Nitto DR3000III hálfleiðaraskífufestingarbúnaður

Þetta er ítarleg kynning á NEL SYSTEM™ DR3000III frá Nitto Denko. Þetta er fullkomlega sjálfvirk vél til að setja upp verndandi límband fyrir skífur sem gegnir lykilhlutverki í framleiðslu hálfleiðara.

Kjarnastillingar og tæknilegar upplýsingar

Helstu tæknilegar upplýsingar um DR3000III eru eftirfarandi:

Upplýsingar/færibreytur hlutar

Tegund búnaðar: Fullsjálfvirkur verndarlímbandsapplikator fyrir 300 mm skífur

Viðeigandi stærð á skífu: 300 mm (12 tommur) / 200 mm (8 tommur)

Viðeigandi þykkt skífu: 400μm eða þykkari

Afköst: 68 skífur/klst.

Tækni fyrir notkun límbandis: Innbyggður spennulaus stjórnbúnaður fyrir notkun

Samhæfðir staðlar: Uppfyllir CE-merkingu og SEMI S2/S8 forskriftir

Athugið: Ofangreindar upplýsingar geta breyst vegna notkunar á skífum, límbandi og öðrum skilyrðum og geta einnig innihaldið valfrjálsa eiginleika.

Helstu eiginleikar og kostir

Öflugir eiginleikar DR3000III aðgreina það á sviði nákvæmrar framleiðslu:

Spennulaus notkunartækni: Þetta er einn af helstu tæknilegu kostum þess. Að lágmarka spennu á teipbandinu fyrir lagskiptingu stjórnar á áhrifaríkan hátt aflögun skífna eftir slípun á bakhliðinni, sem er mikilvægt til að meðhöndla stórar, ofurþunnar skífur.

Lágspennustýring á lagskiptingu: Búnaðurinn er með lágspennustýringu á límingu og límspennu, sem dregur verulega úr hættu á skemmdum á skífumynstri við lagskiptingu.

Samhæfni við skífur: Þótt hún sé hönnuð fyrir 300 mm skífur er hún afturábakssamhæf við 200 mm skífur og styður sérstök ferli með valfrjálsum eiginleikum eins og upphituðum klemmuborði (hámark 100°C) og upphituðum rúllum (hámark 60°C). Þar að auki tekst hún á við höggvaða skífur og skífur með ákveðna aflögun á áhrifaríkan hátt.

Mikil sjálfvirkni og greind: Búnaðurinn er búinn:

Sjálfvirk efnismeðhöndlun: Styður skífukassettur með opnun að framan (FOUP) / opnar kassettur, með innbyggðum vélmennaarm fyrir fullkomlega sjálfvirka hleðslu og affermingu.

Nákvæm röðun: Notar snertilausa CCD-jöfnunarkerfi til að tryggja nákvæmni lagskiptingar.

Greind eftirlit: Útbúið með skráningaraðgerð fyrir rekjanleika gagna; greining á sigi límbands kemur í veg fyrir bilanir. Valfrjáls skanna fyrir kortlagningu á skífum gerir kleift að skoða sjálfkrafa innkomandi efni.

Í samræmi við ströngustu iðnaðarstaðla: Búnaðurinn uppfyllir öryggis- og umhverfisstaðla SEMI S2/S8 og er fáanlegur með valfrjálsum SECS/GEM samskiptareglum fyrir óaðfinnanlega samþættingu við nútíma sjálfvirknikerfi hálfleiðaraverksmiðja.

Notendavæn notkun: Stór snertiskjár ásamt uppskriftarvirkni gerir notkun einfalda og innsæisríka. Notendur þurfa aðeins að kalla fram uppskriftina fyrir viðkomandi vöru til að ljúka sjálfkrafa öllum stillingum á breytum.

Virkni: Áður en bakslípun hefst límir DR3000III nákvæmlega hlífðarteip á mynstraða hlið skífunnar með spennulausri aðferð til að koma í veg fyrir vélræna skemmdir eða efnamengun á framhlið skífunnar við síðari háhraðaslípun.

Notkunarsvið: DR3000III er aðallega notaður á eftirfarandi lykilsviðum:

Framleiðsla hálfleiðara: Rökfræðiflísar og minnisflísar (DRAM, NAND Flash, o.s.frv.): Verndun viðkvæmrar rafrásarbyggingar á framhlið skífunnar í háþróuðum ferlum. Háþróuð pökkun: Veitir skífuvernd við sífellt stærri 300 mm skífupökkunarferla (Fan-In WLP, Fan-Out WLP, o.s.frv.).

MEMS og skynjarar: Verndar örvélrænar byggingar og skynjarasvæði við þynningarferla á bakhliðinni.

Aflleiðarar: Vinnur úr skífum fyrir aflgjafa eins og IGBT og MOSFET, dregur úr viðnámi og bætir varmadreifingu með þynningu.

Samvinna við annan búnað: Í hálfleiðaraumbúðalínum virkar DR3000III venjulega í tengslum við eftirfarandi búnað:

Samstarf við filmubúnað: Virkar í tengslum við Nitto NEL-MA3000-III búnaðinn til að fjarlægja límband fyrir og eftir þynningarferlið. DR3000III setur fyrst á hlífðarlímband til að vernda skífuna gegn skemmdum við þynningu; eftir þynningu fjarlægir NEL-MA3000-III hlífðarlímbandið nákvæmlega og tryggir heilleika og öryggi hinnar ofurþunnu skífu í gegnum allt ferlið.

Samstarf við fægingarbúnað: Vinnur náið með fægingarvélum sem verndarferli. Eftir að DR3000III hefur húðað skífurnar með verndarfilmu eru þær síðan færðar í kvörnunarvél til þynningar á bakhliðinni, sem tryggir áreiðanlega öryggi og stöðugleika kvörnunarferlisins.

Í heildina er Nitto DR3000III mjög sérhæft, sjálfvirkt og afkastamikið kerfi til að vernda flísar. Með spennulausri filmuhúðunartækni sinni leysir það á áhrifaríkan hátt algeng vandamál eins og aflögun og flísun sem koma upp í stórum flísum við þynningarferli á bakhliðinni. Það gegnir lykilhlutverki í hálfleiðaraiðnaðinum og þjónar sem mikilvægur búnaður til að tryggja afköst og áreiðanleika háþróaðrar flísframleiðslu. Fyrir tilboð eða tæknilegar fyrirspurnir, vinsamlegast hafið samband við opinbera fulltrúa Nitto eða viðurkennda dreifingaraðila í Kína beint.