מכונת סימון לייזר ופלים ThinkLaser SigmaClean

ThinkLaser SigmaClean היא מערכת סימון לייזר אוטומטית לחלוטין עם "סימון רך" שתוכננה במיוחד עבור פרוסות ופלים בגודל 100 מ"מ עד 200 מ"מ, ועומדת במלואה בתקני חדר נקי Class 1. המשימה העיקרית שלה היא למנף את טכנולוגיית הלייזר הרשומה כפטנט כדי לספק לפלסטים מוליכים למחצה סימונים יעילים, עמידים וקריאות ביותר - מבלי ליצור זיהום חלקיקים - ובכך לאפשר מעקב אוטומטי לאורך כל מחזור החיים של הפרוסות.

**עקרונות טכניים**

נקודות החוזק העיקריות של SigmaClean טמונות בטכנולוגיית הניקיון הנשלטת על ידי מקור המוצר ובתכנון החומרה היציב והמדויק שלה.

**טכנולוגיית SuperSoftMark® רשומה כפטנט:** זהו המבדיל העיקרי שמייחד את SigmaClean מציוד אחר. על ידי שליטה מדויקת באנרגיית הלייזר, הוא משיג סימון "ללא פסולת" אמיתי. תכונה זו מבטלת באופן מהותי את הסיכון לזיהום חלקיקים, ומאפשרת פריסה בטוחה של המערכת בסביבות ייצור קדמיות (FEOL) בהן דרישות הניקיון מחמירות ביותר.

**לייזר מצב מוצק יציב ביותר המופעל על ידי דיודה:** המערכת משתמשת בלייזר מצב מוצק המופעל על ידי דיודה, המוגן בפטנט, המאופיין ביציבות יוצאת דופן בין פעימות. זה מבטיח רמה גבוהה של עקביות בעומק ובעגולות של כל נקודה מסומנת, ובכך מבטיח את היציבות וחזרתיות של איכות הסימון.

**מערכות אופטיות ואוטומציה חזקות:** המכונה כולה כוללת עיצוב אוטומטי לחלוטין, תומכת בפרוטוקולי תקשורת אוטומציה של מפעל SECS II/GEM, ומשתלבת בצורה חלקה עם מערכות אוטומטיות לטיפול בפרוסות מזון (wafers) רגילות, כגון תרמילי וואפר SMIF (Standard Mechanical Interface).

**יתרונות ותכונות מרכזיות**

יתרונותיה של SigmaClean חורגים מעבר ליכולות הסימון המתקדמות שלה, אלא גם לערך המוחשי שהיא מספקת למפעלי ייצור ופלים.

**ניקיון ללא תחרות:** עומד בדרישות תאימות לחדרים נקיים Class 1 (תקן בינלאומי ISO Class 3), מה שהופך אותו לבחירה המועדפת עבור מפעלי ייצור פרוסות קדמיות (Fabs) עם סטנדרטים תובעניים ביותר של סביבה נקייה.

**תפוקה גבוהה וחסכון בעלות:** תהליך הסימון הרך - שפותח במיוחד לסימון פרוסות ופלים מלוטשות בסביבות חדרים נקיים וכעת הוא סטנדרט בתעשייה - משמש מערכת זו כדי לספק פתרון חסכוני ביותר.

**איכות סימון עקבית ויכולת מעקב:** יציבות הפולסים יוצאת הדופן של הלייזר היא המפתח להשגת עומק נקודות ועגול אחידים, גורם קריטי בהגברת שיעורי הזיהוי של מערכות ראייה ממוחשבת עוקבות (זיהוי תווים אופטי, OCR). בו זמנית, המערכת יוצרת סימנים קבועים וקריאים, ומספקת יכולת מעקב לאורך כל שלב בייצור.

גמישות נרחבת ביישום: ניתן למקם קבוצות סימון מרובות בכל כיוון על פני הוופל, כאשר מיקומי הסימון מוגבלים לאזור טבעתי בטווח של 25 מ"מ מקצה הוופל.

מפרט טכני ותפעול/תחזוקה

קטגוריית מפרט | פרמטרים מפורטים ותיאור

סיווג ציוד | אוטומטי לחלוטין, תואם לחדר נקי ISO 3 / Class 1, מערכת סימון רכה ופלים 100-200 מ"מ

גודל פרוסה | תמיכה סטנדרטית עבור 100 מ"מ - 200 מ"מ (4-8 אינץ')

סוג לייזר | לייזר מצב מוצק Sigma100 IR עם שאיבת דיודה

טכנולוגיית סימון | SuperSoftMark® פטנט (סימון רך ללא פסולת)

