Монтажник пластин Nitto Semiconductor DR8500III

Nitto DR8500III – це повністю автоматизований пристрій для нанесення захисної стрічки серії Nitto NEL SYSTEM™, спеціально розроблений для пластин діаметром 200 мм (8 дюймів). Простіше кажучи, його основна функція полягає в повному нанесенні шару захисної стрічки на лицьову сторону пластини (сторону зі схемами схем) перед критичним процесом стоншення зворотного боку (також відомим як шліфування зворотного боку), запобігаючи пошкодженню під час подальшого високошвидкісного шліфування.

Порівняння основних параметрів DR8500III та DR3000III

Щоб допомогти вам швидко зрозуміти позиціонування DR8500III, ми порівняли його з DR3000III, який також підтримує 300-міліметрові пластини, що робить відмінності одразу очевидними.

Порівняльні елементи: DR8500III (Основний вступ) DR3000III

Основне позиціонування: Повністю автоматичний аплікатор захисної стрічки для пластин 200 мм; Повністю автоматичний аплікатор захисної стрічки для пластин 300 мм

Застосовувані розміри пластин: 8/6/5/4 дюйми (200/150/125/100 мм); 300/200 мм (12 дюймів/8 дюймів)

Пропускна здатність: Стандартна: 77 пластин/годину

Версія RF: 68 пластин/год; 68 пластин/год

Сумісна товщина пластини: пластини без шліфування зворотного боку; 400 мкм або товщі

Основні характеристики та характеристики:

Технічні характеристики DR8500III повністю враховують сумісність, продуктивність процесу та простоту експлуатації.

Широка сумісність з пластинами: стандартна підтримка пластин розміром 8/6/5 дюймів, з додатковою підтримкою пластин розміром 4 дюйми. Крім того, підігрівані патрони/ролики можна додати як опцію для задоволення різних вимог процесу.

Технологія нанесення плівки з низьким напруженням: у версії RF використовується технологія нанесення з низьким натягом, що значно зменшує навантаження на пластину під час процесу нанесення плівки та знижує ризик деформації або поломки пластини.

Високоефективна автоматизація галузевого стандарту: Обладнання дозволяє операторам швидко отримувати доступ до попередньо встановлених параметрів виробництва за допомогою сенсорної панелі та функції рецептів, забезпечуючи інтуїтивно зрозуміле керування. Воно також відповідає стандартам безпеки CE та пропонує додаткові протоколи зв'язку SECS/GEM, що забезпечує безперешкодну інтеграцію в сучасні системи автоматизації виробництва напівпровідників.

Галузі застосування: Основним ринком збуту DR8500III є виробництво напівпровідникових пластин розміром 200 мм (8 дюймів), що особливо важливо в таких ключових процесах:

Шліфування: це його основне застосування. Перед процесом шліфування воно забезпечує механічний захист передньої сторони пластини, запобігаючи подряпинам схеми від високошвидкісних шліфувальних кругів, що обертаються; воно також забезпечує хімічний захист, запобігаючи забрудненню поверхні пластини полірувальною рідиною та сміттям.

Нарізання/розпилювання пластин: перед нарізанням пластини на окремі чіпси на неї наноситься стрічка для фіксації, що забезпечує стабільність і точність під час процесу нарізання.

Спільна робота та екосистема

На повноцінній лінії виробництва корпусів напівпровідників DR8500III зазвичай не працює самостійно, а співпрацює з іншим обладнанням, формуючи замкнутий виробничий процес «нанесення плівки – процес – видалення плівки».

Співпраця з машинами для видалення плівки: Після таких процесів, як витончення зворотного боку та лазерне відпалювання, захисну стрічку необхідно видалити, що вимагає використання машини для видалення плівки. Наприклад, повністю автоматична машина для видалення стрічки Nitto HR8500III є поширеним вибором для поєднання з DR8500III.

Співпраця з обладнанням для шліфування/нарізання: процес нанесення плівки DR8500III є вирішальною ланкою у забезпеченні «попередньої обробки матеріалу» для основного технологічного обладнання, такого як шліфувальні машини та пилки для нарізання кубиками.

Резюме

Підсумовуючи, Nitto DR8500III — це зріла, стабільна та ефективна повністю автоматична машина для нанесення плівки на пластини розміром 200 мм. Її основна цінність полягає в забезпеченні надійного захисту пластини перед критичними процесами, такими як стоншення зворотного боку, завдяки точній технології нанесення плівки з низьким навантаженням, що має вирішальне значення для забезпечення виходу та продуктивності кінцевого чіпа.