מטחנת ופלים דיסקו DGP8761

ה-DISCO DGP8761 היא מכונת השחזה/ליטוש אוטומטית לחלוטין המייצגת את פסגת הטכנולוגיה שלה, שתוכננה במיוחד לתהליכי דילול פרוסות ופלים יעילים בקוטר 12 אינץ' (300 מ"מ). התכונה המרכזית שלה היא היכולת להשלים את התהליך כולו - החל משחיקה גסה בצד האחורי וטחינה עדינה ועד להסרת מתחים - בפעולה אחת ורציפה, תוך עיבוד עקבי של פרוסות ופלים לעוביים דקים במיוחד מתחת ל-25 מיקרון.

כשדרוג רשמי לדגם DGP8760 הידוע והנמכר ביותר, הוא מתגאה בביצועי מכירות יוצאי דופן בקרב יצרנים מובילים ברחבי העולם והוא פריט ציוד חיוני לאריזה מתקדמת, התקני חשמל ותהליכים אחרים הדורשים ייצור פרוסות דק במיוחד.

ליבת החומרה: התושייה והאבולוציה של עיצוב תלת-צירי

ליבת התפתחות הביצועים של ה-DGP8761 טמונה בארכיטקטורה המדויקת שלו בת שלושה צירים (3 צירים) וארבעה שולחנות צ'אק (4 שולחנות צ'אק).

חלוקת עבודה תלת-צירית:

ציר Z1 (טחינה גסה): אחראי על הסרה מהירה של רוב החומר מהצד האחורי של הוופל.

ציר Z2 (טחינה עדינה): מבצע טחינה עדינה על פני הוופל, ומשיג שליטה מדויקת בעובי.

ציר Z3 (עיבוד רב-תכליתי): זהו המפתח לגמישות שלו. משתמשים יכולים לבחור ליטוש יבש (הפגת מתחים), ליטוש מדויק במיוחד (Poligrind/UltraPoligrind), או מודולי CMP מיוחדים כדי להשיג הסרת מתחים, הסרת גטר ופונקציות אחרות, בהתאם לדרישות התהליך.

ציר חדש: הציר החדש תומך בטחינה במהירות גבוהה, ומקצר ביעילות את זמן העיבוד של פרוסות דקות. בו זמנית, סידור ההובלה הממוטב מפחית את זמן אי-העיבוד, ומשפר את היעילות הכוללת.

מפרט ביצועי ציר גבוהים יותר:

ציר Z1/Z2: הספק הציר הוגדל ל-6.3 קילוואט, מהירות 1,000 - 4,000 דקות⁻¹, מהלך ציר Z 120 מ"מ.

ציר Z3: הספק ציר 5.3 קילוואט, מהלך ציר Z 65 מ"מ.

דיוק ציר Z: קצב הזנה אנכי של 0.0001 - 0.08 מ"מ/שנייה, מהלך מינימלי של 0.1 מיקרון מבטיח דיוק עיבוד שבבי.

סקירת מפרט מפורטת

קטגוריית פרמטרים | אינדיקטורים ספציפיים

גודל חומר עבודה רלוונטי: Φ200 מ"מ / Φ300 מ"מ (8 אינץ' / 12 אינץ')

שיטת טחינה: ציר Z1/Z2: טחינה בהזנה (סיבוב פרוסות)

ציר Z3: טחינה חריגה של הזנת המכשיר (סיבוב פרוסות מיוחד)

תצורת ציר: שלושה צירים (3 צירים)

תצורת שולחן עבודה: ארבעה שולחנות צ'אק (4 שולחנות צ'אק), באמצעות מערכת שולחן סיבובי

כלי השחזה/ליטוש: Z1/Z2 ציר: גלגל השחזה יהלום Φ300 מ"מ

ציר Z3 (DP): משטח ליטוש יבש Φ450 מ"מ

ציר Z3 (CMP): פד ליטוש CMP Φ450 מ"מ

מידות הציוד: 1,690 מ"מ (רוחב) × 3,315 מ"מ (עומק) × 1,800 מ"מ (גובה)

דגם רכוב FOUP: × 3,452 מ"מ (עומק)

משקל ציוד: כ-6,700 ק"ג (DP, תצורת Poligrind)

כ-6,900 ק"ג (תצורת CMP)

דרישות חשמל: תלת פאזי 200/220/380/400 וולט, 50/60 הרץ

אוויר דחוס: מעל 0.5 מגה פסקל, נקי וללא שמן, נקודת טל מתחת ל-15 ℃-

פונקציות ליבה ויתרונות התהליך:

התחרותיות המרכזית של ה-DGP8761 טמונה בשילוב המוצלח שלו של תהליכים מרובים, תוך השגת אפקט "1+1>2".

