Nitto DR3000III puolijohdekiekkojen kiinnityslaite

Tämä on yksityiskohtainen esittely Nitto Denkon NEL SYSTEM™ DR3000III -laitteesta. Se on täysin automatisoitu kiekkojen suojateipin kiinnityskone, jolla on keskeinen rooli puolijohdevalmistuksessa.

Ydinkokoonpano ja tekniset tiedot

DR3000III:n tärkeimmät tekniset tiedot ovat seuraavat:

Tuotteen tekniset tiedot/parametrit

Laitetyyppi: Täysin automaattinen suojateipin asetin 300 mm:n kiekoille

Soveltuva kiekon koko: 300 mm (12 tuumaa) / 200 mm (8 tuumaa)

Sovellettava kiekon paksuus: 400 μm tai paksumpi

Läpäisykyky: 68 kiekkoa/tunti

Teipin levitystekniikka: Integroitu jännityksetön levityksen ohjausmekanismi

Yhteensopivat standardit: Täyttää CE-merkinnän ja SEMI S2/S8 -spesifikaatiot

Huomaa: Yllä olevat tiedot voivat muuttua kiekon, teipin ja muiden olosuhteiden mukaan, ja ne voivat sisältää myös valinnaisia ​​ominaisuuksia.

Tärkeimmät ominaisuudet ja edut

DR3000III:n tehokkaat ominaisuudet erottavat sen tarkkuusvalmistuksen joukosta:

Jännityksetön levitystekniikka: Tämä on yksi sen keskeisistä teknologisista eduista. Nauhan jännityksen minimointi ennen laminointia hillitsee tehokkaasti kiekkojen käyristymistä takapuolen hionnan jälkeen, mikä on ratkaisevan tärkeää suurten, erittäin ohuiden kiekkojen käsittelyssä.

Vähäjännitysinen laminointi: Laitteessa on matalajännitysinen liimaus ja liimajännityksen hallinta, mikä vähentää merkittävästi kiekkokuvion vaurioitumisriskiä laminoinnin aikana.

Kiekkojen yhteensopivuus: Vaikka se on suunniteltu 300 mm:n kiekoille, se on taaksepäin yhteensopiva 200 mm:n kiekkojen kanssa ja tukee erikoisprosesseja lisäominaisuuksilla, kuten lämmitetyllä istukkapöydällä (enintään 100 °C) ja lämmitetyillä teloilla (enintään 60 °C). Lisäksi se käsittelee tehokkaasti kuoppaisia ​​kiekkoja ja kiekkoja, joissa on tietty määrä vääntymää.

Korkea automaatio ja älykkyys: Laite on varustettu:

Automaattinen materiaalinkäsittely: Tukee edestä avautuvia kiekkokasetteja (FOUP) / avoimia kasetteja, ja siinä on sisäänrakennettu robottikäsivarsi täysin automatisoitua lastausta ja purkua varten.

Tarkka kohdistus: Käyttää kosketuksetonta CCD-kohdistusjärjestelmää laminoinnin tarkkuuden varmistamiseksi.

Älykäs valvonta: Varustettu lokitiedostotoiminnolla tietojen jäljitettävyyttä varten; nauhan roikkumisen tunnistus estää toimintahäiriöt. Valinnainen kiekkojen kartoitusskanneri mahdollistaa automaattisen saapuvan materiaalin tarkastuksen.

Täyttää alan korkeimmat standardit: Laite täyttää SEMI S2/S8 -turvallisuus- ja ympäristöstandardit, ja se on saatavana valinnaisilla SECS/GEM-tiedonsiirtoprotokollilla saumatonta integrointia varten nykyaikaisiin puolijohdetehtaiden automaatiojärjestelmiin.

Käyttäjäystävällinen käyttö: Suuri kosketusnäyttö yhdistettynä reseptitoimintoon tekee käytöstä yksinkertaista ja intuitiivista. Käyttäjien tarvitsee vain avata vastaavan tuotteen resepti kaikkien parametrien asetusten suorittamiseksi automaattisesti.

Toimintaperiaate: Ennen vastahiontaa DR3000III kiinnittää suojateipin tarkasti kiekon kuvioituun puoleen jännityksettömällä menetelmällä estääkseen kiekon etupuolen mekaaniset vauriot tai kemiallisen kontaminaation myöhemmän suurnopeushionnan aikana.

Sovellusalueet: DR3000III:a käytetään pääasiassa seuraavilla keskeisillä alueilla:

Puolijohdevalmistus: Logiikkasirut ja muistisirut (DRAM, NAND Flash jne.): Suojaa kiekon etupuolen herkkää piirirakennetta edistyneissä prosesseissa. Edistynyt pakkaus: Tarjoaa kiekkojen suojauksen yhä suuremmissa 300 mm:n kiekkotason pakkausprosesseissa (Fan-In WLP, Fan-Out WLP jne.).

MEMS ja anturit: Suojaa mikromekaanisia rakenteita ja anturialueita taustapuolen ohennusprosessien aikana.

Tehopuolijohdelaitteet: Käsittelee kiekkoja teholaitteille, kuten IGBT:ille ja MOSFET:eille, vähentäen päällekkäisresistanssia ja parantaen lämmönhukkaisuutta ohentamalla.

Yhteistyö muiden laitteiden kanssa: Puolijohdepakkauslinjoilla DR3000III toimii tyypillisesti yhdessä seuraavien laitteiden kanssa:

Yhteistyö kalvonkiinnityslaitteiden kanssa: Toimii yhdessä Nitto NEL-MA3000-III -teipin poistolaitteen kanssa ennen ohennusprosessia ja sen jälkeen. DR3000III kiinnittää ensin suojateipin suojaamaan kiekkoa vaurioilta ohennuksen aikana; ohennuksen jälkeen NEL-MA3000-III poistaa suojateipin tarkasti varmistaen ultraohuen kiekon eheyden ja turvallisuuden koko prosessin ajan.

Yhteistyö kiillotuslaitteiden kanssa: Tekee tiivistä yhteistyötä kiillotuskoneiden kanssa suojaustoimenpiteinä. Kun DR3000III on päällystänyt kiekot suojakalvoilla, ne syötetään hiomakoneeseen nurjapuolen ohentamista varten, mikä varmistaa luotettavasti hiontaprosessin turvallisuuden ja vakauden.

Kaiken kaikkiaan Nitto DR3000III on pitkälle erikoistunut, automatisoitu ja tehokas kiekkojen suojausjärjestelmä. Jännityksettömän kalvolaminointitekniikkansa ansiosta se ratkaisee tehokkaasti yleiset vääntymis- ja lohkeiluongelmat, joita esiintyy suurten kiekkojen takapuolen ohennusprosessin aikana. Sillä on keskeinen rooli puolijohdeteollisuudessa, sillä se on kriittisen tärkeä laite edistyneen siruvalmistuksen tuoton ja luotettavuuden varmistamiseksi. Tarjouspyyntöjä tai teknisiä tiedusteluja varten ota yhteyttä suoraan Nitton virallisiin edustajiin tai valtuutettuihin jakelijoihin Kiinassa.