מנקה ופלים של SEMES BLUEICE PRIME

מערכת BLUEICE PRIME של SEMES היא מערכת ניקוי פרוסה בודדת אוטומטית לחלוטין בגודל 300 מ"מ, המיועדת לייצור לוגיקה ושבבי זיכרון בטכנולוגיית תהליכים מתקדמת (LPT). ה-BLUEICE PRIME פותחה ויוצרה על ידי SEMES, ספקית ציוד מרכזית של סמסונג אלקטרוניקה, והיא פריט ציוד מרכזי לשיפור תפוקות הייצור ההמוני של תהליכים מתקדמים כמו 2 ננומטר.

ביצועי ליבה: איזון בין תהליכים מתקדמים וקיבולת

ביצועי תהליך מעולים: מסוגל להסיר חלקיקים ברמת 19 ננומטר, ומשפר משמעותית את אחידות האיכול ביותר מ-40%.

תכנון קיבולת יעילות גבוהה: כמערכת ניקוי פרוסות בודדות בקוטר 300 מ"מ, היא מטפלת ביותר מ-500 פרוסות לשעה (WPH), ועונה ביעילות על הדרישות של ייצור המוני בקנה מידה גדול.

מאפיינים טכניים: עיצובים חדשניים מרובים שפותחו באופן עצמאי

תהליך חדשני של חומצה זרחתית בטמפרטורה גבוהה: התהליך המרכזי שלו משתמש בחומצה זרחתית בטמפרטורה גבוהה לצורך איכול והסרת פרוסות ופלים. שליטה מדויקת בריסוס ובטמפרטורה מפחיתה ביעילות את פיזור התהליך ואת שיעורי הפגמים, ומשפרת משמעותית את תפוקת השבבים בטמפרטורה של 2 ננומטר.

**צ'אק לטמפרטורה גבוהה שפותח באופן עצמאי:** טכנולוגיה זו משפרת את אחידות הטמפרטורה במהלך חימום פרוסות סיליקון, מפחיתה משמעותית פגמים בתהליך ומתגברת על המגבלות של שיטות ניקוי רטוב מסורתיות.

**בקרת זיהום מקיפה:** תא ה-NIC (ניקוי ללא אינטראקציה) מונע ביעילות זיהום צולב, בשילוב עם טכנולוגיית SF-Aerosol (טיפות אחידות/מהירות גבוהה) לניקוי פיזי.

**מערכת חכמה משולבת ביותר:** מצוידת ב-APAC, AIS (מערכת זיהוי אוטומטית) ו-SEAS (מערכת ניתוח ציוד חכם), היא משיגה בקרת זרימה מדויקת וניתוח חכם של מצב הציוד.

**תחומי יישום:** מבוסס בסמסונג, משרת לקוחות מובילים ברחבי העולם.

BLUEICE PRIME מכוונת בעיקר ליצרני שבבי לוגיקה ויצרני זיכרון מובילים בעולם. תוך ניצול מעמדה של חברת האם SEMES כחברה בת של קבוצת סמסונג, ציוד זה משולב עמוק בקווי הייצור המתקדמים ביותר של סמסונג בתחום הוופלים. פתרון הניקוי הרטוב שלה יוצר מערכת אקולוגית שלמה עם ציוד ליבה נוסף כמו ליתוגרפיה (סדרת OMEGA) וחריטה (סדרת MICHELAN). ראוי לציין ש-SEMES הרחיבה את היקף העסקים שלה לכל תחום ייצור HBM (זיכרון רוחב פס גבוה), ופיתחה וייצור המוני בהצלחה מכונת הדבקה תרמית (TC Bonder) עבור אחסון שבבי HBM.

לסיכום, BLUEICE PRIME מדגים את כוחה הטכנולוגי העמוק של SEMES בתחום ציוד מוליכים למחצה. זהו חלק מכריע במאמצי קבוצת סמסונג לבסס את מעמדה כמובילה עולמית בטכנולוגיות תהליכים מתקדמות וכלי מרכזי התומך בייצור חדשני מתחת ל-2 ננומטר.