EN
id
sk
sr
sv
it
pt
bn
ms
be
nl
fr
th
vi
ru
ja
ko
de
hy
az
bs
bg
my
cs
da
dv
el
et
fil
fi
ga
gl
gn
he
hi
km
hr
hu
is
kn
rw
lo
lv
lt
lb
lg
mi
mt
ne
no
ny
or
om
per
pl
ro
sa
so
es
sw
ta
tr
uk
ur
cy
xh
מערכת הניקוי TEL CELLESTA™ -i MD היא מערכת הדגל של Tokyo Electron (TEL) בגודל 300 מ"מ בעלת פרוסה בודדת עבור צמתי תהליך מתקדמים ב-10 ננומטר ומעלה. היא תוכננה במיוחד כדי להתמודד עם אתגרי תהליכים מרכזיים, כגון הרגישות של מבנים בעלי דוגמאות מיקרו לנזק במהלך ניקוי וייבוש בתהליכים מתקדמים, והיא מהווה מכשיר מפתח התומך בתפוקה משופרת עבור שבבים מתקדמים.
ביצועי ליבה: פירוט טכנולוגי ותמיכה בנתונים
כדי לספק הבנה אינטואיטיבית יותר, התכונות הטכניות העיקריות שלה מסוכמות להלן:
מאפיינים עיקריים, מדדי ביצועים ופרטים טכניים
מיקום תהליך התמקדות בצמתי תהליך של 10 ננומטר ומעלה, התמחות בניקוי לא הרסני והסרת חלקיקים של משטחי ופלים מעוצבים.
טכנולוגיות ליבה: ניקוי וייבוש. משיג ייבוש ללא קריסת תבנית באמצעות בקרת אטמוספירה בתא ואופטימיזציה של ביצועי נחיר IPA (אלכוהול איזופרופילי); יכול להשתמש בתמיסות כימיות כגון SC-1 ו-DHF לאכלוט רטוב; ויכול לשלב פונקציות ניקוי פיזיות כגון הברשה וריסוס כפול.
יעילות גבוהה ומודולריות: ניתן להגדרה עם עד 20 תאי ניקוי, להשגת קיבולת של עד 1000 פרוסות ופלים לשעה (WPH), ותמיכה בהרחבה גמישה של יחידות ניקוי שפוע.
תפעול בעלות נמוכה: מערכת מיחזור כימית מובנית מפחיתה משמעותית את עלויות התפעול (CoO) וחוסכת ביעילות את צריכת חומצה גופרתית.
אמינות: מערכת ההובלה שלה עברה 750 מיליון מחזורי טיפול בפרוסות סיליקון ללא אימות שגיאות, מה שמבטיח יציבות ייצור המוני גבוהה במיוחד.
יישומים: הודות לטכנולוגיה המובילה ולביצועים היציבים שלו, CELLESTA™ -i MD נמצא בשימוש נרחב בייצור התקני מוליכים למחצה מתקדמים, והוא ממלא תפקיד חיוני בתחומים הבאים:
שבבי לוגיקה: מספקים משטחי פרוסה נקיים לייצור שבבי לוגיקה בעלי ביצועים גבוהים כגון מעבדים, כרטיסי מסך ומעבדי בינה מלאכותית.
שבבי זיכרון: משמשים בייצור שבבי זיכרון כגון DRAM ו-3D NAND Flash, ומבטיחים את הדיוק והאמינות של תאי הזיכרון.
אריזה מתקדמת: נמצאת בשימוש נרחב בשלבי הניקוי של תהליכי אריזה מתקדמים כגון BSI (תאורה אחורית), ערימה תלת-ממדית, הפעלה באמצעות מתח אחורי ו-SoIC (מערכת על שבב).
הערכת תעשייה ומעמד שוק
כדגם יוקרתי בסדרת CELLESTA, ה-i MD מייצג את הרמה הגבוהה ביותר של TEL בניקוי פרוסות בודדות. עם ביצועי הניקוי המעולים והאמינות הגבוהה המוכרת שלה, סדרת פלטפורמות זו, יחד עם SCREEN, מחזיקה בעמדה מובילה בשוק ציוד ניקוי המוליכים למחצה העולמי, מה שהופך אותה לפריט ציוד הכרחי התומך בייצור המוני של שבבים מתקדמים.
