Panasonic PSX307 plasmahreinsivél

Panasonic PSX307 er sjálfvirkt plasmahreinsunarkerfi hannað fyrir undirlag og skífur, sérstaklega hannað til að mæta mikilli afköstum í nútíma hálfleiðaraframleiðslu. Þetta kerfi nýtir sér nýjustu samsíða plötu rafskautstækni og eykur framleiðsluhagkvæmni um 1,5 sinnum og tryggir samtímis gæði ferlisins; það býður upp á afkastamikla lausn sem er hönnuð til að takast á við sífellt flóknari áskoranir í yfirborðsmeðferð sem blasa við á sviði háþróaðra umbúða.

**Starfsregla**

PSX307 notar 13,56 MHz útvarpsbylgju (RF) aflgjafa til að mynda einsleitt plasmasvið með samsíða plötu rafskautsuppsetningu. Þegar ferlislofttegundir - eins og argon - eru jónaðar, ná orkuríku agnirnar sem myndast nanóhreinsun og yfirborðsvirkjun með samverkandi samspili líkamlegrar sprengjuárásar og efnahvarfa. Hvað varðar bæði skilvirkni og einsleitni býður þessi hönnun upp á grundvallarkosti umfram hefðbundin plasmakerfi í lotuformi. **Helstu gerðir og vörustaðsetning**

PSX307 serían samanstendur af úrvali gerða, hannaðar til að uppfylla fjölbreyttar kröfur mismunandi framleiðslulína. Samanburður á helstu eiginleikum hverrar gerðar er sýndur hér að neðan:

**Eiginleiki** | **S-gerð** | **M-gerð** | **PSX307A**

**Staðsetning búnaðar** | Hentar fyrir lítil og meðalstór undirlag | Hentar fyrir meðalstór og stór undirlag | Hentar fyrir Wafer-Level Packaging (WLP)

**Vinnslumarkmið** | Undirlag (t.d. prentplötur) | Undirlag (t.d. prentplötur) | Skífur allt að 300 mm (með eða án ramma)

**Stærðarbil undirlags** | L 50 x B 20 til L 250 x B 75 mm | L 50 x B 20 til L 330 x B 120 mm | Getur unnið samtímis með fjórum undirlögum sem eru 77,5 mm breiðar

**Ytra mál (þ.m.t. færiband)** | B 2113 × D 1100 × H 1450 mm | B 2266 × D 1100 × H 1450 mm | Vinsamlegast vísið til tæknilegra upplýsingablaða fyrir nánari upplýsingar.**

**Þyngd búnaðar** | U.þ.b. 850 kg | U.þ.b. 725 kg | -

**Þykkt undirlags** | 0,5 mm til 2,0 mm (eingöngu til viðmiðunar) | 0,5 mm til 2,0 mm | -

**Ítarlegar upplýsingar (PSX307 grunngerð)**

**Flokkun breytu** | **Ítarlegar upplýsingar**

**Gerð búnaðar** | NM-EFP1A

**Hreinsunaraðferð** | Samsíða plötu RF bakspútt

**Útblástursgas** | Argon (Ar) [Súrefni (O₂) valfrjálst]

**Ytra mál (aðaleining)** | B 930 × D 1100 × H 1450 mm

**Þyngd búnaðar (aðalbúnaður)** | U.þ.b. 555 kg

**Upplýsingar um aflgjafa** | Einfasa AC 200 V, 2,00 kVA (hámark 5,00 kVA)

**Kröfur um gasframboð** | 0,49 MPa ...eða hærra; 6,5 l/mín (ANR)

**Kjarnavirkni og tæknilegir eiginleikar**

PSX307 einkennist af mikilli sjálfvirkni og greind og sýnir tæknilega yfirburði sína fyrst og fremst með eftirfarandi þáttum:

**Hönnun hólfsins sem jafnar einsleitni og etshraða:** Tryggir að hver vinnslulota skili mjög samræmdum etsniðurstöðum — sem er mikilvægur þáttur fyrir stöðugleika og afköst ferlisins.

**Eigin plasmavöktunarvirkni Panasonic:** Rauntímavöktun og bæling á frávikum í plasmaútblæstri til að koma í veg fyrir skemmdir af völdum rafstöðueiginleikaútblásturs (ESD) og tryggja þannig „skemmdalausa vinnslu“ á vörum.

