מנקה פרוסות מסך SU-3200

ה-SCREEN SU-3200 היא מערכת ניקוי פרוסה בודדת בגודל 300 מ"מ פורצת דרך בתעשיית ייצור המוליכים למחצה. הודות לתפוקה המעולה וטכנולוגיית הניקיון המובילה שלה, היא שימשה כמודל המרכזי של SCREEN במשך זמן רב, ותמכה בייצור שבבי לוגיקה וזיכרון מ-32 ננומטר עד 7 ננומטר ואף צמתים מתקדמים יותר, ומילאה תפקיד מכריע בשוק ציוד הניקוי.

מיקום מרכזי וסקירת טכנולוגיה: המיקום המרכזי של SU-3200 הוא להגדיל משמעותית את תפוקת הניקוי של פרוסות בודדות תוך שמירה על ניקיון גבוה במיוחד, ועמידה בדרישות היעילות הקיצוניות של תהליכים מתקדמים.

תכנון תפוקה גבוהה: באמצעות ארכיטקטורה חדשנית של ארבע שכבות, ניתן להגדיר מערכת אחת עם עד 12 תאי תהליך עצמאיים, ולהשיג קיבולת עיבוד של עד 800 פרוסות ופלים לשעה (WPH), שהייתה מובילה עולמית בקרב מערכות ניקוי פרוסות ופלים בודדות באותה תקופה.

סביבת תהליך נקייה במיוחד: כדי לעמוד בדרישות המחמירות של צמתים מתקדמים ב-22 ננומטר, ה-SU-3200 מצויד בטכנולוגיית APAC (בקרת אטמוספירה מתקדמת בתהליך) הקניינית של SCREEN. על ידי אופטימיזציה של סביבת התא על פני ממדים מרובים, הוא מבטיח את הניקיון האולטימטיבי של תהליך הניקוי.

פרטים טכניים מרכזיים: כדי להשיג את המטרות הכפולות של תפוקה וניקיון, ה-SU-3200 משתמש בסדרה של עיצובים חדשניים, המפורטים בטבלה שלהלן:

מימד טכנולוגי | שם הטכנולוגיה | תפקיד ליבה ושיטת יישום

שיפור קיבולת פורץ דרך | תא קומפקטי | מפחית את נפחו של תא תהליך יחיד למחצית מנפחו של קודמו, ומאפשר לפרוס יותר תאים באותו חלל, ובכך להגדיל את התפוקה ליחידת שטח.

מערכת העברה במהירות גבוהה | מייעלת את לוגיקת ההעברה ואת מהירות הפריסה של ופלים בין תאים, תמיכה מרכזית להשגת תפוקה גבוהה של 800 ופלים לשעה (WPH).

אבטחת ניקיון | טכנולוגיית אסיה פסיפיק | טכנולוגיית תא נקי במיוחד היא מונח קיבוצי לסדרה של טכנולוגיות. תת-הטכנולוגיות המרכזיות שלה כוללות:

מיקרו-תא AMC: צמצום הנפח הפנימי של התא לשליש מקודמו, מה שמאפשר החלפת גז מהירה יותר ושיפור יעיל של ניקיון הסביבה.

מחיצת איזון זרימת אוויר ABG: משמשת לפיזור זרימת האוויר הנקייה הננשבת על ידי מסנן החלקיקים העליון בעל היעילות הגבוהה (FFU), מונעת מערבולות או אזורים מתים בתוך התא ומבטיחה הסרה יעילה של חלקיקים.

הגנה מתקדמת מפני התזות ASP: באמצעות תכנון מדויק, מזעור התזות כימיות במהלך ריסוס כימי, ומבטיח סביבת עיבוד ופלים נקייה.

זרבובית הגנה מפני אוויר APN: שימוש ב"וילון אוויר" במהלך שלב הייבוש כדי להגן על פני השטח של הוופל ולמנוע כתמי מים הנגרמים משאריות אידוי נוזלים.

אספקת כימיקלים גמישה: ניתן לארגן את מקורות הכימיקלים בצורה גמישה. מערכות הזרקה דינמית ישירה (DDI) ומערכות מסוג ארון זמינות, מה שמאפשר ללקוחות לבחור בגמישות בהתאם לדרישות התהליך הספציפיות.

קלות תחזוקה: מבנה נשלף: ניתן לשלוף את תא התהליך כמו מגירה לניקוי קל, החלפת רכיבים ועבודות תחזוקה אחרות, ובכך להפחית ביעילות את זמן ההשבתה של הציוד. תחומי יישום: החל ממחקר ופיתוח מתקדמים ועד לייצור בוגר

ל-SU-3200 מגוון רחב של יישומים, המכסים שלבים מרכזיים מרובים בייצור מוליכים למחצה.

שבבי לוגיקה וזיכרון מתקדמים: ה-SU-3200 משמש במחקר ופיתוח ובייצור של שבבים, כולל צמתים מתקדמים יותר מ-7 ננומטר, הן בתהליכי חזית (FEOL) והן בתהליכי קצה אחורי (BEOL).

חומרים ותהליכים מרכזיים של מוליכים למחצה: בין התהליכים הרבים שהיא תומכת בהם נמצא ניקוי של חומרי מוליכים למחצה מהדור השלישי כגון SiC (סיליקון קרביד) ו-GaN (גליום ניטריד).

מחקר חדשני ושיתוף פעולה בין מערכות אקולוגיות: הביצועים העוצמתיים של ה-SU-3200 הופכים אותו לבחירה של מוסדות מחקר ופיתוח מובילים ברחבי העולם. לדוגמה, IBM יישמה את ה-SU-3200 במרכז המחקר של מוליכים למחצה באולבני, ניו יורק. יתר על כן, SCREEN שיתפה פעולה עם Applied Materials והתקינה את ה-SU-3200 במרכז META שלה לפיתוח תהליכי שבבים מתקדמים יותר.

מעמד בשוק ותרומות היסטוריות

ה-SU-3200 הוא לא רק מוצר מצליח אלא גם גורם מפתח בביסוס מעמדה המוביל בשוק של SCREEN.

דומיננטיות בשוק: בעקבות הצלחת ה-SU-3200, SCREEN ביססה עוד יותר את מעמדה המוביל בתחום ציוד הניקוי. על פי נתוני SCREEN הרשמיים, נכון ליולי 2025, המשלוחים המצטברים של ציוד ניקוי מוליכים למחצה שלה עלו על 15,000 יחידות, והיא מחזיקה בנתח השוק העולמי מספר אחת במספר פלחים, כולל ניקוי פרוסות בודדות, ניקוי אצווה וניקוי ספין.

עמוד תווך של הכנסות: במשך זמן רב, ה-SU-3200 היה מוצר הכוכב של SCREEN, והכנסות עסקי ציוד הניקוי שלה היו תלויות במידה רבה בדגם זה.