מיקום סימון | כל כיוון בתוך האזור הטבעתי של 25 מ"מ בקצה הוופל

ממשק תקשורת | SECS II/GEM, ממשק מארח SEMI-standard

הובלה/קסטה | 3 תחנות קסטה פתוחות; מתאם פוד SMIF אופציונלי בגודל 200 מ"מ

תכונות אופציונליות | קריאת OCR/ברקוד וסימון מחדש

מערכת תוכנה | ממשק משתמש מבוסס Windows®

תאימות והסמכה | עומד בתקנים SEMI S2/S8, CE ותקנים אחרים

אספקת חשמל ואוויר | ספק כוח תעשייתי חד פאזי סטנדרטי 220V ואוויר דחוס נקי

SigmaClean תוכנן גם תוך מחשבה על קלות תחזוקה:

**קלות תחזוקה:** תכנון המערכת מאפשר תחזוקה יומית פשוטה; בדיקות שגרתיות - כגון ניקוי עדשות - ניתנות להשגה תוך כ-5 דקות. יתר על כן, הציוד כולל יכולות אבחון עצמי יומיות אוטומטיות ומספק הנחיות ברורות בנוגע לפרוטוקול תחזוקה במקרה של תקלה, ובכך מאפשר תחזוקה מתוזמנת ביוזמת המשתמש.

**בטיחות וניקיון:** תכנון המכונה הכולל עומד בתקני בטיחות בינלאומיים (למשל, SEMI S2/S8, CE וכו') ומצויד במערכת שאיבת אבק משולבת, מה שמבטיח עוד יותר את הבטיחות וההיגיינה של סביבת הייצור.

**פונקציות מפתח ותרחישי יישום**

**ייצור פרוסות סיליקון קדמי:** מתאים לפרוסות סיליקון העשויים מחומרים כגון סיליקון, SiC ו-GaAs, בגדלים הנעים בין 100 מ"מ ל-200 מ"מ. על ידי חריטה של ​​מזהה ייחודי בשלבי הייצור הראשוניים, המערכת מאפשרת מעקב אחר איכות מקצה לקצה ובקרת תהליכים סטטיסטית (SPC).

**אריזה מתקדמת:** מספקת מזהי מעקב קריטיים בתהליכי אריזה ברמת פרוסה (WLP) או תהליכי ופלים משוחזרים.

**מחקר ופיתוח וייצור בקבוצות קטנות:** העיצוב הגמיש והאוטומטי שלו הופך אותו למתאים באופן אידיאלי לסביבות מחקר ופיתוח וייצור פיילוט המאופיינות בייצור בנפח נמוך ובתמהיל גבוה.

**סיכום והשוואה**

לסיכום, ה-ThinkLaser SigmaClean הוא ציוד שעומד בסטנדרטים מובילים בתעשייה מבחינת ניקיון, יציבות ואוטומציה. על ידי מינוף טכנולוגיית SuperSoftMark® הרשומה כפטנט, הוא פותר ביעילות את נקודת הכאב המרכזית - זיהום חלקיקים - שלעתים קרובות קשור לשיטות סימון מסורתיות, ובכך מבסס את עצמו כנקודת ייחוס בתחום "הסימון הרך" עבור פרוסות בגודל 4 עד 8 אינץ'. כדי לקבל הבנה אינטואיטיבית יותר של מיקומו בתוך קו המוצרים, אנא עיינו בהשוואה הבאה עם ה-SC300 - מכשיר נוסף לסימון רך:

**תכונה** | **SigmaClean** | **SC300**

**מיקום ראשוני** | מערכת סימון רך אוטומטית לחלוטין עבור פרוסות 100-200 מ"מ (4-8 אינץ') | מערכת סימון רך אוטומטית לחלוטין עבור פרוסות 300 מ"מ (12 אינץ')

**יישום שוק** | מכוון למפעלי ופלים מוליכים למחצה ומפעלי אריזה המטפלים בפרסים בגודל 8 אינץ' ומעלה; משמש כפתרון המוביל בפלח שוק זה | אומץ באופן נרחב על ידי כל יצרני התקנים משולבים (IDMs) של 300 מ"מ ובתי יציקת ופלים

**מאפיינים טכניים** ​​| תואם לחדר נקי Class 1; משתמש בטכנולוגיית SuperSoftMark® רשומה כפטנט להשגת סימון ללא פסולת | משתמש גם בטכנולוגיית סימון רך, המספקת את התאימות, הניקיון, איכות הסימון והאמינות הנדרשים לייצור המוני של 300 מ"מ

**מערכת הובלה** | בדרך כלל מוגדר עם 3 תחנות קסטה פתוחות; תרמילי SMIF זמינים כאופציה | בדרך כלל תואם לתרמילי POPS מאוחדים עם פתיחה קדמית (FOUP); תומך במערכות OHT (הובלת הרמה עילית)

**מצב בתעשייה** | הפתרון המוביל בתעשייה לסימון רך על פרוסות ופלים בגודל 4-8 אינץ' | הסטנדרט בתעשייה לסימון רך במפעלי פרוסות ופלים בגודל 300 מ"מ, עם בסיס התקנות עצום (מעל 140 יחידות)