Nitto DR8500III ir pilnībā automatizēta aizsarglentes uzklāšanas ierīce Nitto NEL SYSTEM™ sērijā, kas īpaši paredzēta 200 mm (8 collu) plāksnēm. Vienkārši sakot, tās galvenā funkcija ir pilnībā uzklāt aizsarglentes slāni uz plāksnītes priekšpuses (puses ar shēmu rakstiem) pirms kritiskās aizmugures retināšanas (pazīstamas arī kā aizmugures slīpēšana), novēršot bojājumus sekojošās ātrgaitas slīpēšanas laikā.
DR8500III un DR3000III galveno parametru salīdzinājums
Lai palīdzētu jums ātri izprast DR8500III pozicionējumu, mēs to salīdzinājām blakus ar DR3000III, kas arī atbalsta 300 mm plāksnes, padarot atšķirības uzreiz pamanāmas.
Salīdzināmie vienumi: DR8500III (galvenais ievads) DR3000III
Galvenā pozicionēšana: Pilnībā automātisks aizsarglentes aplikators 200 mm vafelēm; Pilnībā automātisks aizsarglentes aplikators 300 mm vafelēm
Piemērojamie plākšņu izmēri: 8/6/5/4 collas (200/150/125/100 mm); 300/200 mm (12 collas/8 collas)
Caurlaidspēja: Standarta: 77 vafeles/stundā
RF versija: 68 plāksnes stundā; 68 plāksnes stundā
Saderīgs vafeļu biezums: vafeļu biezums bez aizmugures slīpēšanas; 400 µm vai biezāks
Galvenās iezīmes un tehniskās īpašības:
DR8500III tehniskās īpašības pilnībā ņem vērā saderību, procesa veiktspēju un lietošanas vienkāršību.
Plaša saderība ar plāksnēm: standarta atbalsts 8/6/5 collu plāksnēm, ar papildu atbalstu 4 collu plāksnēm. Turklāt kā opciju var pievienot apsildāmas patronas/rullīšus, lai atbilstu dažādām procesa prasībām.
Zema sprieguma plēves uzklāšanas tehnoloģija: RF versijā tiek izmantota zema sprieguma uzklāšanas tehnoloģija, kas ievērojami samazina plēves spriegumu plēves uzklāšanas procesā un pazemina plēves deformācijas vai lūzuma risku.
Nozares standarta augstas efektivitātes automatizācija: Iekārta ļauj operatoriem ātri piekļūt iepriekš iestatītiem ražošanas parametriem, izmantojot skārienpaneli un recepšu funkcionalitāti, nodrošinot intuitīvu darbību. Tā atbilst arī CE drošības standartiem un piedāvā papildu SECS/GEM komunikācijas protokolus, kas nodrošina nemanāmu integrāciju modernās pusvadītāju rūpnīcu automatizācijas sistēmās.
Pielietojuma jomas: DR8500III galvenais tirgus ir 200 mm (8 collu) pusvadītāju plākšņu ražošana, kas ir īpaši svarīga šādos galvenajos procesos:
Aizmugurējā slīpēšana: Šis ir tā galvenais pielietojums. Pirms aizmugures slīpēšanas procesa tā nodrošina mehānisku aizsardzību plāksnes priekšpusei, novēršot ātrgaitas rotējošu slīpripu radītus shēmas saskrāpējumus; tā nodrošina arī ķīmisku aizsardzību, novēršot plāksnes virsmas piesārņošanu ar pulēšanas šķidrumu un gružiem.
Plākšņu griešana/zāģēšana: Pirms plāksnīšu griešanas atsevišķās skaidiņās, tās nostiprināšanai tiek uzklāta griešanas lente, kas nodrošina stabilitāti un precizitāti griešanas procesa laikā.
Sadarbības darbs un ekosistēma
Pilnībā uz pusvadītāju iepakojuma ražošanas līnijas DR8500III parasti nedarbojas atsevišķi, bet gan sadarbojas ar citām iekārtām, lai izveidotu slēgta cikla ražošanas procesu "plēves uzklāšana - apstrāde - plēves noņemšana".
Sadarbība ar plēves noņemšanas iekārtām: Pēc tādiem procesiem kā aizmugures retināšana un lāzera atkvēlināšana, aizsarglente ir jānoņem, un tam ir nepieciešama plēves noņemšanas iekārta. Piemēram, Nitto pilnībā automātiskā lentes noņemšanas iekārta HR8500III ir izplatīta izvēle, lai to savienotu pārī ar DR8500III.
Sadarbība ar slīpēšanas/griešanas iekārtām: DR8500III plēves uzklāšanas process ir izšķiroša saikne, nodrošinot "materiālu pirmapstrādi" galvenajām procesa iekārtām, piemēram, slīpmašīnām un griešanas zāģiem.
Kopsavilkums
Rezumējot, Nitto DR8500III ir nobriedusi, stabila un efektīva pilnībā automātiska 200 mm vafeļu plēves uzklāšanas iekārta. Tās galvenā vērtība ir nodrošināt uzticamu vafeļu aizsardzību pirms kritiskiem procesiem, piemēram, aizmugurējās puses retināšanas, izmantojot precīzu, zema sprieguma plēves uzklāšanas tehnoloģiju, kas ir ļoti svarīgi, lai nodrošinātu galīgās mikroshēmas ražu un veiktspēju.



