निट्टो अर्धचालक वेफर माउंटर DR8500III

निट्टो DR8500III निट्टो NEL SYSTEMTM श्रृङ्खलायां पूर्णतया स्वचालितं सुरक्षात्मकं टेप-अनुप्रयोगयन्त्रम् अस्ति, यत् विशेषतया 200mm (8-इञ्च्) वेफरस्य कृते डिजाइनं कृतम् अस्ति सरलतया वक्तुं शक्यते यत्, तस्य मूलकार्यं भवति यत् महत्त्वपूर्णपृष्ठभागस्य पतलाकरणस्य (पृष्ठभागस्य पीसने इति अपि ज्ञायते) प्रक्रियायाः पूर्वं वेफरस्य अग्रभागे (सर्किटप्रतिमानयुक्ते पार्श्वे) पूर्णतया सुरक्षात्मकपट्टिकायाः ​​स्तरं प्रयोक्तुं शक्यते, येन अनन्तरं उच्चगतिपीसने क्षतिः न भवति

DR8500III बनाम DR3000III कोर पैरामीटर तुलना

DR8500III इत्यस्य स्थितिं शीघ्रं ग्रहीतुं वयं तस्य तुलना DR3000III इत्यनेन सह पार्श्वे पार्श्वे कृतवन्तः, यत् 300mm वेफर्स् अपि समर्थयति, येन भेदाः तत्क्षणमेव स्पष्टाः भवन्ति

तुलना मद: DR8500III (मुख्य परिचय) DR3000III

मुख्यस्थापनम् : 200mm वेफरस्य कृते पूर्णतया स्वचालितं सुरक्षात्मकं टेप-अनुप्रयोगकं; 300mm वेफरस्य कृते पूर्णतया स्वचालितं सुरक्षात्मकं टेप-अनुप्रयोगकं

प्रयोज्य वेफर आकार: 8/6/5/4 इञ्च (200/150/125/100mm); ३००/२००मि.मी.(१२ इञ्च्/८ इञ्च्) २.

थ्रूपुट: मानक: 77 वेफर/घण्टा

आरएफ संस्करणम्: 68 वेफर/घण्टा; ६८ वेफर/घण्टा

संगत वेफर मोटाई: पृष्ठ-पार्श्व-पिसने विना वेफर; ४००μm वा अधिकं स्थूलम्

मुख्यविशेषताः तथा तकनीकीलक्षणाः : १.

DR8500III इत्यस्य तकनीकीविशेषताः पूर्णतया संगततां, प्रक्रियाप्रदर्शनं, संचालनस्य सुगमतां च विचारयन्ति ।

विस्तृत वेफर संगतता: 8/6/5-इञ्च वेफरस्य मानकसमर्थनम्, 4-इञ्च् वेफरस्य वैकल्पिकसमर्थनेन सह। अपि च, भिन्न-भिन्न-प्रक्रिया-आवश्यकतानां पूर्तये विकल्परूपेण तापित-चक/रोलर-इत्येतत् योजयितुं शक्यते ।

कम-तनाव-चलच्चित्र-अनुप्रयोग-प्रौद्योगिकी: अस्य आरएफ-संस्करणं न्यून-तनाव-प्रयोग-प्रौद्योगिकीम् नियोजयति, यत् चलचित्र-अनुप्रयोग-प्रक्रियायाः समये वेफर-उपरि तनावं महत्त्वपूर्णतया न्यूनीकरोति तथा च वेफर-युद्ध-विच्छेदस्य अथवा भङ्गस्य जोखिमं न्यूनीकरोति

उद्योग-मानक-उच्च-दक्षता-स्वचालनम् : उपकरणं संचालकानाम् स्पर्श-पटलस्य माध्यमेन पूर्वनिर्धारित-उत्पादन-मापदण्डान् शीघ्रं प्राप्तुं शक्नोति तथा च नुस्खा-कार्यक्षमताम्, सहज-सञ्चालनं प्रदाति इदं CE सुरक्षामानकानां अनुपालनमपि करोति तथा च वैकल्पिकं SECS/GEM संचारप्रोटोकॉलं प्रदाति, येन आधुनिक अर्धचालककारखानास्वचालनप्रणालीषु निर्बाधसमायोजनं सक्षमं भवति

