Čistač pločica za ekran SU-3200

SCREEN SU-3200 je revolucionarni sustav za čišćenje pojedinačnih pločica od 300 mm u industriji proizvodnje poluvodiča. Zahvaljujući vrhunskom protoku i vodećoj tehnologiji čistoće, dugo je vremena služio kao glavni model tvrtke SCREEN, podržavajući proizvodnju logičkih i memorijskih čipova od 32nm do 7nm, pa čak i naprednijih čvorova, igrajući ključnu ulogu na tržištu opreme za čišćenje.

Osnovno pozicioniranje i pregled tehnologije: Osnovno pozicioniranje SU-3200 je značajno povećanje protoka čišćenja pojedinačnih pločica uz održavanje izuzetno visoke čistoće, zadovoljavajući ekstremne zahtjeve učinkovitosti naprednih procesa.

Dizajn visokog protoka: Zahvaljujući inovativnoj arhitekturi s četiri sloja, jedan sustav može se konfigurirati s do 12 neovisnih procesnih komora, postižući kapacitet obrade do 800 pločica na sat (WPH), što je u to vrijeme bilo vodeće u svijetu među sustavima za čišćenje pojedinačnih pločica.

Ultra čisto procesno okruženje: Kako bi se zadovoljili strogi zahtjevi 22nm i naprednijih čvorova, SU-3200 je opremljen SCREEN-ovom vlasničkom APAC (Advanced Process Atmosphere Control) tehnologijom. Optimizacijom okruženja komore u više dimenzija osigurava se vrhunska čistoća procesa čišćenja.

Ključni tehnički detalji: Kako bi se postigli dvostruki ciljevi protoka i čistoće, SU-3200 koristi niz inovativnih dizajna, detaljno opisanih u donjoj tablici:

Tehnološka dimenzija | Naziv tehnologije | Osnovna funkcija i metoda implementacije

Revolucionarno poboljšanje kapaciteta | Kompaktna komora | Smanjuje volumen jedne procesne komore na polovicu u odnosu na prethodnika, omogućujući postavljanje više komora unutar istog prostora, čime se povećava protok po jedinici površine.

Sustav brzog prijenosa | Optimizira logiku prijenosa i brzinu pločica između komora, što je ključna podrška za postizanje visokog protoka od 800 pločica/sat (WPH).

Jamstvo čistoće | APAC tehnologija | Tehnologija ultra čistih komora je skupni pojam za niz tehnologija. Njezine ključne podtehnologije uključuju:

AMC mikrokomora: Smanjenje unutarnjeg volumena komore na jednu trećinu u odnosu na prethodni model, što omogućuje bržu zamjenu plina i učinkovito poboljšanje čistoće okoliša.

ABG pregrada za uravnoteženje protoka zraka: Koristi se za ujednačavanje čistog protoka zraka koji se upuhuje kroz gornji visokoučinkoviti filter čestica (FFU), sprječavajući vrtloge ili mrtve zone unutar komore i osiguravajući učinkovito uklanjanje čestica.

ASP napredna zaštita od prskanja: Preciznim dizajnom minimizira se prskanje kemikalija tijekom kemijskog prskanja, osiguravajući čisto okruženje za obradu pločica.

APN mlaznica za zaštitu od zraka: Korištenje "zračne zavjese" tijekom faze sušenja za zaštitu površine pločice i sprječavanje mrlja od vode uzrokovanih ostacima isparavanja tekućine.

Fleksibilna opskrba kemikalijama: Izvori kemikalija mogu se fleksibilno organizirati. Dostupni su i sustavi s dinamičkim izravnim ubrizgavanjem (DDI) i sustavi kabinetnog tipa, što kupcima omogućuje fleksibilan odabir prema specifičnim zahtjevima procesa.

Jednostavnost održavanja: Izvlačna struktura: Procesna komora može se izvući poput ladice za jednostavno čišćenje, zamjenu komponenti i druge radove održavanja, čime se učinkovito smanjuje vrijeme zastoja opreme. Područja primjene: Od vrhunskog istraživanja i razvoja do zrele proizvodnje

SU-3200 ima širok raspon primjena, pokrivajući više ključnih faza proizvodnje poluvodiča.

Napredni logički i memorijski čipovi: SU-3200 se koristi u istraživanju i razvoju te proizvodnji čipova, uključujući 7nm i naprednije čvorove, i u front-end (FEOL) i u back-end (BEOL) procesima.

Ključni poluvodički materijali i procesi: Među mnogim procesima koje podržava je čišćenje poluvodičkih materijala treće generacije kao što su SiC (silicijev karbid) i GaN (galijev nitrid).

Vrhunska istraživanja i suradnja ekosustava: Snažne performanse SU-3200 čine ga izborom vodećih istraživačko-razvojnih institucija diljem svijeta. Primjerice, IBM je implementirao SU-3200 u svom istraživačkom centru za poluvodiče u Albanyju u New Yorku. Nadalje, SCREEN je surađivao s Applied Materials, instalirajući SU-3200 u svom META centru za razvoj naprednijih procesa čipova.

Tržišna pozicija i povijesni doprinosi

SU-3200 nije samo uspješan proizvod, već i ključni faktor u uspostavljanju vodeće pozicije tvrtke SCREEN na tržištu.

Dominacija na tržištu: Nakon uspjeha SU-3200, SCREEN je dodatno učvrstio svoju vodeću poziciju u području opreme za čišćenje. Prema službenim podacima SCREEN-a, od srpnja 2025. godine, ukupne isporuke opreme za čišćenje poluvodiča premašile su 15.000 jedinica, držeći vodeći globalni tržišni udio u više segmenata, uključujući čišćenje pojedinačnih pločica, čišćenje u serijama i čišćenje centrifugiranjem.

Prihodni stup: Dugo je vremena SU-3200 bio glavni proizvod tvrtke SCREEN, a prihodi od prodaje opreme za čišćenje uvelike su ovisili o ovom modelu.