SEMES ostyatisztító BLUEICE PRIME

A SEMES BLUEICE PRIME egy 300 mm-es, teljesen automatizált, egylapkás tisztítórendszer, amelyet fejlett folyamattechnológiai (LPT) logikai és memóriachip-gyártáshoz terveztek. A Samsung Electronics egyik alapvető berendezésbeszállítója, a SEMES által fejlesztett és gyártott rendszer kulcsfontosságú berendezés a legmodernebb folyamatok, például a 2 nm-es gyártás tömegtermelési hozamának javításához.

Alapvető teljesítmény: A fejlett folyamatok és a kapacitás egyensúlyban tartása

Kiváló folyamatteljesítmény: Képes eltávolítani a 19 nm-es részecskéket, ami jelentősen, több mint 40%-kal javítja a maratás egyenletességét.

Nagy hatékonyságú kapacitáskialakítás: 300 mm-es, egyetlen szeletet tisztító rendszerként óránként több mint 500 szeletet kezel, így hatékonyan kielégíti a nagyméretű tömegtermelés igényeit.

Műszaki jellemzők: Több, egymástól függetlenül fejlesztett innovatív formatervezés

Innovatív magas hőmérsékletű foszforsavas eljárás: Alapvető eljárása magas hőmérsékletű foszforsavat használ a lapkamaratáshoz és -csupaszításhoz. A permetezés és a hőmérséklet pontos szabályozása hatékonyan csökkenti a folyamat során fellépő szóródást és a hibaszázalékot, jelentősen javítva a 2 nm-es chipek hozamát.

**Függetlenül kifejlesztett magas hőmérsékletű tokmány:** Ez a technológia javítja a hőmérséklet egyenletességét az ostyafűtés során, jelentősen csökkenti a folyamathibákat, és leküzd a hagyományos nedves tisztítási módszerek korlátait.

**Átfogó szennyeződés-szabályozás:** A NIC (Non-Interaction Clean) kamra hatékonyan megakadályozza a keresztszennyeződést, az SF-Aerosol (nagy sebességű/egyenletes cseppadagolású) technológiával kombinálva a fizikai tisztítást.

**Magasan integrált intelligens rendszer:** Az APAC, AIS (automatikus érzékelő rendszer) és SEAS (intelligens berendezéselemző rendszer) funkciókkal felszerelt rendszer precíz áramlásszabályozást és a berendezések állapotának intelligens elemzését teszi lehetővé.

**Alkalmazási területek:** A Samsungnál dolgozik, a világ vezető ügyfeleit szolgálja ki.

A BLUEICE PRIME elsősorban a vezető globális logikai chipgyártókat és memóriagyártókat célozza meg. Kihasználva anyavállalata, a SEMES Samsung Csoport leányvállalati státuszát, ez a berendezés mélyen integrálva van a Samsung legfejlettebb wafergyártó soraiba. Nedves tisztítási megoldása komplett ökoszisztémát alkot más alapvető front-end berendezésekkel, mint például a litográfia (OMEGA sorozat) és a maratás (MICHELAN sorozat). Érdemes megjegyezni, hogy a SEMES kiterjesztette üzleti tevékenységét a teljes HBM (nagy sávszélességű memória) gyártási területre, sikeresen kifejlesztve és tömeggyártással előállítva egy hőkötő gépet (TC Bonder) HBM chipek egymásra rakásához.

Összefoglalva, a BLUEICE PRIME a SEMES jelentős technológiai erejét mutatja a félvezető berendezések területén. Kulcsfontosságú részét képezi a Samsung Csoport azon erőfeszítéseinek, hogy megszilárdítsa globális vezető pozícióját a fejlett folyamattechnológiák terén, és kulcsfontosságú eszköz a 2 nm alatti élvonalbeli gyártás támogatásához.