SRM Z208 je plně automatizovaný testovací systém na úrovni čipů vyráběný společností SRM Integration. Namísto manipulace s zabalenými čipy je navržen k provádění kontroly kvality a testování na holých čipech umístěných na polovodičových waferech. Integrací řady úkolů kontroly kvality do jednoho systému umožňuje Z208 efektivnější a přesnější výrobní proces.
Technické specifikace a parametry
Mezi klíčové technické parametry zařízení patří:
Typ zařízení: Testovací manipulátor na úrovni matrice
Maximální propustnost (UPH): Až 36 000 jednotek/hodinu
Průměrná doba mezi poruchami (MTBF): > 200 hodin
Průměrná doba mezi asistencemi (MTBA): > 60 minut
Kompatibilní typy pouzder: QFN, MLP, SOIC, SOT23, SC70, SOT89, SOT223
Podporované velikosti čipů: 1,4x1,4 (TDFN), 2x2 (QFN), 2,5x3,2 (QFN) atd.
Způsob krmení: Vibrační miska nebo sonda
Výstupní metoda: Páska a cívka
Požadavky na přívod vzduchu: Minimálně 5 barů (70 PSI); průtok 300–500 l/min
Požadavky na napájení: 208/415 V AC, třífázové
Rok výroby: Jednotky obvykle pocházejí z roku 2013 nebo 2015
Princip fungování
SRM Z208 provádí testování prostřednictvím přesné koordinace hardwaru a softwaru:
Polohování pomocí vizuální kontroly: Kamery s vysokým rozlišením zachycují snímky destičky umístěné na pracovní plošině.
Přesné měření: Na základě obrazových dat využívají robotická ramena specializované inspekční komponenty – jako jsou sondy a čepele – k provádění přesných kontrol a měření destičky.
Analýza dat: Palubní počítač analyzuje naměřená data, aby určil, zda destička splňuje standardy kvality.
Detekce vad: Zařízení detekuje drobné povrchové vady na destičce, jako jsou důlky nebo nerovnosti.
Celý proces je řízen koordinací dvou typů softwaru: softwaru pro zajištění kvality (pro detekci vad) a automatizačního softwaru (pro řízení úloh robotického ramene). Klíčové vlastnosti a výhody
Vysoká přesnost a rychlost: Dosahuje propustnosti až 36 000 jednotek za hodinu (UPH), což zajišťuje vysokou produktivitu a zároveň zachovává kvalitu kontroly díky kamerám s vysokým rozlišením a přesným kalibračním nástrojům.
Plně automatizované a inteligentní: Integruje vidění, měření, analýzu a třídění do plně automatizovaného pracovního postupu, čímž minimalizuje manuální zásahy a lidské chyby.
Výkonné řídicí jádro: Vybaveno 8osým regulátorem pohybu a s podporou integrace EtherCAT umožňuje efektivní řízení celé výrobní linky.
Flexibilita a přizpůsobivost: Nabízí flexibilní design, který umožňuje budoucí vylepšení nebo úpravy.
Podpora více pouzder: Schopnost pracovat s různými typy pouzder, včetně QFN, MLP, SOIC a SOT23.
Všestranné možnosti vstupu/výstupu: Podporuje podávání z vibrační misky nebo trubice, stejně jako výstup z pásky a cívky.
Scénáře aplikací
SRM Z208 slouží především pro front-end proces výroby polovodičů a poskytuje klíčovou hodnotu v testování na úrovni waferů a řízení výtěžnosti:
Výroba destiček: Testuje každý čip na destičce před nařezáním a zabalením, což umožňuje včasné odhalení vadných čipů.
Zajištění kvality: Slouží jako klíčový krok kontroly kvality ve výrobním procesu a zajišťuje, že do následných, nákladných fází balení postupují pouze kvalifikované razidla.
Výzkum, vývoj a validace: Vhodné pro charakterizaci a validaci nových produktů na úrovni destiček.
Shrnutí
Stručně řečeno, SRM Z208 je vysokorychlostní, plně automatizovaný třídič na úrovni čipů, navržený speciálně pro testování polovodičových destiček. Díky provádění přesné kontroly čipů před zabalením slouží jako zásadní nástroj pro zajištění výtěžnosti čipů a kontrolu výrobních nákladů. Jeho působivá propustnost 36 000 UPH a široká kompatibilita s různými typy pouzder z něj činí silný nástroj v procesu testování destiček.
