconductor-jiilka saddexaad: la qabsiga shuruudaha tijaabada korantada sare iyo heerkulka sare ee waferrada SiC/GaN.

4. Tusaalaha cabbirka farsamada (la hagaajin karo iyadoo loo eegayo qaabeynta dhabta ah)

Qiyaasta Shayga

Cabbirka waferka 6"/8"/12" (la beddeli karo)

Tirada xarumaha imtixaanada 4/6/8 xarumaha ikhtiyaari ah

Saxnaanta meelaynta ± 0.5μm @ 3σ

Tijaabi kala duwanaanta heerkulka heerkulka caadiga ah ~ 150°C (ikhtiyaarka heerkulka hooseeya)

Tirada ugu badan ee kanaalada tijaabada 2048 kanaalada (la fidin karo)

Isgaadhsiinta isgaadhsiinta GPIB/Ethernet/SECS/GEM

5. Falanqaynta tartanka suuqa

Faa'iidooyinka

Marka la barbar dhigo tijaabiyeyaasha hal-meeloodka ah (sida Prober-dhaqameedka), waxtarka ayaa la hagaajiyay 30% ~ 50%.

Waafaqid xooggan, taageeridda kala-guurka aan kala go 'lahayn ee ka soo-saarka hooseeya ee R&D ilaa wax-soo-saarka sare ee wax-soo-saarka guud.

Isbarbardhigga alaabta:

Waxa ay la tartantaa Tokyo Electron (TEL) Prober, Teradyne UltraFlex, iwm., laakiin waxa uu leeyahay sifooyin ka duwan qaab-dhismeedka turret iyo waxtarka-qiimaynta.

6. Qiimaha Macmiilka

Kharashyada imtixaanka oo la dhimay: Wax-soo-saarka sare wuxuu yareeyaa tirada maalgashiga qalabka.

Waxsoosaarka la hagaajiyay: Tijaabada saxda ah ee saxda ah iyo jawaab celinta xogta wakhtiga-dhabta ah waxay gacan ka geysataa hagaajinta habka.

La qabsiga mustaqbalka: Waxay taageertaa hagaajinta imtixaanka AI ay wado iyo baakadaha horumarsan (sida Chiplet) shuruudaha tijaabada.

7. Kooban

SUNBIRD waxay siisaa xal tijaabo ah oo hufan, lagu kalsoonaan karo oo dabacsan oo loogu talagalay warshadaha semiconductor-ka iyada oo loo marayo naqshad cusub oo turret ah, qalab buuxa iyo awoodaha tijaabinta saxda ah, gaar ahaan soosaarayaasha habka horumarsan ee soo saarayaasha wax soo saarka ballaaran iyo tayada xogta. Nidaamkeeda qaabdhismeedku waxa kale oo uu kaydiyaa meel cusboonaysiinta horumarka tignoolajiyada mustaqbalka.