**Rekjanleikaaðgerð:** Veitir alhliða gagnarakningarmöguleika fyrir framleiðsluferlið og uppfyllir strangar gæðaeftirlitskröfur hálfleiðaraframleiðslugeirans.

**Flutningur í línu og sjálfvirkur:** Styður stillingar á hleðslu-/losunarbúnaði og forskriftir í línu, sem gerir kleift að samþætta búnaðinn beint við sjálfvirkar framleiðslulínur án þess að þörf sé á handvirkri íhlutun.

**Helstu kostir og notkunarsvið**

Með því að nýta sér áðurnefndar kjarnatækni sýnir PSX307 verulega kosti í að auka framleiðslugæði og lækka kostnað, sérstaklega á eftirfarandi sviðum:

**Byltingarkennd hagkvæmni:** Með því að nota argon (Ar) plasmavinnslutækni til að fjarlægja nikkelsambönd á yfirborði, gerir það kleift að innleiða ódýra „Flash Gold“ málunarferlið. Samhliða dregur það á áhrifaríkan hátt úr vandamálum eins og skemmdum, holum og sprungum sem geta komið upp við pökkunarferlið. **Mikil aukning á skilvirkni:** Þökk sé hönnun í línu ásamt sjálfvirku flutningskerfi nær búnaðurinn vinnsluhraða allt að 360 undirlag/ræmur á klukkustund - sem er 50% aukning á skilvirkni samanborið við hefðbundinn búnað.

Yfirborðsbreytingar til að uppfylla fjölbreyttar kröfur um ferli:

**Bætt málmlíming:** Áður en vírlíming eða flip-chip samsetning fer fram eykur fjarlæging lífrænna mengunarefna verulega skerstyrk og áreiðanleika límingar.

**Aukin viðloðun plastefnis:** Yfirborðsbreyting með súrefnisplasma (O₂) tvöfaldar viðloðun epoxy mótunarefna og undirfyllingarefna og kemur í veg fyrir skemmdir á yfirborðinu.

**Bættar undirfyllingarferli:** Bætir eiginleika háræðaflæðis og styttir undirfyllingartíma um meira en 40% — ávinningur sem er sérstaklega mikilvægur fyrir stórar flísar og þær sem hafa mikla inntaks-/úttaksþéttleika.

**Helstu notkunarsvið**

Þökk sé afkastamiklum eiginleikum sínum er PSX307 mikið notaður í framleiðsluferlum fyrir háþróaða hálfleiðara:

**Pökkun á skífustigi:** Breyting á yfirborði skífunnar fyrir límingu á deyjum; hreinsun á lóðbólum fyrir límingu á milli flísanna; og fjarlæging leifa (smeerhreinsun) innan TSV (í gegnum kísillgöng) uppbygginga.

**Ítarleg umbúðir:** Hreinsun og yfirborðsvirkjun á prentplötum fyrir víratengingu, undirfyllingu og mótun.

**Sérstök ferli og efni:** Fjarlæging á plastefnisleifum úr lóðkúlum á skífum; bætt lóðunarhæfni ódýrra gullhúðunarlaga; og svipuð notkun.

**Viðbótarbúnaður**

Sem óaðskiljanlegur hluti af lausnalínu Panasonic í hálfleiðaraiðnaði starfar PSX307 venjulega samhliða háþróaðri MD-P seríu flip-chip límingu frá Panasonic. Þessi samvirkni tryggir óaðfinnanlega umskipti frá hreinsun til ísetningar, sem leiðir til verulegrar aukningar á áreiðanleika vörunnar í heild.

**Yfirlit**

Að lokum má segja að Panasonic PSX307 sé tæknilega háþróað plasmahreinsunarkerfi sem er sérstaklega hannað fyrir fjöldaframleiðsluumhverfi. Með samþættingu nýstárlegrar samsíða plötutækni og sérhönnuðu eftirlitskerfis næst verulegur ávinningur í framleiðsluhagkvæmni og lækkun framleiðslukostnaðar, allt á meðan tryggt er að ferlið skemmist ekki og sé einstaklega einsleitt. Fyrir notkun sem felur í sér stór undirlag eða 300 mm skífur – og þar sem mikilvæg ferli eins og vírtenging og undirfylling krefjast mestu áreiðanleika – stendur PSX307 upp úr sem lausn sem vert er að íhuga alvarlega.