מערכת ציפוי אלקטרוליטי של מוליכים למחצה של Applied Materials Nokota™ ECD

Nokota™ ECD של Applied Materials היא מערכת שיקוע אלקטרוכימית בעלת פרודוקטיביות גבוהה שתוכננה במיוחד עבור אריזות מתקדמות ברמת פרוסות סיליקון.

**ליבת המערכת: יותר מסתם ציפוי אלקטרוליטי - פלטפורמת תהליך מקיפה**

מערכת נוקוטה אינה רק כלי לציפוי אלקטרוליטי; היא מציעה חבילה מקיפה של פתרונות המותאמים להתמודדות עם האתגרים הספציפיים הטמונים בתהליכי עבודה מתקדמים של אריזה. המאפיינים הטכניים העיקריים שלה כוללים:

**תמיכה רחבה במתכות ופלים:** תומך בהפקדת מגוון רחב של מתכות - כולל נחושת, סגסוגות בדיל-כסף, ניקל, זהב, בדיל ופלדיום - ותואם לפלים בגודל 150 מ"מ, 200 מ"מ ו-300 מ"מ.

**מדרגיות גמישה של המערכת:** כוללת עיצוב ייחודי של תצורה בתא יחיד, השונה מארכיטקטורות מסורתיות של תאים מזווגים. המערכת ניתנת להרחבה בצורה חלקה ממחקר ופיתוח וניסויים לייצור בנפח גבוה, וניתן להגדיר אותה מחדש במהירות תוך יום אחד - מה שהופך אותה למתאימה באופן אידיאלי לסביבות ייצור הדורשות תגובה זריזה לשינויים בשוק.

**שלושה יתרונות מרכזיים**

על פי העמדה הרשמית של Applied Materials, היתרונות התחרותיים המרכזיים של מערכת Nokota מרוכזים בשלושת התחומים הבאים:

**יכולות הגנה ללא תחרות מפני פרוסות: SafeSeal™ ו-HotSwap™**

בתהליכי אריזה, הגנה על הוופלים מפני זיהום חלקיקים היא בעלת חשיבות עליונה. מערכת נוקוטה מטפלת בנקודת כאב קריטית זו באמצעות שתי טכנולוגיות חדשניות:

**טכנולוגיית SafeSeal™‎:** טכנולוגיית הגנה אוטומטית לחלוטין, ראשונה בתעשייה, על פרוסות סיליקון. על ידי ביצוע בדיקות שלמות ואקום על הפרוסה לפני העיבוד - ושמירה על הגנה לאורך כל רצף הציפוי של מתכת יחידה או מרובה - היא מאפשרת זרימת עבודה של "איטום יחיד", ובכך מפחיתה ביעילות את הסיכון לנזק הקשור למחזורי איטום ופריקה חוזרים ונשנים.

**טכנולוגיית HotSwap™‎:** מאפשרת החלפה אוטומטית של רכיבי איטום מבלי להפריע לייצור, ובכך מבטלת באופן מהותי את זמן השבתת הציוד הנגרם עקב דרישות תחזוקת איטום.

**פרודוקטיביות מובילה בתעשייה**

**יעילות כלכלית וזמינות:** שילוב הטכנולוגיות הנ"ל מאפשר למערכת נוקוטה לספק 330 שעות ייצור נוספות בשנה, ובמקביל להפחית את שיעורי גריטת הוופלים באמצעות יכולות משופרות של הגנה על הוופלים.

**תאי תהליך בעלי ביצועים גבוהים (VMax™):** תאי התהליך VMax™ כוללים הובלת מסה אופטימלית, המאפשרת קצבי ציפוי גבוהים יותר ומישוריות משופרת. יתר על כן, כל תא משלב פונקציית ניקוי במקום כדי למזער זיהום חלקיקים.

**יכולות תצורה מהירות וגמישות**

זהו יתרון משמעותי נוסף שמקנה העיצוב המודולרי של המערכת. היא לא רק תומכת במעבר חלק בין גדלי פרוסות הנייר השונים שהוזכרו לעיל, אלא גם מאפשרת מעברים מהירים בין שיטות אריזה שונות (כגון bumping, RDL, TSV וכו') - יכולת חיונית בנוף של ימינו של סוגי אריזה מגוונים.

מפרטים עיקריים ותרחישי יישום

מפרט טכני במבט חטוף

סוג ציוד: מערכת שקיעת אלקטרוכימית לאריזה ברמת פרוסות פרוסות בעלת פרודוקטיביות גבוהה

גדלי פרוסות נתמכים: 150 מ"מ, 200 מ"מ, 300 מ"מ; תומך בעיבוד סימולטני של שני גדלים שונים באותה מערכת

מתכות נתמכות: נחושת (Cu), בדיל-כסף (SnAg), ניקל (Ni), זהב (Au), פלדיום (Pd) וכו'.

יישומי תהליך: התגמשות (עמוד/התגמשה), שכבת פיזור מחדש (RDL), מילוי דרך סיליקון (TSV)

מאפיינים עיקריים: הגנה אוטומטית לחלוטין מפני פרוסות ופלים של SafeSeal™‎, החלפה חמה של טבעת איטום HotSwap™‎, תא בעל ביצועים גבוהים VMax™‎

זמינות/פרודוקטיביות: מספק מעל 330 שעות ייצור נוספות בשנה; מציע את עלות הבעלות הנמוכה ביותר בתעשייה

אזורי יישום יעד

אריזות מתקדמות: עמודים/בליטות, שכבות חלוקה מחדש (RDL), ומעברים דרך סיליקון (TSV)

טכנולוגיות אריזה: אריזות 2.5D/3D, אריזות Fan-Out, אריזות בקנה מידה שבבים ברמת פרוסה (WLCSP) ועוד.

יישומים מתפתחים: מתן תמיכה באריזה עבור התקני IoT, חיישנים, מערכות תקשורת 5G, התקני חשמל ועוד.

מחשוב עתיר ביצועים: ממלא תפקיד מרכזי בייצור של מיקרו-בליטות עבור זיכרון בעל רוחב פס גבוה (HBM).

תַקצִיר

מערכת Nokota™ ECD עונה בדיוק על הדרישות הדחופות של אריזות מתקדמות לתפוקה גבוהה, גמישות גבוהה ופרודוקטיביות גבוהה. באמצעות טכנולוגיות כמו SafeSeal™ ו-HotSwap™, היא פותרת את נקודות הכאב של האמינות הטמונות בתהליכים מסורתיים; יתר על כן, תוך מינוף הפלטפורמה המודולרית הגמישה שלה, היא מספקת ליצרני שבבים פתרון המספק יתרונות עלות ויעילות כאחד בנוף שוק מורכב ומשתנה ללא הרף.