Nordson MARCH AP-300 plasmahreinsir

Nordson MARCH AP-300 er nett og hagkvæmt borðplast tómarúmsplasmakerfi. Helsta styrkur þess liggur í samþættingu 13,56 MHz RF aflgjafa og sjálfvirks impedansjöfnunarnets, sem gerir því kleift að skila framúrskarandi, stöðugum og einsleitum plasmavinnsluniðurstöðum innan lítins rýmis.

**Starfsregla**

AP-300 virkar með því að nota lofttæmisdælu til að tæma hólfið í hátt lofttæmisástand, eftir það eru tilteknar ferlislofttegundir kynntar. Með því að beita 13,56 MHz RF orku er gasið jónað til að mynda plasma. Háorkuagnir og hvarfgjörn efni í plasmanu taka þátt í líkamlegri sprengjuárás eða efnahvörfum við yfirborð efnisins og þannig ná yfirborðshreinsun, virkjun eða etsun.

**Kjarnavirkni og forrit**

Meginhlutverk AP-300 er að veita stöðugt og stjórnanlegt plasmaumhverfi. Það hámarkar fyrst og fremst gæði og áreiðanleika lokaafurða með þremur lykilferlum:

**Flokkun virkni** | **Framkvæmdaraðferð og áhrif**

**Plasmahreinsun** | Fjarlægir lífræn óhreinindi og oxíð af yfirborði efnis og nær þannig hreinleika á frumeindastigi.

**Yfirborðsvirkjun** | Kynnir pólvirka hópa — eins og hýdroxýl- og karboxýlhópa — á yfirborð efnisins og eykur þannig yfirborðsorku og vætni til að auka viðloðun við önnur efni.

**Etsun / Afþjöppun** | Notar flúor-innihaldandi ferlislofttegundir (t.d. CF₄) til að framkvæma nákvæma anísótrópíska eða ísótrópíska etsun á míkrómetra- eða jafnvel nanómetrakvarða; getur fjarlægt ljósþolsleifar af skífum.

**Helstu kostir og eiginleikar**

Hönnun AP-300 nær einstaklega vel jafnvægi milli afkasta og sveigjanleika í litlu rými. Helstu eiginleikar þess eru lýstir hér að neðan:

**Flokkur** | **Kjarnaeiginleiki** | **Sérstök lýsing**

**Kostir** | **Mikil einsleitni og endurtekningarhæfni** | 13,56 MHz RF rafallinn, ásamt sjálfvirku viðnámsjöfnunarneti, tryggir einstaka endurtekningarhæfni niðurstaðna ferlisins.

**Einföld og áreiðanleg notkun** | Er með snertiskjástýrikerfi með PLC-tækni sem býður upp á innsæi og grafískt viðmót og rauntíma eftirlit með ferlum; sterk smíði úr málmi tryggir langtímastöðugleika.

**Sveigjanleiki og stækkunarmöguleikar** | Styður allt að fjórar gasleiðslur og uppfyllir kröfur um ferli fyrir lofttegundir eins og O₂, Ar, H₂, He og CF₄. **Hagkvæmt** | Skilar framúrskarandi afköstum og sveigjanleika á lágum kostnaði, sem gerir það að kjörnum valkosti fyrir rannsóknir og þróun og smærri tilraunaframleiðslu.

**Helstu eiginleikar** | **Samþjappað borðbúnaðarhönnun** | Algjörlega sjálfstæð; þarfnast aðeins tengingar við ytri lofttæmisdælu og passar auðveldlega á venjulegan rannsóknarstofubekk eða vinnubekk.

**Sveigjanleg uppsetning á hólfi** | Hólfið er úr endingargóðu áli og rúmar allt að 7 færanlegar, stillanlegar rafskautsbakkar.

**Styður marga vinnsluhami** | Styður bæði beina plasma- (aðallega líkamlega sprengjuárás) og niðurstreymis plasma- (aðallega efnafræðilegir stakeindir) hami, sem býður upp á sveigjanleika til að uppfylla fjölbreyttar kröfur um vinnslu.

**Ítarlegar upplýsingar**

**Flokkun breytu** | **Sérstakar forskriftir**

**Heildarmál (BxDxH)** | 569 × 869 × 704 mm

**Nettóþyngd** | 221 kg (487 pund)

**Rúmmál hólfsins** | 33,1 lítrar

**Fjöldi rafskauta** | Allt að 7

**Bil á milli rafskauta** | 25,4 mm (1 tommu)

**Staðlað RF afl** | 300 W @ 13,56 MHz

**Gasflæðisstýring (MFC)** | 2 innifalin sem staðalbúnaður; hægt að stækka í allt að 4

**Samhæfðar lofttegundir** | Ar, O₂, H₂, He, CF₄, o.s.frv.

**Víðtæk notkunarsvið**

AP-300 státar af fjölbreyttum notkunarmöguleikum og gegnir lykilhlutverki, sérstaklega innan eftirfarandi lykilgeiranna í iðnaði:

**Hálfleiðarar og örrafeindatækni:** Víða notað til virkjunarhreinsunar fyrir límingu á deigi, límingu á vír og undirfyllingu á flip-chip; sem og til að fjarlægja viðnámsþol eftir litografíu og plasmameðferð fyrir pökkun á skífustigi.

**Prentaðar rafrásarplötur og rafeindasamsetningar:** Fjarlægir á áhrifaríkan hátt óhreinindi — eins og leifar af flúxi — og eykur vætingu yfirborðsins fyrir ferli eins og lögun og undirfyllingu.

**Læknisfræði og lífvísindi:** Gefur áreiðanlega hreinsunargetu í límingarferlum og við smíði flókinna mannvirkja, svo sem örvökvaflísar.

**Yfirlit**

Í stuttu máli má segja að Nordson MARCH AP-300 er plasmakerfi fyrir borðtölvur sem sameinar einstaklega nákvæmni á rannsóknarstigi, áreiðanleika á iðnaðarstigi og notendavæna og einfalda notkun. Kjarnagildi þess felst í því að það hýsir öfluga getu í litlu rými, sem gerir það að kjörnum valkosti fyrir bæði rannsóknir og þróun og smærri framleiðslu í hálfleiðurum, örrafeindatækni og læknisfræðigeiranum.