פתרון כולל: באמצעות זרוע רובוטית פנימית, הוופל יכול להשלים באופן אוטומטי את כל התהליך של שחיקה גסה → שחיקה דקה → ליטוש יבש → ניקוי וייבוש, תוך הימנעות מסיכון של פירוק הנגרם מטיפול מרובה וקיצור משמעותי של מחזור הייצור. ה-DGP8761 יכול להשיג באופן עקבי וריאציה כוללת של עובי (TTV) של פחות מ-3 מיקרומטר תוך שמירה על חוזק כיפוף גבוה.

ליטוש יבש ואיסוף דביק (Getting): זהו אחד המאפיינים המוערכים ביותר של ה-DGP8761. הוא משתמש בליטוש יבש בעל ציר Z3 כדי להסיר את שכבת המאמץ של השחיקה, שהוא לא רק ידידותי יותר לסביבה מתהליכים רטובים מסורתיים (ללא שימוש בכימיקלים או במים), אלא גם יוצר שכבת מיקרו-נזק נשלטת בתוך הוופל, הפועלת כ"אזור גטר" ללכידת זיהומים מתכתיים, ומשפרת את התפוקה ואמינות השבב. טכנולוגיית המיקרו-שיוף הייחודית של DISCO, UltraPoligrind, שומרת על אפקט הגטר תוך השגת חוזק שבב גבוה שלא ניתן היה להשיג בעבר.

תצורה גמישה ומערכת אקולוגית של יישומים

ה-DGP8761 אינו מכשיר מבודד; הוא יכול להשתלב בצורה חלקה במערכות אוטומציה שונות.

הרחבת קישוריות: ניתן לחבר אותו למחבר הוופלים הרב-תכליתי DFM2800 לחיבור ישיר של DAF (Die Attach Film) לאחר דילול. ניתן להשתמש בו גם לבניית מערכות תהליך מתקדמות כגון DBG (Dicing Before Grinding) כדי לשפר את תפוקת הוופלים הדקים.

תחזוקה וחלקי חילוף: תואם ל-DISCO. סדרת 8000 שומרת על תאימות גבוהה, כאשר רכיבים מרכזיים כגון גלגלי השחזה ולוחות השחזה ניתנים להחלפה, מה שמקל על התחזוקה ומפחית את עלויות חלקי החילוף.

תוכנה ותפעול: באמצעות ממשק GUI המבוסס על טכנולוגיית סדרה 8000 בוגרת, לוגיקת התפעול המאוחדת מקצרת את זמן אימון המפעיל.

מיקום בשוק ויישומים: ה-DGP8761 נמצא בשימוש נרחב באריזה מתקדמת (HPC/AI/3D IC), מוליכים למחצה להספק והתקני MEMS. DISCO מספקת גם שירותי חיתוך והשחזה באמצעות ציוד זה במרכזי הטכנולוגיה הגלובליים שלה (כגון בסין ובסינגפור).

שיקולי תחזוקה: כדי להבטיח דיוק, חיונית הקפדה על דרישות הסביבה (טמפרטורה ולחות בטווח של ±1°C, אוויר דחוס נקי) והדרישות המתכלות של DISCO. יתר על כן, לוגיקת התנועה של ציר Z3 (כולל 5 רצפי עיבוד ופרמטרי מיקום) משפיעה ישירות על תפוקת העיבוד; הגדרות פרמטרים לא נכונות עלולות להוביל לבעיות בתהליך.

סיכום: DISCO ה-DGP8761 היא מכונת השחזה/ליטוש מתקדמת המשלבת בצורה מושלמת דיוק גבוה, יעילות גבוהה וגמישות תהליכית. היא לא רק סוללת את הדרך לייצור שבבים דקים במיוחד חדשני, אלא גם, באמצעות יכולת ההרחבה החזקה שלה, הופכת למרכיב מרכזי בבניית מפעלים חכמים מתקדמים למוליכים למחצה. עבור יצרנים מובילים המחפשים את הביצועים הגבוהים ביותר ויציבות התהליך, היא מייצגת השקעה אסטרטגית משמעותית.