DISCO мелница за вафли DFG8541

DISCO DFG8541 е напълно автоматизирана шлифовъчна машина, разработена да отговори на нуждите на изтъняване на пластини с размер 8 инча и по-малки. Като подобрение на своя предшественик, бестселъра DFG8540, тя може да бъде позиционирана като „основен модел за изтъняване на пластини с размер 8 инча“, известна с високата си прецизност, висока чистота и отлична стабилност, особено подходяща за обработка на твърди и крехки материали като силициев карбид (SiC).

Следва подробно въведение в неговия принцип на работа, основните функции, спецификации и пазарна стойност.

Принцип на работа: Двуядрена синергия на ефективност и прецизност

DFG8541 използва архитектура с „двойно вретено и три вендузи“.

Ясно разделение на труда: Единият шпиндел носи едро шлифовъчно колело за бързо отстраняване на основния материал от задната страна на пластината; другият шпиндел носи фино шлифовъчно колело за фина обработка на повърхността, постигайки гладък, плосък и безупречен краен резултат.

Високоефективен процес: Пластината се адсорбира вакуумно върху работната маса. Чрез прецизно планиране на процеса се постига напълно автоматизиран работен процес с „еднократно затягане, непрекъсната обработка“, като се избягват рисковете от замърсяване и повреди, причинени от прехвърлянето на материали между различни устройства.

Приложения и роли: Отвъд силиция

Като устройство с общо предназначение, то играе ключова роля в областта на полупроводниците от трето поколение.

Основна задача: Изтъняване на 8-инчови и по-малки пластини (Si/SiC) до целевите дебелини, осигуряване на отлична равномерност на дебелината (TTV) и премахване на повърхностни повреди, причинени от предишни процеси.

Възходяща тенденция: Чрез избора на шпиндел с висок въртящ момент, DFG8541 може стабилно да обработва материали с ултрависока твърдост, като например SiC. Това е основната причина, поради която е силно предпочитан на пазара на силови полупроводници.

Преглед на ключовите параметри

Категория на параметъра | Специфични спецификации

Приложими детайли: Φ8 инча (200 мм) и по-малко; съвместими с пластини Φ4, 5, 6 и 8 инча с помощта на универсален патронник

Метод на шлайфане: Ротационно надлъжно шлайфане с подаване

Конфигурация на шпиндела: Двойни шпиндели (2 оси), шпиндел с пневматично-хидростатично лагеруване (стандартно)

Скорост на шпиндела: 1000 - 7000 об/мин

Мощност на шпиндела: Стандартна 4,2 kW

Конфигурация на работната маса: Три работни маси (3 маси за патронници)

Спецификации на шлифовъчното колело: Диамантено шлифовъчно колело Φ200 мм

Размери на оборудването (Ш x Д x В): Приблизително 1100 × 2800 × 1800 мм

Тегло на оборудването: Приблизително 3000 кг

Основни функции и характеристики

DFG8541 представлява значително подобрение спрямо DFG8540.

Подробно описание на характеристиките/функциите

Превъзходни възможности за почистване: Многостанционни двуфлуидни дюзи: В сравнение с традиционното почистване с въздух и вода, това мощно премахва фините прахови частици, полепнали по пластината след шлифоване. Тази технология се използва широко в основни работни станции, като например вендузи и детайли, като ефективно намалява риска от счупване на тънки пластини.

Безконтактно подравняване: Използва камера за локализиране на центъра на пластината, замествайки физическия контакт и елиминирайки драскотини или повреди по ръбовете по време на процеса на подравняване.

Интелигентно производство: Рецепта за всяка пластина: Позволява автоматично обработване на различни пластини в една и съща касета за пластини според съответните им предварително зададени рецепти (дебелина на смилане, скорост и др.), като се адаптира перфектно към многовариантно, дребносерийно производство.

Функции за защита на пластините: Интегрира множество защитни механизми, включително картографиране на пластините (против неправилно подравняване/празна пластина), предварителна проверка на дебелината (против двойно залепване) и вакуумно задържане (аларма за внезапно прекъсване на захранването), гарантирайки безопасността на висококачествените пластини.

Електрически регулируема корекция на наклона: Наклонът на вендузата може да се регулира електрически фино чрез стойности на екрана, оптимизирайки формата на обработка и намалявайки времето за ръчно калибриране.

Значително подобрена използваемост: 19-инчов по-голям екран GUI: В сравнение с 15-инчовия екран на DFG8540, дисплеят е не само по-голям, но и разполага с интуитивен графичен потребителски интерфейс.

Оптимизирана поддръжка: Подобрената вътрешна структура за почистване улеснява поддръжката.

Енергоспестяващ и компактен дизайн: Новият пневматичен шпиндел намалява консумацията на въздух с 50%; вградената вакуумна помпа намалява заеманата площ с 15% в сравнение с предшественика си, постигайки екологични спестявания както в хардуера, така и в експлоатацията.

Пазарно позициониране и стойност: В сравнение с флагмана DGP8761, насочен към 12-инчовия пазар, DFG8541 се фокусира повече върху 8-инчовия пазар, което го прави типична „високопроизводителна, рентабилна“ флагманска машина:

Позициониране на производителността: DFG8541 е еталон за производителност за 8-инчови шлифовъчни машини. Чрез избора на шпиндел с висок въртящ момент, той успешно преодолява предизвикателствата на изтъняването на твърди и крехки материали като SiC, затвърждавайки абсолютното си предимство на пазара на 8-инчови машини.

Инвестиционна стойност: Като стабилно надграждане на зряла платформа, то е надеждно по отношение на дългосрочна стабилна работа и непрекъснато производство, което го прави високоефективен, нискорисков и надежден избор за инвестиция в оборудване за 8-инчови производствени линии. Водещи местни университети (като университета Xi'an Jiaotong) вече са закупили това оборудване за авангардни изследвания.

Изисквания за поддръжка и монтаж: За да се осигури дългосрочна стабилна и високопрецизна работа на DFG8541, е необходимо стриктно спазване на изискванията на DISCO за монтажната среда:

Чистота на околната среда: Трябва да се монтира в чисто помещение с висок стандарт за чистота. Температурата на околната среда трябва да е стабилна между 20-25℃, с контролирани колебания в рамките на ±1℃. Относителната влажност обикновено се изисква да бъде под 55%.

Захранване:

Сгъстен въздух: Необходим е чист, сух и безмаслен сгъстен въздух с висока чистота и налягане от 0,5 MPa или по-високо.

Електричество: Необходимо е трифазно захранване, съответстващо на изискванията за захранване на оборудването.

Охлаждаща вода: За охлаждане на шпиндела е необходима дейонизирана вода (DI вода) със стабилен дебит и постоянна температура. Температурата на водата обикновено трябва да съответства на стайната температура с минимални температурни колебания.

Редовната проверка и подмяна на шлифовъчните дискове, почистването на вакуумните патронници и поддръжката на пневматичния шпиндел са от решаващо значение за удължаване на живота на оборудването и осигуряване на добив на обработка.

В обобщение, DISCO DFG8541 е зряло и надеждно решение за изтъняване на 8-инчови пластини. То постига водеща в индустрията производителност в основните си области и е цялостно оптимизирано за автоматизация, чистота и лекота на използване, за да отговори на нуждите на съвременното производство.