EN
id
sk
sr
sv
it
pt
bn
ms
be
nl
fr
th
vi
ru
ja
ko
de
hy
az
bs
bg
my
cs
da
dv
el
et
fil
fi
ga
gl
gn
he
hi
km
hr
hu
is
kn
rw
lo
lv
lt
lb
lg
mi
mt
ne
no
ny
or
om
per
pl
ro
sa
so
es
sw
ta
tr
uk
ur
cy
xh
Nitto DR8500III یک دستگاه اعمال نوار محافظ کاملاً خودکار در سری Nitto NEL SYSTEM™ است که به طور خاص برای ویفرهای 200 میلیمتری (8 اینچی) طراحی شده است. به عبارت ساده، عملکرد اصلی آن اعمال یک لایه نوار محافظ به طور کامل روی قسمت جلویی ویفر (طرفی که الگوهای مداری روی آن قرار دارد) قبل از فرآیند حساس نازک شدن قسمت پشتی (که به عنوان سنگزنی قسمت پشتی نیز شناخته میشود) است و از آسیب در حین سنگزنی پرسرعت بعدی جلوگیری میکند.
مقایسه پارامترهای هسته DR8500III در مقابل DR3000III
برای کمک به شما در درک سریع موقعیت DR8500III، آن را در کنار DR3000III که از ویفرهای 300 میلیمتری نیز پشتیبانی میکند، مقایسه کردهایم و تفاوتها را فوراً آشکار میکنیم.
موارد مقایسه: DR8500III (مقدمه اصلی) DR3000III
موقعیت اصلی: دستگاه نوار محافظ تمام اتوماتیک برای ویفرهای ۲۰۰ میلیمتری؛ دستگاه نوار محافظ تمام اتوماتیک برای ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری
اندازههای ویفر قابل استفاده: 8/6/5/4 اینچ (200/150/125/100 میلیمتر)؛ 300/200 میلیمتر (12 اینچ/8 اینچ)
توان عملیاتی: استاندارد: ۷۷ ویفر در ساعت
نسخه RF: ۶۸ ویفر در ساعت؛ ۶۸ ویفر در ساعت
ضخامت ویفر سازگار: ویفرهای بدون سنگزنی پشتی؛ 400 میکرومتر یا ضخیمتر
ویژگیها و مشخصات فنی اصلی:
ویژگیهای فنی DR8500III به طور کامل سازگاری، عملکرد فرآیند و سهولت کار را در نظر گرفته است.
سازگاری گسترده با ویفر: پشتیبانی استاندارد از ویفرهای ۸/۶/۵ اینچی، با پشتیبانی اختیاری برای ویفرهای ۴ اینچی. علاوه بر این، میتوان به عنوان یک گزینه برای برآورده کردن نیازهای مختلف فرآیند، چاکها/غلتکهای گرم شونده را اضافه کرد.
فناوری اعمال فیلم با تنش کم: نسخه RF آن از فناوری اعمال تنش کم استفاده میکند که به طور قابل توجهی تنش روی ویفر را در طول فرآیند اعمال فیلم کاهش میدهد و خطر تاب برداشتن یا شکستن ویفر را کم میکند.
اتوماسیون با راندمان بالا و استاندارد صنعتی: این تجهیزات به اپراتورها اجازه میدهد تا به سرعت از طریق یک پنل لمسی و قابلیت دستور پخت به پارامترهای از پیش تعیینشده تولید دسترسی پیدا کنند و عملکرد بصری را فراهم کنند. همچنین با استانداردهای ایمنی CE مطابقت دارد و پروتکلهای ارتباطی SECS/GEM اختیاری را ارائه میدهد که امکان ادغام یکپارچه در سیستمهای اتوماسیون کارخانه نیمههادی مدرن را فراهم میکند.
زمینههای کاربرد: بازار اصلی DR8500III در تولید نیمههادی ویفرهای ۲۰۰ میلیمتری (۸ اینچی) است که به ویژه در فرآیندهای کلیدی زیر بسیار مهم است:
سنگزنی معکوس: این کاربرد اصلی آن است. قبل از فرآیند سنگزنی معکوس، از سطح جلویی ویفر محافظت مکانیکی میکند و از خراشیدن مدار توسط چرخهای سنگزنی چرخان با سرعت بالا جلوگیری میکند؛ همچنین از آلودگی سطح ویفر با صیقل دادن مایعات و زبالهها محافظت شیمیایی میکند.
برش ویفر/اره کردن: قبل از برش ویفر به قطعات کوچک، از نوار برش برای ثابت کردن ویفر استفاده میشود و ثبات و دقت در طول فرآیند برش تضمین میشود.
کار مشارکتی و اکوسیستم
در یک خط تولید کامل بستهبندی نیمههادی، DR8500III معمولاً به تنهایی کار نمیکند، بلکه با سایر تجهیزات همکاری میکند تا یک فرآیند تولید حلقه بسته از "اعمال فیلم - فرآیند - حذف فیلم" را تشکیل دهد.
همکاری با دستگاههای حذف فیلم: پس از فرآیندهایی مانند نازکسازی پشت و آنیل لیزری، نوار محافظ باید برداشته شود و به یک دستگاه حذف فیلم نیاز دارد. به عنوان مثال، دستگاه حذف نوار کاملاً اتوماتیک Nitto مدل HR8500III یک انتخاب رایج برای جفت شدن با DR8500III است.
همکاری با تجهیزات سنگزنی/برش: فرآیند اعمال فیلم DR8500III یک حلقه حیاتی در ارائه "پیشفرآوری مواد" برای تجهیزات فرآیند اصلی مانند سنگزنیها و ارههای برش است.
خلاصه
به طور خلاصه، Nitto DR8500III یک دستگاه اعمال فیلم ویفر ۲۰۰ میلیمتری کاملاً اتوماتیک، بالغ، پایدار و کارآمد است. ارزش اصلی آن در ارائه محافظت قابل اعتماد برای ویفر قبل از فرآیندهای حساسی مانند نازکسازی پشت از طریق فناوری اعمال فیلم دقیق و کمفشار نهفته است که برای تضمین بازده و عملکرد تراشه نهایی بسیار مهم است.
