ThinkLaser SigmaClean je potpuno automatizirani sustav laserskog označavanja "mekog označavanja" posebno dizajniran za pločice od 100 mm do 200 mm, u potpunosti usklađen sa standardima čistih soba klase 1. Njegova je glavna misija iskoristiti patentiranu lasersku tehnologiju kako bi poluvodičke pločice dobile učinkovite, izdržljive i lako čitljive oznake - bez stvaranja kontaminacije česticama - čime se omogućuje automatska sljedivost tijekom cijelog životnog ciklusa pločice.
**Tehnička načela**
Glavne snage SigmaCleana leže u tehnologiji čistoće kontroliranog izvora i stabilnom, precizno konstruiranom dizajnu hardvera.
**Patentirana SuperSoftMark® tehnologija:** Ovo je ključna razlika koja izdvaja SigmaClean od ostale opreme. Preciznim upravljanjem laserskom energijom postiže se označavanje "bez krhotina". Ova značajka u osnovi eliminira rizik od kontaminacije česticama, omogućujući sigurnu primjenu sustava u proizvodnim okruženjima na početku proizvodne linije (FEOL) gdje su zahtjevi za čistoćom izuzetno strogi.
**Visoko stabilan diodno pumpani laser u čvrstom stanju:** Sustav koristi patentirani diodno pumpani laser u čvrstom stanju koji se odlikuje iznimnom stabilnošću od impulsa do impulsa. To osigurava visok stupanj konzistentnosti u dubini i zaobljenosti svake označene točke, čime se jamči stabilnost i ponovljivost kvalitete označavanja.
**Robusni optički i automatizacijski sustavi:** Cijeli stroj ima potpuno automatizirani dizajn, podržava SECS II/GEM komunikacijske protokole za tvorničku automatizaciju i besprijekorno se integrira s glavnim automatiziranim sustavima za rukovanje pločicama, kao što su SMIF (Standard Mechanical Interface) pločice.
**Ključne prednosti i značajke**
Prednosti SigmaCleana protežu se dalje od njegovih naprednih mogućnosti označavanja do opipljive vrijednosti koju pruža tvornicama za proizvodnju pločica.
**Neusporediva čistoća:** U skladu sa zahtjevima kompatibilnosti s čistim sobama klase 1 (međunarodni standard ISO klasa 3), što ga čini preferiranim izborom za pogone za izradu pločica na prednjem kraju (Fabs) s izuzetno zahtjevnim standardima čistog okoliša.
**Visoka propusnost i isplativost:** Ovaj sustav koristi proces mekog označavanja – posebno razvijen za označavanje poliranih pločica u čistim sobama i sada industrijski standard – kako bi pružio vrlo isplativo rješenje.
**Dosljedna kvaliteta označavanja i sljedivost:** Iznimna stabilnost laserskog pulsa ključna je za postizanje ujednačene dubine i zaobljenosti točke, što je ključni čimbenik u povećanju stope prepoznavanja sljedećih sustava strojnog vida (optičko prepoznavanje znakova, OCR). Istovremeno, sustav stvara trajne, čitljive oznake, osiguravajući sljedivost u svakoj fazi proizvodnje.
Velika fleksibilnost primjene: Više skupina oznaka može se postaviti u bilo kojoj orijentaciji na površini pločice, s lokacijama označavanja ograničenima na prstenastu zonu unutar 25 mm od ruba pločice.
Specifikacije i rad/održavanje
Kategorija specifikacije | Detaljni parametri i opis
Klasifikacija opreme | Potpuno automatski, kompatibilan s čistim sobama prema ISO 3 / klasi 1, sustav za meko označavanje pločicama od 100–200 mm
Veličina pločice | Standardna podrška za 100 mm – 200 mm (4–8 inča)
Vrsta lasera | Sigma100 IR laser s diodnim pumpanjem u čvrstom stanju
Tehnologija označavanja | Patentirani SuperSoftMark® (meko označavanje bez ostataka)
Mjesto označavanja | Bilo koja orijentacija unutar prstenaste zone od 25 mm na rubu pločice
Komunikacijsko sučelje | SECS II/GEM, SEMI-standardno glavno sučelje
Prijenos/Kaseta | 3 otvorene stanice za kasete; Dodatni SMIF Pod adapter od 200 mm
Dodatne značajke | OCR/čitanje barkodova i ponovno označavanje
Softverski sustav | Korisničko sučelje temeljeno na Windows®-u
Usklađenost i certifikacija | Sukladno sa SEMI S2/S8, CE i drugim standardima
Napajanje i opskrba zrakom | Standardno industrijsko jednofazno napajanje od 220 V i čisti komprimirani zrak
SigmaClean je također dizajniran imajući na umu jednostavno održavanje:
**Jednostavnost održavanja:** Dizajn sustava omogućuje jednostavno svakodnevno održavanje; rutinske provjere - poput čišćenja leća - mogu se obaviti za otprilike 5 minuta. Nadalje, oprema ima automatizirane mogućnosti dnevne samodijagnostike i pruža jasne smjernice za protokol održavanja u slučaju kvara, čime se olakšava planirano održavanje koje pokreće korisnik.
