Ceanglóir sliseanna smeach ASM AMICRA NANO

Is nascóir sliseanna smeach den scoth é AMICRA NANO ó ASM, atá thar a bheith ardchruinneas. Déanta na fírinne, ní nascóir sliseanna smeach simplí amháin atá ann, ach gléas a chomhcheanglaíonn feidhmeanna nasctha bás agus nasctha sliseanna smeach araon, ag láimhseáil próisis nasctha éagsúla go solúbtha.

Gnéithe Lárnacha agus Sonraíochtaí Teicniúla AMICRA NANO

Cur Síos Mionsonraithe ar na Gnéithe

Cineál Trealaimh: Nascóir Báis Ultra-chruinneas / Nascóir Sliseanna Fillte

Cruinneas Croí: Cruinneas Socrúcháin/Ailínithe: ±0.2 µm @ 3σ

Modhanna Nasctha: Nascadh Hibrideach, Nascadh Eoiteicteach, Nascadh Léasair, Nascadh Teirmeastatach (TCB), Leigheas UV

Raon Brú Nasctha: 0.1 N go 20 N (thart ar 10g go 2kg)

Méid Sliseanna: Láimhseálann sé sliseanna an-bheag, m.sh., 0.1mm x 0.1mm

Méid an tSubstráit: Láimhseálann sé foshraitheanna suas le 300mm x 300mm

Ráta Táirgthe (UPH): Thart ar 200-400 sceallóga san uair

Córas Oibriúcháin: Comhéadan Windows

Toisí Trealaimh: Achar amháin 2.23 x 1.0 m (thart ar 7.3 x 3.3 troigh)

Timpeallacht Próisis Feistithe le scagairí HEPA agus gineadóir ian, rud a chinntíonn timpeallacht seomra glan ard-íonachta.

Tuilleadh sonraí teicniúla agus comparáid le samhlacha comhchosúla

Prionsabal

Eascraíonn cruinneas thar na bearta an AMICRA NANO óna dhearadh uathúil: tá ceithre chóras íomháithe ardtaifigh socraithe ar bhonn eibhir nádúrtha, agus bogann córais rialaithe gluaisne eile timpeall na gceamaraí seasta seo. I dteannta maolaithe creathadh gníomhach agus córas ailínithe dinimiciúil, cinntíonn sé seo socrúchán cruinn.

Limistéir Iarratais

Tá sé deartha le haghaidh feidhmchlár pacáistithe chun cinn a bhfuil riachtanais chruinnis thar a bheith ard acu, go háirithe i bhfótónaic sileacain, pacáistiú gléasanna optúla, sliseanna-go-vaiféar, agus comhtháthú IC 2.5D/3D.

Buntáistí Próisis

Chomh maith le cruinneas socrúcháin thar a bheith ard, tacaíonn an AMICRA NANO le próisis nasctha eitecticeacha AuSn ardluais agus tá cumais nasctha eitecticeacha in situ aige, rud a fheabhsaíonn an tréchur agus cáilíocht an naisc go héifeachtach.

Samhlacha Díorthacha Eile

Chomh maith leis an NANO, áirítear leis an tsraith ASMPT AMICRA:

NOVA Pro: Tacaíonn sé freisin le nascadh smeach-sliseanna le cruinneas ±1.0 µm, rud a bhaineann cothromaíocht amach idir luas agus cruinneas.

AFC Plus: Is meaisín ceangail bás ilchuspóireach é seo a bhfuil cruinneas ±1.5 µm aige, atá deartha chun cur leis an tsraith NANO ardleibhéil.

Mar achoimre, tá an ASM AMICRA NANO deartha chun freastal ar na riachtanais phacáistithe is déine. Murab ionann agus trealamh a thugann tús áite d’éifeachtúlacht, díríonn sé ar chruinneas foircneach ±0.2 µm a bhaint amach, ag freastal ar T&F agus ar tháirgeadh ard-mheascáin, ísealtoirte i réimsí ceannródaíocha ar nós fótóinic sileacain agus ríomhaireacht AI.