ASM flip chip bonder AMICRA NANO

AMICRA NANO frá ASM er fyrsta flokks, afar nákvæmur flip-chip límibúnaður. Reyndar er þetta ekki bara einfaldur flip-chip límibúnaður, heldur tæki sem sameinar bæði deyju- og flip-chip límingu og tekst á við fjölbreytt límingarferli á sveigjanlegan hátt.

Kjarnaeiginleikar og tæknilegar upplýsingar AMICRA NANO

Eiginleikar Ítarleg lýsing

Tegund búnaðar: Mjög nákvæmur deyjalímandi vél / Flip Chip Límandi vél

Kjarna nákvæmni: Staðsetningar-/samræmingar nákvæmni: ±0,2 µm @ 3σ

Límingaraðferðir: Blendingslíming, eutektísk líming, leysilíming, hitastýrð líming (TCB), UV-herðing

Þrýstingsbil fyrir límingu: 0,1 N til 20 N (u.þ.b. 10 g til 2 kg)

Flísastærð: Tekur á við mjög litlar flísar, t.d. 0,1 mm x 0,1 mm

Stærð undirlags: Tekur við undirlag allt að 300 mm x 300 mm

Framleiðsluhraði (UPH): Um það bil 200-400 flísar á klukkustund

Stýrikerfi: Windows viðmót

Stærð búnaðar: Aðeins grunnflötur 2,23 x 1,0 m (u.þ.b. 7,3 x 3,3 fet)

Vinnsluumhverfi Býr til HEPA-síur og jónaframleiðanda, sem tryggir hreint umhverfi í hreinu rými.

Nánari tæknilegar upplýsingar og samanburður við svipaðar gerðir

Meginregla

Mikil nákvæmni AMICRA NANO stafar af einstakri hönnun hennar: fjögur myndgreiningarkerfi með mikilli upplausn eru fest við náttúrulegan granítgrunn, en önnur hreyfistýringarkerfi hreyfast í kringum þessar föstu myndavélar. Í bland við virka titringsdeyfingu og kraftmikið stillingarkerfi tryggir þetta nákvæma staðsetningu.

Notkunarsvið

Það er hannað fyrir háþróaða pökkunarforrit með afar mikilli nákvæmni, sérstaklega í kísilljósfræði, pökkun ljósleiðara, flís-í-skífu og 2,5D/3D IC samþættingu.

Kostir ferlisins

Auk afar mikillar nákvæmni í staðsetningu styður AMICRA NANO einnig hraðvirkar AuSn-evtektískar límingarferli og hefur getu til að binda á staðnum, sem bætir afköst og gæði tenginga á áhrifaríkan hátt.

Aðrar afleiddar gerðir

Auk NANO inniheldur ASMPT AMICRA serían einnig:

NOVA Pro: Styður einnig flip-chip límingu með nákvæmni upp á ±1,0 µm, sem nær jafnvægi milli hraða og nákvæmni.

AFC Plus: Þetta er alhliða límvél með nákvæmni upp á ±1,5 µm, hönnuð til að bæta við hágæða NANO seríuna.

Í stuttu máli er ASM AMICRA NANO hannað til að uppfylla ströngustu kröfur um umbúðir. Ólíkt búnaði sem forgangsraðar skilvirkni, leggur það áherslu á að ná mikilli nákvæmni upp á ±0,2 µm, sem þjónar rannsóknum og þróun og háþróaðri framleiðslu í litlu magni á háþróuðum sviðum eins og kísilljósfræði og gervigreindartölvum.