अनुप्रयोगक्षेत्राणि : DR8500III इत्यस्य प्राथमिकं बाजारं 200mm (8-इञ्च्) वेफरस्य अर्धचालकनिर्माणे अस्ति, यत् निम्नलिखितमुख्यप्रक्रियासु विशेषतया महत्त्वपूर्णम् अस्ति:

बैकग्राइण्डिंग् : एषः अस्य मूलप्रयोगः अस्ति । पृष्ठपिष्टनप्रक्रियायाः पूर्वं वेफरस्य अग्रभागस्य यांत्रिकसंरक्षणं प्रदाति, येन उच्चगतियुक्तानि घूर्णनचक्राणि परिपथं खरचयितुं न शक्नुवन्ति इदं रासायनिकरक्षणमपि ददाति, द्रवस्य, मलिनस्य च पालिशेन वेफरपृष्ठस्य दूषणं निवारयति ।

वेफर डाइसिंग्/साविंग : वेफरस्य व्यक्तिगतचिप्स् मध्ये डाइसिंग् करणात् पूर्वं वेफरस्य निश्चयार्थं डाइसिंग् टेपं प्रयुक्तं भवति, येन डाइसिंग् प्रक्रियायाः समये स्थिरता, परिशुद्धता च सुनिश्चिता भवति

सहयोगात्मक कार्य एवं पारिस्थितिकी तंत्र

सम्पूर्णे अर्धचालकपैकेजिंगनिर्माणपङ्क्तौ DR8500III सामान्यतया एकान्ते कार्यं न करोति, अपितु अन्यैः उपकरणैः सह सहकार्यं कृत्वा "चलच्चित्रानुप्रयोग - प्रक्रिया - चलचित्रनिष्कासनस्य" बन्द-पाशनिर्माणप्रक्रियाम् निर्माति

चलचित्रनिष्कासनयन्त्रैः सह सहकार्यम् : पृष्ठभागस्य पतलाकरणं, लेजर-एनीलिंग् इत्यादीनां प्रक्रियाणां अनन्तरं सुरक्षात्मकपट्टिकां निष्कासयितुं आवश्यकं भवति, अतः चलचित्रनिष्कासनयन्त्रस्य आवश्यकता भवति यथा, निट्टो इत्यस्य HR8500III पूर्णतया स्वचालितं टेप-निष्कासन-यन्त्रं DR8500III इत्यनेन सह युग्मीकरणार्थं सामान्यः विकल्पः अस्ति ।

ग्राइंडिंग्/डाइसिंग् उपकरणैः सह सहकार्यम् : DR8500III इत्यस्य चलचित्रप्रयोगप्रक्रिया ग्राइण्डर् तथा डाइसिंग् आरा इत्यादीनां कोरप्रक्रियासाधनानाम् "सामग्रीपूर्वउपचारः" प्रदातुं महत्त्वपूर्णः कडिः अस्ति

संक्षेपः

सारांशेन, निट्टो DR8500III एकं परिपक्वं, स्थिरं, कुशलं च पूर्णतया स्वचालितं 200mm वेफर-चलच्चित्र-अनुप्रयोग-यन्त्रम् अस्ति । अस्य मूलमूल्यं सटीक, न्यून-तनाव-चलचित्र-अनुप्रयोग-प्रौद्योगिक्याः माध्यमेन पृष्ठ-पक्ष-पतलेन-आदिषु महत्त्वपूर्ण-प्रक्रियाभ्यः पूर्वं वेफर-कृते विश्वसनीयं रक्षणं प्रदातुं निहितं भवति, यत् अन्तिम-चिपस्य उपजं कार्यक्षमतां च सुनिश्चित्य महत्त्वपूर्णम् अस्ति