Nordson plasmahreinsir MARCH AP-600

Nordson MARCH AP-600 er klassískt borðplatavinnslukerfi fyrir lofttæmisplasma. Þetta kerfi er þekkt fyrir einstaka áreiðanleika og auðvelda notkun og gegnir lykilhlutverki í fjölmörgum geirum, þar á meðal framleiðslu hálfleiðara, örrafeindatækni og framleiðslu lækningatækja.

**Helstu tæknilegar upplýsingar**

Eftirfarandi eru helstu tæknilegar upplýsingar um AP-600, hannaðar til að veita þér fljótlegt yfirlit yfir helstu virkni þess og afköst.

**Upplýsingaatriði** | **Sérstök breytu**

**Tegund búnaðar** | Borðplata, fullkomlega sjálfvirk lotubundin lofttæmisplasmavinnslukerfi

**Mál (B × D × H)** | 569 × 869 × 704 mm

**Nettóþyngd** | 221 kg (487 pund)

**Efni í hólfinu** | Hágæða ál og álfestingar

**Rúmmál hólfsins** | 50,4 lítrar

**RF aflgjafi** | Staðall: 600W @ 13,56 MHz (Búin sjálfvirkri viðnámsstillingarkerfi)

**Stillingar rafskauta** | Styður allt að 7 færanlegar, stöðustillanlegar rafskautsbakkar (styður beinan og niðurstreymis plasmastillingu)

**Gasstýring** | Staðall: 2 rásir; Hægt að stilla með allt að 4 massaflæðisstýringum (MFC)

**Stýrikerfi** | PLC-stýring + snertiskjár milli manna og véla (HMI); Styður rauntíma ferliseftirlit og gagnarekjanleika

**Helstu eiginleikar og ávinningur**

Framúrskarandi afköst AP-600 stafa af eftirfarandi lykileiginleikum:

**Framúrskarandi einsleitni í vinnslu:** Meginmarkmið AP-600 hönnunarinnar er að ná „mjög einsleitum“ niðurstöðum í plasmahreinsun og vinnslu. Þetta markmið er náð með óaðfinnanlegri samþættingu 13,56 MHz RF aflgjafa og sjálfvirks viðnámsjöfnunarnets, sem tryggir mjög endurtekningarhæfar niðurstöður í hverri vinnslukeyrslu.

**Sveigjanlegir og fjölhæfir vinnsluhamir:** Sveigjanlegur bakkahönnun kerfisins styður þrjár mismunandi stillingar fyrir rafskautsstillingar: Tengd við jörð, Tengd við jörð og Tengd við orku. **Bein plasmahamur:** Notar orkumiklar jónir til að framkvæma samtímis líkamlega sprengjuárás og efnahvörf á yfirborði sýnisins; kjörinn kostur fyrir yfirborðsvirkjun og djúphreinsun. **Fjarlægur plasmahamur:** Staðsetur sýnið í ákveðinni fjarlægð frá plasmagjafanum og útsetur það eingöngu fyrir langlífum sindurefnum. Hreinsunarferlið í þessum ham er mildara, sem gerir það sérstaklega hentugt til að vinna úr nákvæmum tækjum sem eru viðkvæm fyrir jónaárás eða viðkvæm fyrir skemmdum af völdum rafstöðuhleðslu (ESD). **Einföld og örugg notkun:** Er með PLC-stýrt snertiskjáviðmót sem er innsæi og notendavænt og veitir rauntíma birtingu á ferlisbreytum og stöðuupplýsingum. Innbyggð öryggishurð með samlæsingu og færanleg spjaldhönnun tryggja rekstraröryggi og einfalda viðhald og innri rekstrarferla.

**Víðtæk samhæfni við ferlislofttegundir:** Styður fjölbreytt úrval af ferlislofttegundum, þar á meðal argon (Ar), súrefni (O₂), vetni (H₂), helíum (He) og flúorinnihaldandi lofttegundir (t.d. CF₄).

**Þægilegar tengingar við veitur:** Býður upp á aðgengileg viðmót fyrir veitur til að mæta ýmsum viðbótarþörfum, svo sem reglubundinni kvörðun og staðfestingu.

