SEMES sredstvo za čišćenje oblatna BLUEICE PRIME

SEMESOV BLUEICE PRIME je 300 mm potpuno automatizirani sustav za čišćenje pojedinačnih pločica dizajniran za proizvodnju logičkih i memorijskih čipova napredne procesne tehnologije (LPT). Razvio ga je i proizveo SEMES, glavni dobavljač opreme u okviru tvrtke Samsung Electronics, te je ključni dio opreme za poboljšanje prinosa masovne proizvodnje vrhunskih procesa poput 2nm.

Osnovne performanse: Balansiranje naprednih procesa i kapaciteta

Vrhunske procesne performanse: Sposoban za uklanjanje čestica na razini od 19 nm, značajno poboljšavajući ujednačenost jetkanja za više od 40%.

Visokoučinkovit dizajn kapaciteta: Kao sustav za čišćenje pojedinačnih pločica od 300 mm, obrađuje preko 500 pločica na sat (WPH), učinkovito zadovoljavajući zahtjeve masovne proizvodnje velikih razmjera.

Tehničke značajke: Višestruki neovisno razvijeni inovativni dizajni

Inovativni postupak s fosfornom kiselinom na visokim temperaturama: Njegov temeljni postupak koristi fosfornu kiselinu na visokim temperaturama za jetkanje i skidanje pločica. Precizna kontrola prskanja i temperature učinkovito smanjuje disperziju procesa i stopu nedostataka, značajno poboljšavajući prinos 2nm čipova.

**Neovisno razvijena visokotemperaturna stezna glava:** Ova tehnologija poboljšava ujednačenost temperature tijekom zagrijavanja pločice, značajno smanjuje nedostatke u procesu i prevladava ograničenja tradicionalnih metoda mokrog čišćenja.

**Sveobuhvatna kontrola kontaminacije:** Komora NIC (Non-Interaction Clean) učinkovito sprječava unakrsnu kontaminaciju, u kombinaciji s SF-Aerosol (velika brzina/ujednačena kapljica) tehnologijom za fizičko čišćenje.

**Visoko integrirani inteligentni sustav:** Opremljen APAC-om, AIS-om (automatskim sustavom detekcije) i SEAS-om (pametnim sustavom analize opreme), postiže preciznu kontrolu protoka i inteligentnu analizu statusa opreme.

**Područja primjene:** Sa sjedištem u Samsungu, pružamo usluge vodećim globalnim klijentima.

BLUEICE PRIME prvenstveno cilja na vodeće globalne ljevaonice logičkih čipova i proizvođače memorije. Iskorištavajući status svoje matične tvrtke SEMES kao podružnice Samsung Grupe, ova oprema je duboko integrirana u najnaprednije proizvodne linije Samsungovih pločica. Njegovo rješenje za mokro čišćenje tvori cjelovit ekosustav s drugom ključnom opremom na prednjem kraju, kao što su litografija (serija OMEGA) i jetkanje (serija MICHELAN). Vrijedi napomenuti da je SEMES proširio svoj poslovni opseg na cijelo područje proizvodnje HBM-a (memorije velike propusnosti), uspješno razvijajući i masovno proizvodeći stroj za termičko lijepljenje (TC Bonder) za slaganje HBM čipova.

Ukratko, BLUEICE PRIME pokazuje SEMES-ovu veliku tehnološku snagu u području poluvodičke opreme. To je ključni dio napora Samsung Grupe da učvrsti svoju poziciju globalnog lidera u naprednim procesnim tehnologijama i ključnog alata koji podržava vrhunsku proizvodnju ispod 2nm.