**Sigurnost i čistoća:** Cjelokupni dizajn stroja u skladu je s međunarodnim sigurnosnim standardima (npr. SEMI S2/S8, CE itd.) i opremljen je integriranim sustavom za usisavanje prašine, što dodatno osigurava sigurnost i higijenu proizvodnog okruženja.
**Ključne funkcije i scenariji primjene**
**Proizvodnja pločica na početku proizvodnje:** Pogodno za pločice izrađene od materijala kao što su silicij, SiC i GaAs, veličine od 100 mm do 200 mm. Graviranjem jedinstvenog identifikatora tijekom početnih faza proizvodnje, sustav omogućuje sljedivost kvalitete od početka do kraja i statističku kontrolu procesa (SPC).
**Napredno pakiranje:** Pruža ključne identifikacijske brojeve sljedivosti unutar procesa pakiranja na razini pločice (WLP) ili rekonstituiranih pločica.
**Istraživanje i razvoj te proizvodnja malih serija:** Njegov fleksibilan, automatizirani dizajn čini ga idealnim za okruženja istraživanja i razvoja te pilotne proizvodnje karakterizirana visokokombiniranom proizvodnjom malih količina.
**Sažetak i usporedba**
Ukratko, ThinkLaser SigmaClean je uređaj koji postiže vodeće industrijske standarde u pogledu čistoće, stabilnosti i automatizacije. Korištenjem patentirane SuperSoftMark® tehnologije, učinkovito rješava ključnu bolnu točku - onečišćenje česticama - često povezanu s tradicionalnim metodama označavanja, čime se etablira kao mjerilo u području "mekog označavanja" za pločice od 4 do 8 inča. Za intuitivnije razumijevanje njegovog pozicioniranja unutar linije proizvoda, pogledajte sljedeću usporedbu sa SC300 - još jednim uređajem za meko označavanje:
**Značajka** | **SigmaClean** | **SC300**
**Primarno pozicioniranje** | Potpuno automatizirani sustav mekog označavanja za pločice od 100–200 mm (4–8 inča) | Potpuno automatizirani sustav mekog označavanja za pločice od 300 mm (12 inča)
**Primjena na tržištu** | Namijenjeno tvornicama poluvodičkih pločica i tvornicama za pakiranje koje rukuju pločicama od 8 inča i manje; služi kao vodeće rješenje u ovom tržišnom segmentu | Široko prihvaćeno od strane svih proizvođača integriranih uređaja (IDM) od 300 mm i ljevaonica pločica
**Tehničke značajke** | Kompatibilno s čistim sobama klase 1; koristi patentiranu SuperSoftMark® tehnologiju za postizanje označavanja bez ostataka | Također koristi tehnologiju mekog označavanja, pružajući potrebnu kompatibilnost, čistoću, kvalitetu označavanja i pouzdanost potrebnu za masovnu proizvodnju od 300 mm
**Transportni sustav** | Obično konfiguriran s 3 otvorene kasetne stanice; SMIF podovi dostupni kao opcija | Obično kompatibilan s prednjim otvaranjem ujedinjenih podova (FOUP); podržava OHT (nadzemni transport dizalicom) sustave
**Status industrije** | Vodeće rješenje u industriji za meko označavanje pločica od 4 do 8 inča | Industrijski standard za meko označavanje u tvornicama pločica od 300 mm, s ogromnom instaliranom bazom (preko 140 jedinica)