**Alhliða notkunarsvið**

Byggt á fyrrnefndum eiginleikum er AP-600 kerfið víða nothæft á fjölmörgum sviðum:

**Notkunarsvið** | **Sérstök dæmi um notkun**

**Framleiðsla hálfleiðara og örrafeinda** | - **Forvinnsla á festingu á deyja:** Bætir viðloðun deyja.

- **Forvinnsla á vírtengingu:** Bætir tengingarstyrk.

- **Forvinnsla mótunar:** Dregur úr skemmdum á umbúðum.

- **Formeðferð með flip-chip undirfyllingu:** Bætir rennslishraða undirfyllingar, lágmarkar holrúm og eykur viðloðun.

- **Fjarlægir ljósþol/afskim:** Hreinsar leifar sem eftir eru eftir etsunarferli.

- **Fjarlæging ýmissa mengunarefna:** t.d. lífræn mengunarefni, fita, ryk, oxíð og leifar af nanóögnum. **Læknisfræði og lífvísindi** | - Þrif og forvinnsla á límingu lækningatækja eins og stoðneta og leggja; gerir kleift að líma saman ólík efni sem annars er erfitt að sameina; dregur úr yfirborðs klístri sprautusteyptra sílikonhluta.

- Yfirborðsmeðferð fyrir lífflögur og örvökvamælitæki.

**Aðrir háþróaðir framleiðslugeirar** | - **Framleiðsla á prentplötum:** Fjarlæging á yfirborðsleifum og yfirborðsvirkjun til að auka áreiðanleika síðari húðunarferla.

- **Ljósfræðileg rafeindatækni og háþróuð umbúðir:** Að bæta vætuþol yfirborðsins fyrir ýmis pökkunarskref og þar með auka skilvirkni pottunar- og fyllingaraðgerða.

**Virkniregla**

Plasmahreinsun felur aðallega í sér tvær gerðir af aðferðum: eðlisfræðilega og efnafræðilega.

**Eðlisfræðileg viðbrögð:** Orkujónir úr óvirkum lofttegundum — eins og argoni (Ar) — eru notaðar til að „sprengja“ yfirborðið og fjarlægja þannig á áhrifaríkan hátt viðloðandi mengunarefni.

**Efnafræðileg viðbrögð:** Súrefni (O₂) eða flúor-innihaldandi lofttegundir eru kynntar til sögunnar; sindurefnin í plasmanu sem myndast hvarfast við lífræn efni á yfirborðinu og mynda loftkenndar aukaafurðir sem síðan eru sogaðar burt með lofttæmisdælu.

Tveir rekstrarhamir AP-600 eru hannaðir til að finna jafnvægi á milli þessara tveggja aðferða, sérstaklega sniðnir að kröfum tiltekins ferlis.

**Samvinnuvistkerfi**

Innan heillar framleiðslulínu starfar AP-600 oft í tengslum við nærliggjandi búnað:

**Með öðrum Nordson búnaði:** Í SMT eða pökkunarlínum getur AP-600 unnið samverkandi með ASYMTEK skammta-/húðunarkerfum Nordson eða EFD nákvæmum skammtalokum. Ferlið hefst með plasmahreinsun til að virkja yfirborðið og auka yfirborðsorku, og síðan nákvæmri skammtun til að ná að lokum hágæða límingu eða húðun.

**Með öðrum vinnslubúnaði:** Í framleiðsluferlum fyrir rafrásir er AP-600 oft notaður í tengslum við búnað eins og litografíukerfi, jónaígræðslutæki, plasmaetsara, skannandi rafeindasmásjár (SEM) og prófunarkerfi fyrir tæki, sem veitir óspillt yfirborðsumhverfi á mikilvægum tímapunktum í ferlinu.

**Yfirlit**

Í stuttu máli má segja að Nordson MARCH AP-600 er rannsóknarhæft plasmavinnslukerfi fyrir borðtölvur sem sameinar mikla nákvæmni, einstakan sveigjanleika og framúrskarandi hagkvæmni. Það uppfyllir á áhrifaríkan hátt strangar kröfur um yfirborðshreinleika og viðloðun sem finnast á sviðum eins og hálfleiðurum, örrafeindatækni og lækningatækjum, sem gerir það að kjörnum valkosti fyrir rannsóknir og þróun á ferlum eða framleiðslu í litlum upplögum.