DISCO мелница за вафли DGP8761

DISCO DGP8761 е напълно автоматизирана машина за шлифоване/полиране, представляваща върха на своята технология, проектирана специално за високоефективни процеси на изтъняване на 12-инчови (300 мм) пластини. Ключовата ѝ характеристика е способността ѝ да завърши целия процес – от грубо шлифоване и фино шлифоване на задната страна до отстраняване на напрежението – в една непрекъсната операция, като последователно обработва пластини до ултратънки дебелини под 25μm.

Като официално подобрение на добре познатия и най-продаван DGP8760, той се гордее с изключителни продажби сред водещите производители в световен мащаб и е ключов елемент от оборудването за усъвършенствани опаковки, захранващи устройства и други процеси, изискващи производство на ултратънки пластини.

Хардуерно ядро: Изобретателността и еволюцията на триосния дизайн

Ядрото на еволюцията в производителността на DGP8761 се крие в неговата прецизна архитектура с три оси (3 оси) и четири захватни маси (4 захватни маси).

Триосно разделение на труда:

Ос Z1 (грубо шлифоване): Отговаря за бързото отстраняване на по-голямата част от материала от задната страна на пластината.

Z2 ос (фино шлайфане): Извършва фино шлайфане на повърхността на пластината, постигайки прецизен контрол на дебелината.

Z3 Axis (гъвкава обработка): Това е ключово за неговата гъвкавост. Потребителите могат да избират сухо полиране (освобождаване на напрежението), ултрапрецизно шлайфане (Poligrind/UltraPoligrind) или специални CMP модули за постигане на премахване на напрежението, премахване на поглъщащи частици и други функции, в зависимост от изискванията на процеса.

Новоразработен шпиндел: Новият шпиндел поддържа високоскоростно шлифоване, като ефективно съкращава времето за обработка на тънки пластини. Едновременно с това, оптимизираното транспортно оформление намалява времето без обработка, подобрявайки цялостната ефективност.

Спецификации за по-висока производителност на шпиндела:

Ос Z1/Z2: Мощността на шпиндела е увеличена до 6,3 kW, скорост 1000 - 4000 мин⁻¹, ход по оста Z 120 мм.

Ос Z3: Мощност на шпиндела 5,3 kW, ход по оста Z 65 мм.

Точност по оста Z: Вертикална скорост на подаване от 0,0001 - 0,08 mm/s, минималният ход от 0,1 μm осигурява точност на обработката.

Подробни спецификации Преглед

Категория на параметъра | Специфични показатели

Приложим размер на детайла: Φ200 мм / Φ300 мм (8 инча / 12 инча)

Метод на шлифоване: Z1/Z2 Ос: Шлифоване с подаване (въртене на пластината)

Ос Z3: Аномално шлифоване при подаване (специално въртене на пластината)

Конфигурация на шпиндела: Три шпиндела (3 оси)

Конфигурация на работната маса: Четири патронни маси (4 патронни маси), използващи система от въртящи се маси

Инструменти за шлайфане/полиране: Z1/Z2 Ос: Φ300 мм диамантен шлифовъчен диск

Z3 ос (DP): Φ450 мм подложка за сухо полиране

Z3 ос (CMP): Φ450 мм CMP полираща подложка

Размери на оборудването: 1690 мм (Ш) × 3315 мм (Д) × 1800 мм (В)

Модел с монтиран FOUP: × 3452 мм (D)

Тегло на оборудването: Приблизително 6700 кг (DP, конфигурация Poligrind)

Приблизително 6 900 кг (конфигурация CMP)

Изисквания за захранване: Трифазно 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

Сгъстен въздух: Над 0,5 MPa, чист и без масло, точка на оросяване под -15℃

Основни функции и предимства на процеса:

Основната конкурентоспособност на DGP8761 се крие в успешното интегриране на множество процеси, постигайки ефект "1+1>2".

Решение на едно гише: Чрез вътрешно роботизирано рамо, пластината може автоматично да завърши целия процес на грубо шлайфане → фино шлайфане → сухо полиране → почистване и сушене, като по този начин се избягва рискът от фрагментация, причинена от многократна обработка, и значително се съкращава производственият цикъл. DGP8761 може постоянно да постига обща вариация на дебелината (TTV) по-малка от 3μm, като същевременно поддържа висока якост на огъване.

Сухо полиране и улавяне на лепкава материя (получаване): Това е една от най-аплодираните характеристики на DGP8761. Той използва сухо полиране по ос Z3 за премахване на слоя от напрежение при шлифоване, което е не само по-екологично от традиционните мокри процеси (без използване на химикали или вода), но също така създава контролируем слой с микроповреди вътре в пластината, действащ като „гетерна зона“ за улавяне на метални примеси, подобрявайки добива и надеждността на чипа. Уникалната микроабразивна технология UltraPoligrind на DISCO запазва гетерния ефект, като същевременно постига непостижима преди това висока якост на чипа.

Гъвкава конфигурация и екосистема от приложения

DGP8761 не е изолирано устройство; той може безпроблемно да се интегрира в различни системи за автоматизация.

Разширяване на свързаността: Може да се свърже с многофункционалното устройство за закрепване на пластини DFM2800 за директно закрепване на DAF (Die Attach Film) след изтъняване. Може да се използва и за изграждане на усъвършенствани технологични системи като DBG (Dicing Before Grinding) за подобряване на добива на тънки пластини.

Поддръжка и резервни части: Съвместим с DISCO. Серията 8000 поддържа висока съвместимост, като ключови компоненти като шлифовъчни дискове и шлифовъчни плочи са взаимозаменяеми, което улеснява поддръжката и намалява разходите за резервни части.

Софтуер и работа: Използвайки графичен потребителски интерфейс, базиран на усъвършенстваната технология от серия 8000, унифицираната оперативна логика съкращава времето за обучение на оператора.

Пазарна позиция и приложения: DGP8761 се използва широко в съвременни корпуси (HPC/AI/3D IC), силови полупроводници и MEMS устройства. DISCO също така предоставя услуги за леене на кубчета и шлифоване, използвайки това оборудване в своите глобални технологични центрове (като например в Китай и Сингапур).

Съображения за поддръжка: За да се гарантира точност, е от съществено значение стриктно спазване на изискванията на DISCO за околната среда (температура и влажност в рамките на ±1°C, чист сгъстен въздух) и консумативи. Освен това логиката на движение на оста Z3 (включително 5 последователности на обработка и параметри на позицията) влияе пряко върху добива на обработка; неправилните настройки на параметрите могат да доведат до проблеми с процеса.

Резюме: DISCO DGP8761 е висококачествена шлифовъчна/полираща машина, която перфектно съчетава висока прецизност, висока ефективност и гъвкавост на процеса. Тя не само проправя пътя за авангардно производство на ултратънки чипове, но и, чрез мощната си системна мащабируемост, се превръща в основен компонент в изграждането на съвременни интелигентни фабрики за полупроводници. За водещите производители, търсещи най-висока производителност и стабилност на процеса, тя представлява значителна стратегическа инвестиция.